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公开(公告)号：KR1020160119380A
公开(公告)日：2016-10-13
申请号：KR1020150047578
申请日：2015-04-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67161 , H01L21/67276 , H01L21/67733 , H01L21/67736
Abstract: 본발명은기판제조장치, 기판제조방법, 및그를포함하는패브리케이션라인을개시한다. 그의장치는기판의제 1 단위공정을수행하는제 1 단위설비와, 상기기판의제 2 단위공정을수행하는제 2 단위설비와, 상기기판을수납하는캐리어를상기제 1 및제 2 단위설비들에제공하고, 상기제 1 및제 2 단위설비들사이를연결하는로드포트를포함한다.
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