公开(公告)号：KR100925592B1

公开(公告)日：2009-11-06

申请号：KR1020070134702

申请日：2007-12-20

Applicant: 삼성전기주식회사

Inventor： 최은희 ,  안홍규 ,  주홍렬 ,  박성수 ,  박승한

IPC: G01B11/25 ,  G01B11/24

Abstract: 투광성을 갖는 소형 물체의 표면 형상을 위상천이 모아레 기법을 이용하여 정밀하게 측정할 수 있는 모아레 기법을 이용한 표면 형상 측정 방법이 개시된다. 상기 표면 형상 특정 방법은, 형상측정 대상물의 표면에 산화막을 형성하는 단계; 상기 형상측정 대상물에 평행광 상태로 격자무늬를 영사하는 단계; 상기 격자무늬의 영사에 의해 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 검출하는 단계; 및 상기 격자무늬와 간격이 동일하고 각도가 서로 다른 가상의 격자 무늬를 생성하고, 상기 가상의 격자무늬와 상기 형상측정 대상물에 투영된 격자무늬 이미지를 겹쳐 모아레 무늬를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
위상천이, 모아레(Moire), 3차원, 형상측정, 산화막, 코팅

公开(公告)号：KR1020090066952A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：KR1020070134702

申请日：2007-12-20

Applicant: 삼성전기주식회사

Inventor： 최은희 ,  안홍규 ,  주홍렬 ,  박성수 ,  박승한

IPC: G01B11/25 ,  G01B11/24

Abstract: A surface shape measuring method using moire technique is provided to form an oxide film in the surface of a shape measurement object and improve the sharpness of a lattice pattern projected to the surface, thereby obtaining a clear moire pattern. An oxide film is formed on the surface of a shape measurement object(S11). A lattice pattern is projected to the shape measurement object in a collimated light state(S12). A lattice pattern image projected to the shape measurement object is detected by the projection of the lattice pattern(S13). A virtual lattice pattern having the same interval and a different angle compared with the lattice pattern is produced. A moire pattern is formed by overlapping the virtual lattice image over the lattice pattern image projected onto the shape measurement object(S14).

Abstract translation: 提供了一种使用波纹技术的表面形状测量方法，以在形状测量对象的表面形成氧化膜，并提高投射到表面上的格子图案的清晰度，从而获得清晰的波纹图案。 在形状测量对象的表面上形成氧化膜（S11）。 在准直光状态下将格子图案投影到形状测量对象（S12）。 通过晶格图案的投影来检测投影到形状测量对象的格子图案（S13）。 产生与格子图案相比具有相同间隔和不同角度的虚拟格子图案。 通过在投影到形状测量对象上的格子图案图像上重叠虚拟格子图像来形成莫尔图案（S14）。