公开(公告)号：KR1020100103303A

公开(公告)日：2010-09-27

申请号：KR1020090021865

申请日：2009-03-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 권상진 ,  이재훈 ,  강용하 ,  이종원

IPC: G01R31/12 ,  G01R31/307

CPC classification number: G01R31/3004

Abstract: PURPOSE: A reliability evaluation circuit and a reliability evaluation system are provided to reduce a time for evaluating the reliability by applying stress voltages with a plurality of different voltage levels to a plurality of device units. CONSTITUTION: A stress voltage generating block(110) outputs a plurality of stress voltages with different voltage levels through a plurality of first input/output(IO) terminals. A stress device array(120) connects one terminal with one of the first IO terminals. The other terminal of the stress device array is connected with one of second IO terminals. A plurality of device units is arranged in a matrix shape.

Abstract translation: 目的：提供可靠性评估电路和可靠性评估系统，以通过向多个设备单元施加具有多个不同电压电平的应力电压来减少用于评估可靠性的时间。 构成：应力电压产生块（110）通过多个第一输入/输出（IO）端子输出具有不同电压电平的多个应力电压。 应力装置阵列（120）将一个端子与第一IO端子中的一个连接。 应力装置阵列的另一个端子与第二IO端子中的一个连接。 多个器件单元被布置成矩阵形状。

公开(公告)号：KR100515880B1

公开(公告)日：2005-12-08

申请号：KR1019980016447

申请日：1998-05-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 권상진

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 게이트 산화막에 대한 항복 전압(Breakdown Voltage) 측정 방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 FN(Fowler-Nordheim) 터널링 특성이 아닌 실제로 게이트 산화막이 항복되는 항복 전압을 측정하여, 게이트 산화막에 관련된 공정 변동과 게이트 산화막에 기인한 제품 신뢰성의 열화를 검출할 수 있는 게이트 산화막의 항복 전압 측정 방법을 제공하는 데 있다. 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 게이트 산화막에 전계가 단계적으로 증가하는 응력 인가 펄스(Forcing Pulse)와 소정의 전계로 고정된 측정 펄스(Measuring Pulse)를 교대로 반복하며 인가하는 단계와, 각각의 측정 펄스의 전계에서 게이트 산화막의 전류값을 측정하는 단계를 포함하는 게이트 산화막의 항복 전압 측정 방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR1019990084574A

公开(公告)日：1999-12-06

申请号：KR1019980016447

申请日：1998-05-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 권상진

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 게이트 산화막에 대한 항복 전압(Breakdown Voltage) 측정 방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 FN(Fowler-Nordheim) 터널링 특성이 아닌 실제로 게이트 산화막이 항복되는 항복 전압을 측정하여, 게이트 산화막에 관련된 공정 변동과 게이트 산화막에 기인한 제품 신뢰성의 열화를 검출할 수 있는 게이트 산화막의 항복 전압 측정 방법을 제공하는 데 있다. 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 게이트 산화막에 전계가 단계적으로 증가하는 응력 인가 펄스(Forcing Pulse)와 소정의 전계로 고정된 측정 펄스(Measuring Pulse)를 교대로 반복하며 인가하는 단계와, 각각의 측정 펄스의 전계에서 게이트 산화막의 전류값을 측정하는 단계를 포함하는 게이트 산화막의 항복 전압 측정 방법을 제공한다.