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公开(公告)号：KR1019990081574A
公开(公告)日：1999-11-15
申请号：KR1019980015590
申请日：1998-04-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/13
Abstract: 본 발명은 액정표시장치 제조용 식각설비의 기판 이송 툴 및 이의 기판 이송방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 유리기판과 마주보는 이송아암들의 밑면에 유리기판의 파손을 감지할 수 있는 다수개의 센싱장치, 예컨대, 광센서를 부착하고, 이를 통해, 유리기판의 손상여부가 아암 콘트롤러의 제어에 의해 지속적으로 선별되도록 함으로써, 손상된 유리기판의 회전 드라잉 공정 투입을 완벽히 차단할 수 있다.
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公开(公告)号：KR2019960002187U
公开(公告)日：1996-01-19
申请号：KR2019940015219
申请日：1994-06-25
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김창국
IPC: F04C18/356
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公开(公告)号：KR2019950027864U
公开(公告)日：1995-10-18
申请号：KR2019940004706
申请日：1994-03-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김창국
Abstract: 본고안은밀폐형회전압축기에관한것이다. 본고안은따른밀폐형회전압축기는밀폐용기(10)와, 밀폐용기에내장되어냉매를흡입압축하는실린더(22)와, 실린더의일측을커버하며냉매토출공이형성된상부덮개(40)를구비하며, 상부덮개(40)에형성된냉매토출공(430) 및이 냉매토출공을커버하는토출밸브(410)의커버부(411)가간극체적을최소화하도록타원상으로형성된다. 이로써재팽창되는냉매의양이줄어들어압축기의성능이개선된다.
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公开(公告)号：KR100493766B1
公开(公告)日：2005-08-01
申请号：KR1019980015590
申请日：1998-04-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/13
Abstract: 본 발명은 액정표시장치 제조용 식각설비의 기판 이송 툴 및 이의 기판 이송방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 유리기판과 마주보는 이송아암들의 밑면에 유리기판의 파손을 감지할 수 있는 다수개의 센싱장치, 예컨대, 광센서를 부착하고, 이를 통해, 유리기판의 손상여부가 아암 콘트롤러의 제어에 의해 지속적으로 선별되도록 함으로써, 손상된 유리기판의 회전 드라잉 공정 투입을 완벽히 차단할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020000018711A
公开(公告)日：2000-04-06
申请号：KR1019980036438
申请日：1998-09-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G02F1/1303 , G02F2001/1316 , G02F2202/22 , H01L21/67034
Abstract: PURPOSE: An apparatus for drying LCD glass is provided, which installs an ion blower to an air knife for removing an electrostatic generated when removing a pure water. CONSTITUTION: An apparatus for drying LCD glass comprises: a conveyer (16) for transmitting an LCD glass (15) which a cleaning is progressed by a pure water; first to third air knifes (11,12,17) for emitting a high-temperature dry air to the LCD glass (15) from an upper and lower of the conveyer (16), wherein first to third air knifes (11,12,17) are connected to a high-temperature supplying pipe line (13); and ion blowers (31,32,33) to be installed to first to third air knifes (11,12,17) and for removing an electrostatic generated in the LCD glass (15), wherein ion blowers (31,32,33) emit an N2 ion. Thereby, it is possible to prevent which a badness of the LCD glass is occurred by the electrostatic.
Abstract translation: 目的：提供一种用于干燥LCD玻璃的设备，其将离子鼓风机安装到气刀上，以除去去除纯水时产生的静电。 构成：用于干燥LCD玻璃的设备包括：用于传输LCD玻璃（15）的输送机（16），清洁用纯水进行; 用于从所述输送机（16）的上部和下部向所述LCD玻璃（15）发射高温干燥空气的第一至第三空气刀（11,12,17），其中，第一至第三空气刀（11,12,17） 17）连接到高温供应管线（13）; 以及要安装到第一至第三空气刀（11,12,17）并用于去除在LCD玻璃（15）中产生的静电的离子鼓风机（31,32,33），其中离子鼓风机（31,32,33） 发出N2离子。 由此，可以防止由于静电导致LCD玻璃的不良现象。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990069596A
公开(公告)日：1999-09-06
申请号：KR1019980003973
申请日：1998-02-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 본 발명은 반도체 조립 설비용 가동 데이터 패치 시스템에 관한 것으로, 본발명에서는 반도체 조립 설비로부터 발생되는 가동 데이터를 일괄적으로 취합할 수 있는 호스트를 추가로 구비함과 아울러 이러한 반도체 조립 설비와 호스트 사이에 반도체 조립 설비로부터 발생되는 가동 데이터를 일정한 유형으로 분류하여, 전송시킬 수 있는 가동 데이터 패치 모듈을 구비함으로써, 반도체 조립 설비의 전체적인 생산효율을 현저히 향상시킬 수 있으며, 또한, 최종 생산되는 제품의 품질을 현저히 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020000051507A
公开(公告)日：2000-08-16
申请号：KR1019990002005
申请日：1999-01-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: PURPOSE: A filter device for a semiconductor equipment is provided by being able to replace easily a filter members from a filter housing without modifying piping design, and by preventing a leakage of the solution to be supplied from the filter housing. CONSTITUTION: A filter device for the semiconductor equipment consists of: a housing body having a fixed receiving space and having the projecting portion of a ring type at the top of a circumference surface; a filter members to be installed in the housing body; a bottom cover of the housing body connected with a fluid inlet valve for filtered fluid; and a top cover of the housing body connected with a fluid outlet valve for filtered fluid and installed with an external thread portion at the projecting portion of the ring type so as to detach/build-up.
Abstract translation: 目的：通过能够容易地从过滤器壳体更换过滤器构件而不改变管道设计，并且通过防止从过滤器壳体供给的溶液的泄漏来提供用于半导体设备的过滤装置。 构成：用于半导体设备的过滤装置包括：壳体，其具有固定的容纳空间，并且在圆周表面的顶部具有环形突出部分; 要安装在壳体内的过滤器构件; 壳体的底盖与用于过滤流体的流体入口阀连接; 以及壳体的顶盖，其与用于过滤流体的流体出口阀连接，并且在环形突出部分处安装有外螺纹部分以便分离/积聚。
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公开(公告)号：KR200133022Y1
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR2019940015219
申请日：1994-06-25
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김창국
IPC: F04C18/356
Abstract: 본 고안은 증발기에서 증발작용된 냉매를 압축시키느 로터리 압축기에 관한 것으로서, 특히 제조코스트를 다운시키고 생산성을 향상시키며 압축효율을 향상시키기 위해서 실린더부재(60)와 톱플랜지(25) 그리고 바톰플랜지(26)를 용접에 의해서 결합한 것을 특징으로 하는 로터리 압축기에 관한 것으로서 종래의 볼트결합으로 인해 발생되는 제반 문제점을 해결하여 제조코스트를 다운시키고 생산성을 향상시키며 압축효율을 향상시킬 수 있다는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR100589463B1
公开(公告)日：2006-06-13
申请号：KR1019990002005
申请日：1999-01-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은 공정 용액 유입관의 일측 단부에 상부가 개구되고 내부에 교환형 필터부재가 수납된 필터 하우징을 결합시키고, 공정 용액 토출관의 일측 단부에 하우징 커버를 연결시킨 상태에서 필터 하우징과 하우징 커버를 분리 가능하게 결합시켜 공정 용액의 필터링은 물론 필터 부재를 교환할 수 있도록 한 반도체 설비용 필터 장치에 관한 것으로, 본 발명에 의하면 배관 설계 변경 없이 필터 하우징으로부터 필터 부재를 용이하게 교체할 수 있음과 동시에 필터 하우징으로부터 공급 용액의 누설을 방지할 수 있다.
필터, 필터 부재
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