-
公开(公告)号：KR100925592B1
公开(公告)日：2009-11-06
申请号：KR1020070134702
申请日：2007-12-20
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: 투광성을 갖는 소형 물체의 표면 형상을 위상천이 모아레 기법을 이용하여 정밀하게 측정할 수 있는 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법이 개시된다. 상기 표면 형상 특정 방법은, 형상측정 대상물의 표면에 산화막을 형성하는 단계; 상기 형상측정 대상물에 평행광 상태로 격자무늬를 영사하는 단계; 상기 격자무늬의 영사에 의해 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 검출하는 단계; 및 상기 격자무늬와 간격이 동일하고 각도가 서로 다른 가상의 격자 무늬를 생성하고, 상기 가상의 격자무늬와 상기 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 겹쳐 모아레 무늬를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
위상천이, 모아레(Moire), 3차원, 형상측정, 산화막, 코팅-
公开(公告)号：KR101079483B1
公开(公告)日：2011-11-03
申请号：KR1020090019804
申请日：2009-03-09
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: 본발명의일실시예에따른비접촉렌즈형상측정장치는광원부에서출력된광을분리하는빔 스플리터; 상기빔 스플리터에서분리된샘플빔이입사되어샘플광을반사하는샘플렌즈와상기샘플렌즈의모든점이상기샘플빔의중심축에놓이도록샘플렌즈를회전시키는틸팅부가구비되는샘플렌즈부; 상기빔 스플리터에서분리된기준빔이입사되어상기샘플렌즈의형상측정을위한기준이되는기준광을반사하는기준렌즈와광의회절격자를이용한알에스오디(RSOD) 시스템이구비되는기준렌즈부; 및상기샘플렌즈부및 기준렌즈부에서상기빔 스플리터로다시도달하며상기빔 스플리터에서반사된상기샘플광과기준광의간섭신호를측정하는수광부;를포함할수 있다.
-
公开(公告)号：KR1020090066952A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：KR1020070134702
申请日：2007-12-20
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: A surface shape measuring method using moire technique is provided to form an oxide film in the surface of a shape measurement object and improve the sharpness of a lattice pattern projected to the surface, thereby obtaining a clear moire pattern. An oxide film is formed on the surface of a shape measurement object(S11). A lattice pattern is projected to the shape measurement object in a collimated light state(S12). A lattice pattern image projected to the shape measurement object is detected by the projection of the lattice pattern(S13). A virtual lattice pattern having the same interval and a different angle compared with the lattice pattern is produced. A moire pattern is formed by overlapping the virtual lattice image over the lattice pattern image projected onto the shape measurement object(S14).
Abstract translation: 提供了一种使用波纹技术的表面形状测量方法，以在形状测量对象的表面形成氧化膜，并提高投射到表面上的格子图案的清晰度，从而获得清晰的波纹图案。 在形状测量对象的表面上形成氧化膜（S11）。 在准直光状态下将格子图案投影到形状测量对象（S12）。 通过晶格图案的投影来检测投影到形状测量对象的格子图案（S13）。 产生与格子图案相比具有相同间隔和不同角度的虚拟格子图案。 通过在投影到形状测量对象上的格子图案图像上重叠虚拟格子图像来形成莫尔图案（S14）。
-
公开(公告)号：KR1020100101353A
公开(公告)日：2010-09-17
申请号：KR1020090019804
申请日：2009-03-09
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: PURPOSE: A device for detecting a profile of a lens without contacting and a method for detecting a profile of a lens using the same are provided to improve resolution of a fringe using white light as a light source. CONSTITUTION: A device for detecting a profile of a lens without contacting comprises a beam splitter(20), a sample lens unit(30), a reference lens unit(40), and a light receiving unit(50). The beam splitter splits light output from a light source unit(10). The sample lens unit comprises a sample lens which reflects sample light. The reference lens unit comprises a reference lens which reflects reference light. The light receiving unit measures the sample light reflected from the beam splitter and an interference signal of the reference light.
Abstract translation: 目的：提供一种用于检测透镜的轮廓而不接触的装置和用于检测使用其的透镜的轮廓的方法，以提高使用白光作为光源的条纹分辨率。 构成：用于检测透镜的轮廓而不接触的装置包括分束器（20），样本透镜单元（30），参考透镜单元（40）和光接收单元（50）。 分束器分离来自光源单元（10）的光输出。 样本透镜单元包括反射样品光的样品透镜。 参考透镜单元包括反射参考光的参考透镜。 光接收单元测量从分束器反射的样本光和参考光的干涉信号。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.018 seconds)
