핀형 전계 효과 트랜지스터를 구비한 반도체 소자
    1.
    发明公开
    핀형 전계 효과 트랜지스터를 구비한 반도체 소자 审中-实审
    半导体器件,包括微型场效应晶体管

    公开(公告)号:KR1020160044976A

    公开(公告)日:2016-04-26

    申请号:KR1020140140164

    申请日:2014-10-16

    Inventor: 동야오취

    Abstract: 본발명의기술적사상에따른반도체소자는, 반도체기판; 상기반도체기판에형성되는핀형구조물; 상기핀형구조물의상면보다낮은상면을갖도록상기반도체기판에형성되는절연층; 및상기핀형구조물의상면의일부및 양측면의일부를덮는게이트;를포함하고, 상기게이트는상기핀형구조물의측면에서상기절연층의상면으로부터제1 레벨에있는제1 너비와, 상기제1 레벨보다낮은제2 레벨에있는제2 너비를갖고, 상기제1 레벨로부터상기제2 레벨까지의상기게이트의너비는상기제1 너비로부터상기제2 너비까지좁아질수 있다.

    Abstract translation: 根据本发明的技术思想,半导体器件包括:半导体衬底; 形成在所述半导体基板上的翅片型结构; 绝缘层,形成在所述半导体基板上,以具有比所述鳍式结构的上表面低的上表面; 以及构造成覆盖翅片型结构的上表面或两侧的一部分的门。 所述栅极具有从所述绝缘层的上表面在所述鳍式结构侧的第一高度处的第一宽度,并且具有比所述第一水平低的第二水平的第二宽度。 从第一级到第二级的栅极的宽度可以从第一宽度减小到第二宽度。

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