公开(公告)号：KR1020090131551A

公开(公告)日：2009-12-29

申请号：KR1020080057484

申请日：2008-06-18

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 정성원

IPC: H01L21/324

CPC classification number: B23K26/0738 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0676

Abstract: PURPOSE: A laser annealing apparatus is provided to obtain a laser beam of a desired shape by controlling a rotating angle and a vertical distance of an optical system about a target substrate. CONSTITUTION: A laser beam generator(110) generates a rectangle laser beam. An optical system(130) includes a beam homogenizer(131), a reflective member(132), and a condensing lens(133). The reflective member vertically changes a path of the laser beam generated by the laser beam generator. The beam homogenizer divides the laser beam generated by the laser beam generator into a plurality of linear laser beams. The condensing lens focuses the linear laser beams on the target substrate. A condensing lens control device(150) controls a tilt and a vertical distance of the condensing lens about the target substrate.

Abstract translation: 目的：提供激光退火装置，通过控制光学系统围绕目标基板的旋转角度和垂直距离来获得所需形状的激光束。 构成：激光束发生器（110）产生矩形激光束。 光学系统（130）包括光束均化器（131），反射构件（132）和聚光透镜（133）。 反射构件垂直地改变由激光束发生器产生的激光束的路径。 光束均化器将由激光束发生器产生的激光束分成多个线性激光束。 聚光透镜将线性激光束聚焦在目标基板上。 聚光透镜控制装置（150）控制聚光透镜围绕目标基板的倾斜和垂直距离。

公开(公告)号：KR101048933B1

公开(公告)日：2011-07-12

申请号：KR1020090035411

申请日：2009-04-23

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 최상무 ,  정성원 ,  윤한희 ,  이은정

IPC: G09G3/30 ,  H01L51/50

Abstract: 본 발명은 대형 패널에서 화질을 향상시킬 수 있도록 한 화소에 관한 것이다.
본 발명의 화소는 수평라인마다 다수 형성되는 유기 발광 다이오드들과, 상기 유기 발광 다이오드로 공급되는 전류량을 제어하기 위하여 상기 수평라인마다 형성되는 화소회로들과, 상기 수평라인마다 형성되며 서로 다른 수평라인에 위치된 두개의 화소회로와 상기 유기 발광 다이오드의 접속을 제어하기 위한 스위치부를 구비한다.

公开(公告)号：KR101001551B1

公开(公告)日：2010-12-17

申请号：KR1020080057484

申请日：2008-06-18

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 정성원

IPC: H01L21/324

CPC classification number: B23K26/0738 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0676

Abstract: 본 발명은 비정질 실리콘 박막의 결정화 공정에 사용되는 레이저 어닐링(laser annealing) 장치에 있어서, 상기 레이저 어닐링 장치는, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 빔 발생기; 상기 레이저 빔을 다수의 선형 레이저 빔으로 분할하고 정형화한 선형 레이저 빔을 피처리 기판 상에 집광하는 집광 렌즈를 포함하는 광학계; 및 상기 피처리 기판에 대한 상기 집광 렌즈의 수직 거리(z)를 및 상기 피처리 기판에 대한 상기 집광 렌즈의 기울기(θ)를 조정하는 집광 렌즈 조정 장치;를 포함하는 레이저 어닐링 장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020100116806A

公开(公告)日：2010-11-02

申请号：KR1020090035411

申请日：2009-04-23

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 최상무 ,  정성원 ,  윤한희 ,  이은정

IPC: G09G3/30 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L29/742 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L27/3246 ,  H01L2027/11879

Abstract: PURPOSE: A pixel and an organic light emitting display are provided to prevent noise of a strip pattern by allowing a pixel circuit not to be connected a light emitting diode. CONSTITUTION: A plurality of organic light-emitting diode(OLED) is formed at horizontal lines. A pixel circuit(42) controls the amount of current provided to the organic light-emitting diode. Two pixel circuits are located at different horizontal lines. A switch(44) controls the connection of the organic light-emitting diode.

Abstract translation: 目的：提供像素和有机发光显示器，以通过允许像素电路不连接发光二极管来防止条纹图案的噪声。 构成：在水平线上形成多个有机发光二极管（OLED）。 像素电路（42）控制提供给有机发光二极管的电流量。 两个像素电路位于不同的水平线。 开关（44）控制有机发光二极管的连接。

公开(公告)号：KR100958639B1

公开(公告)日：2010-05-20

申请号：KR1020080031385

申请日：2008-04-03

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 정성원

IPC: H01L21/02 ,  H01L29/786

Abstract: 본 발명은 레이저 조사 장치 및 레이저 조사 방법에 관한 것으로, 상세하게는 조사되는 레이저의 에너지를 실시간으로 피드백함으로써 별도의 모니터링 과정이 불필요해지는 레이저 조사 장치 및 레이저 조사 방법에 관한 것이다.
본 발명은 출력되는 레이저의 세기를 조정하는 감쇠기(attenuator)를 포함하며, 기판에 레이저를 조사하는 레이저 발생부; 및 상기 레이저 발생부에서 상기 기판으로 조사되는 레이저의 적어도 일부가 입력되는 파워 미터를 포함하고, 상기 감쇠기는 상기 파워 미터로 입력되는 레이저의 에너지 측정값으로부터, 상기 조사되는 레이저가 일정한 에너지값을 유지하도록 피드백(feedback) 보정을 수행하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치를 제공한다.
레이저, ELA, 피드백

公开(公告)号：KR1020090105751A

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：KR1020080031386

申请日：2008-04-03

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 정성원

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/268 ,  H01L21/02675 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67098

Abstract: PURPOSE: A laser crystallization device and a laser crystallization method are provided to minimize influence of the density variation of the oxygen gas by controlling the oxygen density of the mixed gas supplied to a chamber. CONSTITUTION: A laser crystallization device includes a chamber(10), a gas supply unit(20), a laser beam irradiator(30), and a controller(40). The chamber receives a substrate(1) with a silicon layer. The gas supply unit is connected to the chamber and supplies mixed gas to the chamber. The laser beam irradiator irradiates the laser beam to the silicon layer. The controller is electrically connected to the gas supply unit. The controller applies a control signal for controlling the density of the oxygen gas included in the mixed gas.

Abstract translation: 目的：提供激光结晶装置和激光结晶方法，以通过控制供应到室的混合气体的氧气密度来最小化氧气的密度变化的影响。 构成：激光结晶装置包括室（10），气体供给单元（20），激光束照射器（30）和控制器（40）。 该室接收具有硅层的衬底（1）。 气体供应单元连接到室，并将混合气体供应到室。 激光束照射器将激光束照射到硅层。 控制器电连接到气体供应单元。 控制器施加用于控制混合气体中包含的氧气密度的控制信号。

公开(公告)号：KR1020090105750A

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：KR1020080031385

申请日：2008-04-03

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 정성원

IPC: H01L21/02 ,  H01L29/786

CPC classification number: B23K26/0626 ,  H01L21/02675 ,  H01L21/2026

Abstract: PURPOSE: A method and a device for irradiating laser are provided to reduce a failure rate of a substrate and remove an additional monitoring process by feeding back the energy of the laser in real time. CONSTITUTION: A laser irradiation device(100) includes a laser generator(110) and a power meter(130). A laser generator includes an attenuator(114) controlling the intensity of the laser outputted from the laser generator. The laser generator irradiates the laser to the substrate. A part of the laser from the laser generator to the substrate is inputted to the power meter. The attenuator performs the feedback correction to maintain the irradiated laser with the constant energy value from the energy measurement value of the laser inputted from the power meter.

Abstract translation: 目的：提供一种用于照射激光的方法和装置，以通过实时反馈激光的能量来降低衬底的故障率并除去附加的监测过程。 构成：激光照射装置（100）包括激光发生器（110）和功率计（130）。 激光发生器包括控制从激光发生器输出的激光的强度的衰减器（114）。 激光发生器将激光照射到基板上。 从激光发生器到基板的激光的一部分被输入到功率计。 衰减器执行反馈校正，以从根据从功率计输入的激光的能量测量值来保持照射的激光器具有恒定的能量值。

公开(公告)号：KR100964226B1

公开(公告)日：2010-06-17

申请号：KR1020080031386

申请日：2008-04-03

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 정성원

IPC: H01L21/324

Abstract: 본 발명은 기판의 표면에 형성된 비정질의 실리콘층을 레이저 결정화시키는 레이저 결정화 장치에 관한 것으로, 본 발명에 관한 레이저 결정화 장치는, 실리콘층이 표면에 형성된 기판을 수용하는 챔버와, 챔버에 연결되어 둘 이상의 기체를 혼합한 혼합 가스를 챔버에 공급하는 가스 공급부와, 실리콘층에 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사부와, 가스 공급부에 전기적으로 연결되어 혼합 가스에 포함되는 산소 가스의 농도를 조절하는 제어 신호를 인가하는 제어부를 구비한다.