公开(公告)号：KR1020060083510A

公开(公告)日：2006-07-21

申请号：KR1020050004231

申请日：2005-01-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김민아 ,  김용훈 ,  차병철

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F1/82 ,  G03F1/84

Abstract: 결함성 부산물들을 제거하는 포토마스크 장비를 제공한다. 이 장비는 포토마스크 기판이 로딩되는 척(chuck), 로딩된 포토마스크 기판의 결함성 부산물들을 검출하는 검사 수단(inspection means), 및 세정 레이저를 사용하여 검사 수단에 의해 검출된 결함성 부산물들을 제거하는 세정 수단(cleaning means)을 포함한다. 이때, 세정 및 검사 수단들로 구성된 일군, 및 척으로 구성된 일군 중에 적어도 하나는 2차원적으로 수평이동이 가능하다.

公开(公告)号：KR1020090035944A

公开(公告)日：2009-04-13

申请号：KR1020070100995

申请日：2007-10-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 공동건 ,  명현 ,  방석원 ,  윤재삼 ,  오유리 ,  김민아 ,  김홍국 ,  박지훈

IPC: G10L15/183 ,  G10L15/02 ,  G10L15/14 ,  G10L15/22

Abstract: A method and an apparatus for recognizing voice are provided to register and recognize new words in real time through two way voice recognition based on language model correction, thereby increasing accuracy of voice recognition. A feature vector extractor(110) divides an inputted voice signal(10) into a unit frame to extract a feature vector corresponding to a divided frame area. The first phoneme recognition unit(120) produces a phonetic lattice from the feature vector of the inputted voice signal. The first phoneme recognition unit produces the first phoneme row group by recognizing a phoneme by pattern-matching the feature vector by the first sound model and language model. The first phoneme recognition unit produces a phonetic lattice from the first phoneme row group. The second phoneme recognition unit(140) recognizes a phoneme by pattern-matching the feature vector by the second sound model and corrected phonetic lattice.

Abstract translation: 提供用于识别语音的方法和装置，以通过基于语言模型校正的双向语音识别实时地登记和识别新单词，从而提高语音识别的准确性。 特征向量提取器（110）将输入的语音信号（10）划分为单位帧，以提取与划分的帧区域相对应的特征向量。 第一音素识别单元（120）根据输入的语音信号的特征向量产生语音格。 第一音素识别单元通过利用第一声音模型和语言模型对特征向量进行模式匹配来识别音素来产生第一音素行组。 第一音素识别单元从第一音素行组产生语音格子。 第二音素识别单元（140）通过第二声音模型和校正的语音格子对特征矢量进行图形匹配来识别音素。

公开(公告)号：KR1020050068011A

公开(公告)日：2005-07-05

申请号：KR1020030099051

申请日：2003-12-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이동근 ,  최성운 ,  문성용 ,  김병국 ,  김민아

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G03F7/70625 ,  G01B11/02

Abstract: 파장가변 레이저 장치를 구비한 광학적 임계치수 측정장치 및 그 측정장치를 이용한 임계치수 측정방법을 개시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 광학적 임계치수 측정장치는 기판 상에 형성되어 있는 패턴의 임계치수를 측정하는 장치로서, 파장가변 레이저 장치와 같이 시간에 따라 크기가 변하는 파장의 광을 방출하는 장치를 구비한 광원 광학계, 광원 광학계에서 방출되는 광을 기판에 조사하기 위한 조사 광학계, 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 기판에 의해 반사되는 광을 중계하는 이미지 릴레이 광학계 및 이미지 릴레이 광학계로부터 중계되는 광을 공간 분해능을 가진 검출기 예컨대 전하결합소자로 검출하는 이미지 검출 광학계를 구비한다.

公开(公告)号：KR101398639B1

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：KR1020070100995

申请日：2007-10-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 공동건 ,  명현 ,  방석원 ,  윤재삼 ,  오유리 ,  김민아 ,  김홍국 ,  박지훈

IPC: G10L15/183 ,  G10L15/02 ,  G10L15/14 ,  G10L15/22

Abstract: 음성 인식 장치 및 방법이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 음성 인식 장치는 입력된 음성 신호의 특징 벡터로부터 음성 격자(Phonetic Lattice)를 생성하는 제1 음소 인식부와, 음성 격자를 음소 규칙을 이용하여 보정하는 언어 모델 보정부 및 보정된 음성 격자를 이용하여 특징 벡터로부터 음성을 인식하는 제2 음소 인식부를 포함한다.
음성 인식, 음성 등록, 언어 모델, 음향 모델, 언어 모델 보정, 실시간 음성 인식.

公开(公告)号：KR100574963B1

公开(公告)日：2006-04-28

申请号：KR1020030099051

申请日：2003-12-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이동근 ,  최성운 ,  문성용 ,  김병국 ,  김민아

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G03F7/70625 ,  G01B11/02

Abstract: 파장가변 레이저 장치를 구비한 광학적 임계치수 측정장치 및 그 측정장치를 이용한 임계치수 측정방법을 개시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 광학적 임계치수 측정장치는 기판 상에 형성되어 있는 패턴의 임계치수를 측정하는 장치로서, 파장가변 레이저 장치와 같이 시간에 따라 크기가 변하는 파장의 광을 방출하는 장치를 구비한 광원 광학계, 광원 광학계에서 방출되는 광을 기판에 조사하기 위한 조사 광학계, 기판을 지지하기 위한 기판 지지대, 기판에 의해 반사되는 광을 중계하는 이미지 릴레이 광학계 및 이미지 릴레이 광학계로부터 중계되는 광을 공간 분해능을 가진 검출기 예컨대 전하결합소자로 검출하는 이미지 검출 광학계를 구비한다.
반도체, 임계치수, CD 균일도, 파장가변 레이저 장치, 전하결합소자