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公开(公告)号：KR100548995B1
公开(公告)日：2006-02-02
申请号：KR1019990040129
申请日：1999-09-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체 소자 제조용 종형 확산로의 웨이퍼 지지 장치에 관한 것으로서, 길이 방향으로 소정 간격을 두고 복수의 슬롯이 형성된 복수의 보트 바와, 상기 보트 바의 슬롯으로부터 반대 방향으로 웨이퍼를 안착시킬 수 있도록 각 각 돌출 형성된 돌출 턱과, 상기 보트 바의 슬롯 상에 안착되는 복수의 보트 링을 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 보트의 구성 부품을 줄임과 동시에 가공도 용이하게 되므로 웨이퍼를 안정적으로 지지할 수 있을 뿐만 아니라, 제품의 조립 생산성을 더욱 향상시킬 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020000018773A
公开(公告)日：2000-04-06
申请号：KR1019980036536
申请日：1998-09-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/205
Abstract: PURPOSE: A CVD(chemical vapor deposition) apparatus is provided to minimize a generation of particle source by constantly holding a temperature gradient to an entire surface of a quartz tube. CONSTITUTION: A boat(24) loaded in a wafer(22) is arranged in a quartz tube(26) by up /down unit having a base axis(20). A heater(34) is formed at sides of the quartz tube(26) and supplying a gas for depositing into the quartz tube(26) so as to form a thin film on the wafer(22). For constantly controlling the temperature gradient in the quartz tube(26), a heating member is formed on the quartz tube. The heating member is used of a quartz plate(46) including a thermal line(44).
Abstract translation: 目的：提供CVD（化学气相沉积）装置，以通过持续保持温度梯度到石英管的整个表面来最小化颗粒源的产生。 构成：装载在晶片（22）中的船（24）通过具有基轴（20）的上/下单元布置在石英管（26）中。 在石英管（26）的侧面形成加热器（34），并向石英管（26）供给用于沉积的气体，以在晶片（22）上形成薄膜。 为了不断控制石英管（26）中的温度梯度，在石英管上形成加热构件。 加热构件用于包括热线（44）的石英板（46）。
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公开(公告)号：KR100178617B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019950052898
申请日：1995-12-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/22
Abstract: 온도감지센서인 열전대(Thermocouple)로 하여금 확산로 내부 플랫존(flat zone) 부위의 정확한 온도를 감지하도록 열전대를 보호해주는 반도체소자 제조설비의 열전대 보호관이 개시되어 있다.
본 발명은 열전대로 하여금 플랫존 부위의 정확한 온도를 감지할 수 있도록 열전대를 보호해주는 반도체 제조설비의 열전대 보호관에 있어서, 열전대가 하측으로부터 삽입될 수 있도록 관형상으로 수직하게 세워지며, 열전대로 하여금 확산로 내부의 온도를 감지하도록 하는 1 자관과 굴곡괸 관형상으로서 1 자관을 하측으로부터 삽입하여 상측으로 돌출시켜 지지하도록 관통된 수직개구를 형성하고 있으며, 1 자관에 삽입된 열전대의 일반부를 굴곡시켜 노출되도록 관통된 수평개구를 형성하고 있는 굴곡관 및 굴곡관의 수평개구를 통해 삽입되어 1자관이 굴곡관의 하측 부위를 받쳐 지지하도록 하는 지지관을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
따라서, 열전대가 정확한 플랫존 부위의 온도를 감지하게 되며, 파손이 있을 경우 쉽게 교체하여 사용할 수 있는 이점이 있다.-
公开(公告)号：KR100161417B1
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：KR1019950020391
申请日：1995-07-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/223
CPC classification number: C30B31/16
Abstract: 본 발명은 가스 흐름이 개선된 종형확산로에 관한 것으로, 종형 석영튜브관 내의 상부까지 연장되어 종형 석영튜브관 내에 적재된 웨이퍼들중 가장 높은 위치에 적재된 웨이퍼의 상부에 수소가스를 공급하는 주입관과, 종형 석영튜브관 내의 최하부에 위치하는 웨이퍼보다 낮게 위치하도록 종형 석영튜브관의 하부측벽을 직접 관통하여 종형 석영튜브관 내에 질소 가스를 공급하는 가스유입구, 및 가스유입구과 마주보는 위치에 설치된 가스배출구를 구비함으로써, 종형 석영튜브관 내에 유입된 수소가스가 석영튜브관내에서 와류현상을 일으키지 않고 안정된 수소가스층을 형성하는 것을 특징으로 한다
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公开(公告)号：KR1019970065779A
公开(公告)日：1997-10-13
申请号：KR1019960006107
申请日：1996-03-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C30B25/00
Abstract: 본 발명은 반도체소자 제조장비에 사용되는 화학기상증착장치에 관한 것으로 특히 공정조건을 개선하여 웨이퍼에 증착되는 막질의 균일성을 개선하기 위한 화학기상증착장치에 대한 것이다.
본 발명의 따른 화학기상증착장치는 종형의 외부튜브와 상기 외부튜브의 내측에 설치되는 원통형의 내부튜브로 구성된 공정챔버를 구비하되, 상기 내부튜브의 직경보다 상대적으로 크고 상기 외부튜브의 직경보다 작은 소정 높이를 갖는 커버와, 상기 내부튜브의 상단에 소정의 간격의 간격을 갖고 설치되어서 상기 커버를 지지하는 복수개의 지지편을 갖는 커버수단을 포함하여, 공정진행중 외부튜브에 흡착된 막질이 이탈되어 웨이퍼가 위치한 내부튜브내로 유입되는 것을 차단시켜 공정결함을 예방할 수 있도록 한 것이다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019970008336A
公开(公告)日：1997-02-24
申请号：KR1019950020391
申请日：1995-07-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/223
Abstract: 소정의 반응에 필요한 안정된 수소가스층을 얻기 위해, 종래의 종형확산로의 가스유입관을 제거하고 대신 가스유입구를 가스배출구에 대응하게 석영튜브관 외벽에 형성함으로써, 유입된 수소가스가 석영튜브관 내에서 하부에서 상부로 이동하게 한다. 이에 의해 종래의 종형확산로가 가지는 반응가스의 와류가 억제됨과 동시에 가스유입관으로 인한 각종 문제점을 근본적으로 치유할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019930010278B1
公开(公告)日：1993-10-16
申请号：KR1019900016897
申请日：1990-10-22
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 권정환
IPC: H04M1/26
Abstract: This method specially concerns a dial digit storage keeping device that will memorize phone numbers in hook-on state and store back-up data without using batteries. The method provides a dial digit storable phone system that will store dial digits and store data for a long period without battery use through a micro processor. This system comprises a rectifier, a communication circuit, a communication control circuit, a micro processor, and a back-up power supply. This method is composed of a key input checking routine, a dial storage routine and a communication loop blocking routine.
Abstract translation: 该方法特别涉及一种拨号数字存储设备，其将记忆挂机状态下的电话号码并且不使用电池来存储备份数据。 该方法提供一个拨号数字可存储电话系统，将通过微处理器存储拨号数字并长时间存储数据，无需电池使用。 该系统包括整流器，通信电路，通信控制电路，微处理器和备用电源。 该方法由密钥输入检查例程，拨号存储例程和通信环路阻塞程序组成。
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