公开(公告)号：KR1020140124065A

公开(公告)日：2014-10-24

申请号：KR1020130041166

申请日：2013-04-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이경숙 ,  박종필 ,  구권본 ,  김문석 ,  민병준

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2868

Abstract: 본 발명은 검사 장치 및 검사 방법을 개시한다. 검사 장치는 셀프 검사 가능한 반도체 소자들의 검사 공정을 수행하는 장치이다. 그의 장치는, 상기 반도체 소자들의 검사에 사용되는 검사 프로그램을 보유한 서버와 통신하는 스택커 부와, 상기 반도체 소자들을 탑재하여 상기 스택커 부 내에 제공되고, 상기 서버로부터 상기 검사 프로그램을 전달받아 상기 반도체 소자들에 제공하는 복수개의 검사 기판 부들을 포함한다. 상기 스택커 부는 상기 복수개의 검사 기판 부들을 수납하는 스택커들과, 상기 스택커 내의 상기 검사 기판 부들 및 상기 서버와 통신하는 스택커 컨트롤러를 포함할 수 있다

Abstract translation: 公开了一种测试装置和测试方法。 提供了测试装置来进行可以自我测试的半导体器件的测试过程。 测试装置包括：与包括用于半导体器件测试的测试程序的服务器通信的堆垛单元; 以及多个测试基板单元，其包括为堆叠单元提供的半导体器件，并接收要提供给半导体器件的测试程序。 堆垛机单元包括用于接收测试基板单元的堆垛机和与堆垛机和服务器中的测试基板单元通信的堆垛机控制器。