公开(公告)号：KR1020060084697A

公开(公告)日：2006-07-25

申请号：KR1020050005485

申请日：2005-01-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김봉길 ,  고대호 ,  문윤정

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 본 발명은 웨이퍼 냉각장치에 관한 것으로, 본 발명의 제1관점에 따르면, 챔버; 챔버 내부에 마련되며 웨이퍼를 냉각하는 냉각수단; 냉각수단 상에서 웨이퍼를 승강시키는 웨이퍼 지지핀; 및, 웨이퍼의 승강 높이가 제어되도록 웨이퍼 지지핀을 승강시키는 웨이퍼 지지핀 승강수단을 포함하는 웨이퍼 냉각장치가 제공된다. 따라서, 본 발명에 따르면, 고온으로 베이킹된 웨이퍼를 1차와 2차에 걸쳐 다단계로 냉각가능하다. 이에 따라 웨이퍼 냉각시 발생되는 웨이퍼 브로큰 현상은 미연에 방지된다.
웨이퍼, 냉각

公开(公告)号：KR1019990009040A

公开(公告)日：1999-02-05

申请号：KR1019970031303

申请日：1997-07-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고대호

IPC: H01L21/312

Abstract: 본 발명은 반도체 제조 설비의 모터 냉각 시스템에 관한 것으로, 냉각수 순환라인을 스핀모터에 상호관련되게 설치하여 순환하는 냉각수를 통해 스핀모터에서 발생하는 고열을 식힐 수 있도록 함으로써 모터 냉각 시스템에 투입되는 설비의 원가를 저감할 수 있으며, 또한 냉각수를 사용함으로써 항온수를 사용할 때 발생하는 부식으로 항온수 순환라인이 막혀 발생하는 스핀모터의 불안정한 구동을 방지하여 포토레지스트를 웨이퍼상에 균일하게 스핀코팅할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020010097193A

公开(公告)日：2001-11-08

申请号：KR1020000021052

申请日：2000-04-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김종수 ,  고대호

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 HMDS의 공급 여부를 감지할 수 있는 HMDS 도포 장치에 관한 것이다. HMDS 도포 장치는 HMDS를 담는 저장 용기, 운반 기체를 저장 용기에 공급하는 운반 기체 공급부, 운반 기체에 의해 배출된 HMDS를 이동시키는 이송관, 이송관에 접속되어 HMDS의 유량을 조절하는 유량 조절 장치, 유량 조절 장치와 접속되어 HMDS가 주입되는 공정 챔버 및 공정 챔버 내에서 HMDS의 공급 유무를 감지하는 HMDS 검출 센서를 포함한다. HMDS 검출 센서가 설치되어 HMDS가 공급되고 있는지를 확인할 수 있게 되므로, HMDS의 공급 불량으로 인한 감광막 접착 불량을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020000024861A

公开(公告)日：2000-05-06

申请号：KR1019980041625

申请日：1998-10-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고대호

IPC: H01L21/02

Abstract: PURPOSE: A constant-water circulation device adds a constant-temperature water in a constant-temperature storage tank, and provides a detachable constant-temperature circulation device. CONSTITUTION: A constant-water circulation device includes many sensors(40a-40d) which are mounted to a constant-temperature storage tank(30), and generate a signal according to a water level of a constant-temperature water. Many pipes(32,34) are mounted to the constant-temperature storage tank(30), provide a constant-temperature water or discharge the constant-temperature water. Many automatic valves(36,38) are mounted to many pipes(32,34), provide the constant-temperature water to the constant-temperature storage tank(30), or discharge the constant-temperature water. A controller(42) is connected to many sensors(40a-40d), controls an opening/closing of the many automatic valves(36,38), provides a constant-temperature water or discharges the constant-temperature water. Thereby, the constant-temperature is automatically provided or automatically discharged in the constant-temperature storage tank.

Abstract translation: 目的：恒温循环装置在恒温储罐中添加恒温水，并提供可拆卸的恒温循环装置。 构成：恒水循环装置包括安装在恒温储罐（30）上的许多传感器（40a-40d），并根据恒温水的水位产生信号。 许多管道（32,34）安装在恒温储罐（30）上，提供恒温水或排出恒温水。 许多自动阀（36,38）安装在许多管道（32,34）上，为恒温储罐（30）提供恒温水，或者排放恒温水。 控制器（42）连接到许多传感器（40a-40d），控制许多自动阀（36,38）的打开/关闭，提供恒温水或排出恒温水。 因此，恒温自动提供或自动排放到恒温储罐中。

公开(公告)号：KR1019990009042A

公开(公告)日：1999-02-05

申请号：KR1019970031305

申请日：1997-07-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박봉석 ,  고대호 ,  박순종

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 반도체 제조 설비의 공정진행가스 공급 시스템에 관한 것으로, 웨이퍼와 포토레지스트 간의 접착력 증진을 위한 접착 강화제가 공급되는 가스공급라인에 가스공급라인을 따라 유동하는 접착 강화제의 유동 압력을 감지할 수 있는 압력감지수단을 설치함으로써 볼에 의한 광센서의 광 차단으로 유량정도를 감지하는 감지수단보다 오동작 발생 확률이 적어 접착 강화제의 유량 상태를 정확히 감지할 수 있음로 접착 강화제 도포 공정의 불량율 발생이 저하된다.

公开(公告)号：KR100642644B1

公开(公告)日：2006-11-10

申请号：KR1020050005485

申请日：2005-01-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김봉길 ,  고대호 ,  문윤정

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 본 발명은 웨이퍼 냉각장치에 관한 것으로, 본 발명의 제1관점에 따르면, 챔버; 챔버 내부에 마련되며 웨이퍼를 냉각하는 냉각수단; 냉각수단 상에서 웨이퍼를 승강시키는 웨이퍼 지지핀; 및, 웨이퍼의 승강 높이가 제어되도록 웨이퍼 지지핀을 승강시키는 웨이퍼 지지핀 승강수단을 포함하는 웨이퍼 냉각장치가 제공된다. 따라서, 본 발명에 따르면, 고온으로 베이킹된 웨이퍼를 1차와 2차에 걸쳐 다단계로 냉각가능하다. 이에 따라 웨이퍼 냉각시 발생되는 웨이퍼 브로큰 현상은 미연에 방지된다.
웨이퍼, 냉각

公开(公告)号：KR1019980015245A

公开(公告)日：1998-05-25

申请号：KR1019960034495

申请日：1996-08-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고대호

IPC: H01L21/66

Abstract: 반도체 스피너(Spinner)설비에서의 웨이퍼 감지장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 스피너설비는, 회전척상에 반도체 웨이퍼를 안착한 후 회전하는 웨이퍼상에 화학물질을 떨어뜨려 상기 웨이퍼상에 상기 화학물질이 고르게 공급되도록 이루어진 반도체 스피너설비에 있어서, 상기 회전척상에 웨이퍼가 안착되었는지 여부를 확인할 수 있는 발광부 및 수광부 일체형 감지센서가 상기 웨이퍼 상측에 설치되는 것을 특징으로 한다.따라서, 전기적인 접속의 문제를 일으키지 않고, 웨이퍼에 공급되는 화학약품이 튀어 센서가 파손되는 현상을 억제할 수 있으며, 웨이퍼를 기준으로 아래쪽에 공간의 여유가 없어도 설치상의 문제가 없다는 이점을 가진다.