公开(公告)号：KR1020020063672A

公开(公告)日：2002-08-05

申请号：KR1020010004242

申请日：2001-01-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남정현 ,  김훈정 ,  구기범

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: A wafer level burn-in test system is provided to previously detect system power and current malfunctions by monitoring a pin driver or an output level of a power supplier through waveform monitoring unit. CONSTITUTION: A waveform monitoring unit(40) comprises a multiplex relay(41) operated according to a connection state of a DUT(Device Under Test)(5), a level shifter(42) for shifting an output of a pin driver(31), an A/D transformer(43) for transforming an input supplied from the level shifter(42) to a digital data, a memory device(44) for saving the transformed data and a waveform monitoring controller(45) connected with the multiplex relay(41), the A/D transformer(43) and the memory device(44) for controlling a monitoring. The waveform monitoring unit(40) is operated by connecting to the pin driver(31) and the power supplier(70).

Abstract translation: 目的：提供晶圆级老化测试系统，以通过监测电源供应器的引脚驱动器或输出电平通过波形监视单元预先检测系统电源和电流故障。 构成：波形监视单元（40）包括根据DUT（被测器件）（5）的连接状态操作的多路复用继电器（41），用于移位引脚驱动器（31）的输出的电平转换器 ），用于将从电平移位器（42）提供的输入转换为数字数据的A / D变换器（43），用于保存变换数据的存储器件（44）和与多路复用器连接的波形监视控制器（45） 继电器（41），A / D变压器（43）和用于控制监视的存储器件（44）。 波形监视单元（40）通过连接到引脚驱动器（31）和电源（70）来操作。

公开(公告)号：KR1020060081200A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：KR1020050001682

申请日：2005-01-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남정현 ,  강기상 ,  김훈정 ,  황인석 ,  구기범

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2877

Abstract: 본 발명은 프로브 카드 냉각용 공기 분사기를 갖는 웨이퍼 번인 시스템에 관한 것으로, 번인 공정이 진행될 때 번인 챔버 내의 프로브 카드에 열축적이 이루어지는 것을 억제하기 위해서, 번인 챔버와, 상기 번인 챔버 내에 설치되며, 하부면에 프로브 카드가 설치되고, 상기 프로브 카드 주위로 공기의 흐름을 발생시켜 상기 프로브 카드에 열축적이 발생되는 것을 억제하는 공기 분사기가 설치된 프로브 헤드와, 상기 번인 챔버 내에 설치되며, 상부면에 탑재되는 웨이퍼를 고정하고, 상기 웨이퍼가 상기 프로브 카드에 프로빙될 수 있도록 상기 웨이퍼를 승강시키는 웨이퍼 스테이지를 갖는 프로브 스테이션과; 상기 프로브 스테이션과 범용 인터페이스 버스(GPIB)로 연결되어 상기 프로브 헤드에 테스트 신호를 입출력하며, 상기 공기 분사기의 작동을 제어하는 테스터;를 포함하며, 상기 테스터는 상기 번인 챔버에서 번인 공정이 진행되는 동안 상기 공기 분사기를 작동시켜 상기 프로브 카드 주위에서 공기의 흐름을 강제적으로 발생시켜 상기 프로브 카드에 열축적이 발생되는 것을 억제하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 냉각용 공기 분사기를 갖는 웨이퍼 번인 시스템을 제공한다.
웨이퍼, 번인, 열축적, 냉각, 방열

公开(公告)号：KR100737918B1

公开(公告)日：2007-07-12

申请号：KR1020010004242

申请日：2001-01-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남정현 ,  김훈정 ,  구기범

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 웨이퍼 레벨(wafer level)의 번-인 테스트(burn-in test)를 효과적으로 수행하기 위한 파형 모니터링 유닛(waveform monitoring unit)을 갖는 웨이퍼 레벨 번-인 테스트 시스템과 테스트 방법에 관한 것이다. 테스트 패턴을 발생시키는 패턴 발생기와 웨이퍼의 피시험 반도체 소자(DUT; Device Under Test)에 테스트 패턴에 따른 신호를 공급하는 핀 드라이버를 갖는 웨이퍼 레벨 번-인 테스트 시스템에 있어서, DUT로 입력되는 신호를 입력으로 하여 테스트 신호의 파형을 검출하는 파형 모니터링 유닛을 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 번-인 테스트 시스템을 제공하고, ⒜ 표준으로 등록된 파형에 따른 테스트 패턴에 따라 DUT로 테스트 신호를 공급하고 그 공급되는 테스트 신호를 모니터링 하는 모니터링 단계, ⒝ 모니터링 데이터를 이용하여 실제 DUT에 공급되는 파형으로 복원하여 그 출력 파형을 표준 등록 파형과 비교하는 단계 ⒞ 테스트 이상 유무를 판별하고 그에 따른 동작 단계를 포함하는 테스트 방법을 제공하여, 검출된 테스트 신호의 이상 유무를 판별하고 그에 따른 경고나 대응 조치가 빠르게 이루어질 수 있도록 하여 공정의 신뢰성과 제품의 신뢰성을 확보할 수 있다.
번-인 테스트, 웨이퍼 레벨, 모니터링, 파형, DUT

公开(公告)号：KR100656586B1

公开(公告)日：2006-12-13

申请号：KR1020050001682

申请日：2005-01-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남정현 ,  강기상 ,  김훈정 ,  황인석 ,  구기범

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2877

Abstract: 본 발명은 프로브 카드 냉각용 공기 분사기를 갖는 웨이퍼 번인 시스템에 관한 것으로, 번인 공정이 진행될 때 번인 챔버 내의 프로브 카드에 열축적이 이루어지는 것을 억제하기 위해서, 번인 챔버와, 상기 번인 챔버 내에 설치되며, 하부면에 프로브 카드가 설치되고, 상기 프로브 카드 주위로 공기의 흐름을 발생시켜 상기 프로브 카드에 열축적이 발생되는 것을 억제하는 공기 분사기가 설치된 프로브 헤드와, 상기 번인 챔버 내에 설치되며, 상부면에 탑재되는 웨이퍼를 고정하고, 상기 웨이퍼가 상기 프로브 카드에 프로빙될 수 있도록 상기 웨이퍼를 승강시키는 웨이퍼 스테이지를 갖는 프로브 스테이션과; 상기 프로브 스테이션과 범용 인터페이스 버스(GPIB)로 연결되어 상기 프로브 헤드에 테스트 신호를 입출력하며, 상기 공기 분사기의 작동을 제어하는 테스터;를 포함하며, 상기 테스터는 상기 번인 챔버에서 번인 공정이 진행되는 동안 상기 공기 분사기를 작동시켜 상기 프로브 카드 주위에서 공기의 흐름을 강제적으로 발생시켜 상기 프로브 카드에 열축적이 발생되는 것을 억제하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 냉각용 공기 분사기를 갖는 웨이퍼 번인 시스템을 제공한다.
웨이퍼, 번인, 열축적, 냉각, 방열