公开(公告)号：WO2022015126A1

公开(公告)日：2022-01-20

申请号：PCT/KR2021/095056

申请日：2021-05-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정영기 ,  신상민 ,  강기선 ,  김동환 ,  정철규

IPC: H01L27/15 ,  H01L21/768 ,  H01L21/28 ,  G09G3/32 ,  H01L33/02 ,  G09F9/33

Abstract: 발광 다이오드 모듈의 각 영역별로 영상 출력을 제어하여 고화질의 영상을 효율적으로 출력할 수 있는 발광 다이오드 모듈은 유리 기판; 상기 유리 기판 상부에 형성되고, 수동 매트릭스(Passive matrix)회로로 연결된 복수의 전극을 포함하는 신호 배선층; 및 상기 복수의 전극과 연결되고 상기 유리 기판을 향하여 발광하도록 마련된 복수의 발광 다이오드 모듈;을 포함하고, 상기 신호 배선층은, 상기 발광 다이오드 모듈을 복수의 단위 영역으로 구분하는 경계 영역을 포함할 수 있다.

公开(公告)号：WO2021261807A1

公开(公告)日：2021-12-30

申请号：PCT/KR2021/007112

申请日：2021-06-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오동건 ,  김진호 ,  강기선

IPC: H01L27/12 ,  H01L25/075

Abstract: 박막 트랜지스터 기판 및 이를 포함한 디스플레이 모듈이 개시된다. 개시된 박막 트랜지스터 기판은 기판과, 기판 상에 순차적으로 적층된 제1 및 제2 무기 절연막과, 제1 및 제2 무기 절연막 사이에 형성된 제1 금속층과, 제2 무기 절연막 상에 형성된 제2 금속층과, 제2 무기 절연막 상에 순차적으로 적층된 제1, 제2 및 제3 유기 절연막과, 제1 및 제2 유기 절연막 사이에 형성된 제3 금속층과, 제2 및 제3 유기 절연막 사이에 형성된 제4 금속층을 포함하며, 제2 및 제3 유기 절연막은 광 흡수가 가능한 컬러를 가진다.

公开(公告)号：KR100796750B1

公开(公告)日：2008-01-22

申请号：KR1020010027600

申请日：2001-05-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강기선

IPC: G02F1/13

Abstract: 액정 표시 장치, 전계 방출 소자 등의 평판 표시 소자의 제조 공정을 자동으로 수행하는 인라인 설비에서 반송 장치에 의하여 이송된 기판에 약액 및 수세 처리를 진행하는 습식 챔버에 있어서, 챔버 내에 설치되어 있으며 약액 또는 초순수 등의 유체를 산포하는 분사 노즐을 가지는 노즐 파이프 모듈이 상,하로 움직일 수 있는 플립 업 구조로 형성되어 있다. 이러한 플립 업 구조의 노즐 파이프 모듈이 설치된 습식 설비에서 기판의 반송 도중 발생되는 오류 기판을 쉽게 취출하여 제거할 수 있다.
노즐파이프모듈, 플립업구조, 인라인, 분사노즐

公开(公告)号：KR1020020088264A

公开(公告)日：2002-11-27

申请号：KR1020010027600

申请日：2001-05-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강기선

IPC: G02F1/13

CPC classification number: H01L21/6708 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6719

Abstract: PURPOSE: A wet type equipment is provided to simplify the extracting or removing of an erroneous substrate generated in the process of carrying by forming a nozzle pipe module in a flip-up structure movable vertically. CONSTITUTION: A wet type equipment includes a wet type chamber(10), a nozzle pipe module(16) mounted in the wet type chamber and having spraying nozzles for spraying fluid such as chemical solution or ultra-fine water, and a carrying unit(14) for carrying substrates(12) to the wet type chamber, wherein the nozzle pipe module is in a flip-up structure movable vertically.

Abstract translation: 目的：提供一种湿式设备，以便通过在垂直移动的上翻结构中形成喷嘴管模块来简化在运送过程中产生的错误基材的提取或除去。 构成：湿式设备包括湿式室（10），安装在湿式室中的喷嘴管模块（16），并具有用于喷射诸如化学溶液或超细水的流体的喷嘴和承载单元（ 14）用于将衬底（12）运送到湿式室，其中喷嘴管模块是可垂直移动的上翻结构。

公开(公告)号：KR1020020088265A

公开(公告)日：2002-11-27

申请号：KR1020010027601

申请日：2001-05-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강기선

IPC: G02F1/13

CPC classification number: H01L21/68 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68785

Abstract: PURPOSE: A lift pin and a substrate stage using the same are provided to prevent the reject such as scratch of a substrate generated in the process of aligning a substrate by forming the lift pin with a sphere of a various material and a spring of a various elastic coefficient. CONSTITUTION: A substrate stage includes lift pins for supporting a substrate and moving the substrate horizontally, horizontal aligners for moving the substrate loaded on the lift pins horizontally, and carrier rollers for carrying the substrate to unit steps, wherein the lift pin(14) has a sphere(20) rotatively in contact with the substrate, a supporting element incorporating the sphere and moving the sphere vertically without deviation, and a spring(22) incorporated in the supporting element for supporting the sphere.

Abstract translation: 目的：提供一种提升销和使用其的基板台，以防止在通过用各种材料的球体形成提升销和各种各样的弹簧的对准基板的过程中产生的基板的划痕 弹性系数。 构成：衬底台包括用于支撑衬底并水平移动衬底的提升销，用于水平地移动负载在提升销上的衬底的水平对准器和用于将衬底运送到单元步骤的承载辊，其中提升销（14）具有 旋转地与基板接触的球体（20），包括球体并且垂直地移动球体而不偏离的支撑元件，以及结合在支撑元件中用于支撑球体的弹簧（22）。