公开(公告)号：KR1020170128997A

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：KR1020160059789

申请日：2016-05-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조태영 ,  이영주 ,  김종정 ,  최창훈

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/21 ,  G01N21/27 ,  G01N21/59

CPC classification number: G01J3/0297 ,  G01J3/28

Abstract: 본발명의기술적사상은스펙트럼을이용하는계측설비에있어서, 공정들간 및/또는계측설비간의오차를최소화할수 있는계측설비의스펙트럼보정방법, 및그 스펙트럼보정방법을기반으로하여신뢰성있는소자의계측방법을제공한다. 그스펙트럼보정방법은스펙트럼에영향을미치는설비파라미터들에기초하여, 설비파라미터들의오차를계산하고설비파라미터들의오차를역산을통해측정스펙트럼에반영함으로써, 계측설비의에러요소들에대한근본적인보정을수행할수 있다.

Abstract translation: 本发明的技术特征提供了一种方法，过程，之间和/或测量设备的光谱校准方法，其可最小化测量设备之间的误差，所述频谱校正方法的基础为使用频谱测量设备上如何可靠设备的mitgeu测量 的。 到频谱校正方法是基于影响的光谱，通过计算设备参数的误差，通过反转反射的植物参数所测量的谱中的误差，对于测量设备的误差因素进行基本校正设备参数 你可以。

公开(公告)号：KR2019930009587U

公开(公告)日：1993-05-26

申请号：KR2019910018185

申请日：1991-10-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김종정

IPC: G11B31/00