公开(公告)号：KR1020060071015A

公开(公告)日：2006-06-26

申请号：KR1020040109906

申请日：2004-12-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박병권 ,  정우남 ,  김경효 ,  김인덕 ,  임진승 ,  이상근 ,  윤홍식 ,  신현보 ,  박선희 ,  김종욱 ,  이건호 ,  김진희 ,  김미선

IPC: G02F1/13

CPC classification number: H01L21/67363 ,  B08B5/04 ,  B65D85/48 ,  B65G2249/02 ,  G02F1/1313 ,  H01L21/6734

Abstract: 클리닝 장치, 이를 갖는 보관 장치 및 보관 장치의 클리닝 방법을 개시한다. 흡입 유닛은 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 흡입한다. 필터 유닛은 흡입 유닛으로부터 흡입되는 파티클을 필터링한다. 진공압 발생 유닛은 흡입 유닛에 진공을 발생시킨다. 제어부는 진공압 발생 유닛을 제어한다. 전원 공급부는 진공압 발생 유닛에 전원을 공급한다. 작업자의 고공의 클리닝 작업 대신에 클리닝 장치를 이용하여 보관 장치를 클리닝함으로써, 효율적인 클리닝이 가능하고, 낙상 등의 안전 사고를 방지할 수 있다.