公开(公告)号：KR1020160010386A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：KR1020150161785

申请日：2015-11-18

Applicant: (주)오로스 테크놀로지 ,  삼성전자주식회사

Inventor： 임근영 ,  서경식 ,  오주성 ,  강인용 ,  윤기성 ,  정동훈

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/958 ,  G01B11/30 ,  G06T7/00

Abstract: 본발명은표면결함검사장치에관한것으로서, 더욱상세하게는펠리클프레임과같이내면을구비한검사대상물의내면에부착된파티클등과같은결함을검사할수 있는프레임표면결함검사장치에관한것이다. 본발명에따른표면결함검사장치는검사대상물의내면의영상을획득하도록, 상기검사대상물과경사지게배치된제1영상획득수단과, 검사대상물의평면부와곡면부로이루어진내면과상기제1영상획득수단사이의거리가일정하게유지된상태로상기내면이상기제1영상획득수단과마주보도록상기검사대상물을상기제1영상획득수단에대해서상대이동시키도록구성된이송수단을포함하며, 상기제1영상획득수단은수광소자어레이와상기검사대상물과수광소자어레이사이에배치되는렌즈를구비하며, 상기수광소자어레이는상기수광소자어레이의중심축이상기렌즈의중심축과일정한각도로경사지도록배치된다. 본발명에따른표면결함검사장치는라운드진 모서리내면의검사시에도검사대상물의내면과영상획득수단사이의거리가일정하게유지되고, 내면이영상획득수단과마주본상태에서검사대상물의내면의영상을확보할수 있다. 따라서라운드진 모서리내면의결함도정밀하게검사할수 있다는장점이있다.

Abstract translation: 表面缺陷检查装置技术领域本发明涉及表面缺陷检查装置，更具体地，涉及能够检查附着在具有防护薄膜组件框架等内表面的待检查对象的内表面的颗粒的缺陷的表面缺陷检查装置。 根据本发明，表面缺陷检查装置包括：第一图像获取单元，相对于待检查对象倾斜地布置以获取物体内表面上的图像; 以及转印单元，用于相对于第一图像获取单元使物体相对移动，使得具有平坦部分和弯曲部分的物体的内表面能够在内表面是第一图像获取单元的状态下面对第一图像获取单元 以预定距离与第一图像获取单元分离。 第一图像获取单元包括：光电检测器阵列; 以及布置在物体和光电检测器阵列之间的透镜。 光检测器阵列的中心轴线以与透镜中心轴成预定角度倾斜。 根据本发明，表面缺陷检查装置即使在检查圆角的内表面时也保持物体内表面与图像获取单元之间的预定距离，并且获取物体内表面上的图像 内表面面向图像获取单元的状态。 因此，本发明精确地检查圆角内表面的缺陷。

公开(公告)号：KR101533826B1

公开(公告)日：2015-07-06

申请号：KR1020140090502

申请日：2014-07-17

Applicant: (주)오로스 테크놀로지 ,  삼성전자주식회사

Inventor： 임근영 ,  이연호 ,  오주성 ,  강인용 ,  윤기성 ,  정동훈

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/027 ,  G01N21/88

CPC classification number: H01L22/12 ,  H01L21/67288

Abstract: 본발명은표면결함검사장치에관한것으로서, 더욱상세하게는펠리클프레임과같이내면을구비한검사대상물의내면에부착된파티클등과같은결함을검사할수 있는프레임표면결함검사장치에관한것이다. 본발명에따른표면결함검사장치는검사대상물의내면의영상을획득하도록, 상기검사대상물과경사지게배치된제1영상획득수단과, 검사대상물의평면부와곡면부로이루어진내면과상기제1영상획득수단사이의거리가일정하게유지된상태로상기내면이상기제1영상획득수단과마주보도록상기검사대상물을상기제1영상획득수단에대해서상대이동시키도록구성된이송수단을포함한다. 본발명에따른표면결함검사장치는라운드진 모서리내면의검사시에도검사대상물의내면과영상획득수단사이의거리가일정하게유지되고, 내면이영상획득수단과마주본상태에서검사대상물의내면의영상을확보할수 있다. 따라서라운드진 모서리내면의결함도정밀하게검사할수 있다는장점이있다.

Abstract translation: 表面缺陷检查装置技术领域本发明涉及一种表面缺陷检查装置，更具体地说，涉及一种具有附着在检查对象内的微粒等缺陷的框架缺陷检查装置，该检查对象包括防护薄膜框架等内表面。 根据本发明的表面缺陷检查装置包括：第一视频获取装置，其与检查对象倾斜布置，以获得检查对象的内表面的视频; 以及用于相对地转移用于第一视频获取装置的检查对象的传送装置，以便在第一视频获取装置和形成有第一视频获取装置的内表面之间的距离的状态下使内表面能够面对第一视频获取装置 检查对象的平坦表面部分和弯曲表面部分。 根据本发明的表面缺陷检查装置可以在检查圆形边界的内表面时，在检查对象的内表面和视频获取装置之间保持预定的距离，并且可以获得用于内窥镜的内表面的视频 当内表面面向视频获取装置时，检查对象。 因此，表面缺陷检查装置具有精确地检查圆形边界的内表面的缺陷的良好点。

公开(公告)号：KR1020120069020A

公开(公告)日：2012-06-28

申请号：KR1020100116217

申请日：2010-11-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 허성민 ,  이동근 ,  강인용

IPC: G03F1/22 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/24 ,  G03F1/42 ,  G03F9/7011 ,  G03F9/7088 ,  G03F1/22 ,  G03F7/2008 ,  H01L21/0276

Abstract: PURPOSE: A reflection mask for exposing extreme ultraviolet ray(EUV), a system for exposing the EUV, and a method for fixing the reflection mask are provided to prevent a plurality of pins in the form of an electrostatic chuck array from being overlapped with defects on the rear side of the reflection mask. CONSTITUTION: A reflection mask for exposing EUV(100) includes a first side and an opposing rear side. The EUV is reflected from the front side. The reflection mask includes a conductive layer(114), a substrate(113) on the conductive layer, a reflective layer(112) on the substrate, and an absorbent pattern(111) on the reflective layer. The conductive layer is spaced apart from the edge of the substrate. The alignment key(120) is formed on the rear side such that the reflection mask and an electrostatic chuck(200) are aligned. The conductive layer is attached to the electrostatic chuck.

Abstract translation: 目的：提供用于暴露极紫外线（EUV）的反射掩模，用于暴露EUV的系统和用于固定反射罩的方法，以防止静电卡盘阵列形式的多个销与缺陷重叠 在反光罩的背面。 构成：用于曝光EUV（100）的反射罩包括第一侧和相对的后侧。 EUV从前方反映出来。 反射掩模包括导电层（114），导电层上的衬底（113），衬底上的反射层（112）和反射层上的吸收图案（111）。 导电层与衬底的边缘间隔开。 对准键（120）形成在后侧，使得反射掩模和静电卡盘（200）对准。 导电层附着在静电吸盘上。

公开(公告)号：KR101659587B1

公开(公告)日：2016-09-23

申请号：KR1020150161785

申请日：2015-11-18

Applicant: (주)오로스 테크놀로지 ,  삼성전자주식회사

Inventor： 임근영 ,  서경식 ,  오주성 ,  강인용 ,  윤기성 ,  정동훈

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/958 ,  G01B11/30 ,  G06T7/00

Abstract: 본발명은표면결함검사장치에관한것으로서, 더욱상세하게는펠리클프레임과같이내면을구비한검사대상물의내면에부착된파티클등과같은결함을검사할수 있는프레임표면결함검사장치에관한것이다. 본발명에따른표면결함검사장치는검사대상물의내면의영상을획득하도록, 상기검사대상물과경사지게배치된제1영상획득수단과, 검사대상물의평면부와곡면부로이루어진내면과상기제1영상획득수단사이의거리가일정하게유지된상태로상기내면이상기제1영상획득수단과마주보도록상기검사대상물을상기제1영상획득수단에대해서상대이동시키도록구성된이송수단을포함하며, 상기제1영상획득수단은수광소자어레이와상기검사대상물과수광소자어레이사이에배치되는렌즈를구비하며, 상기수광소자어레이는상기수광소자어레이의중심축이상기렌즈의중심축과일정한각도로경사지도록배치된다. 본발명에따른표면결함검사장치는라운드진 모서리내면의검사시에도검사대상물의내면과영상획득수단사이의거리가일정하게유지되고, 내면이영상획득수단과마주본상태에서검사대상물의내면의영상을확보할수 있다. 따라서라운드진 모서리내면의결함도정밀하게검사할수 있다는장점이있다.