公开(公告)号：KR1020160017623A

公开(公告)日：2016-02-16

申请号：KR1020150109744

申请日：2015-08-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안정착 ,  이경호 ,  정영우 ,  나승주 ,  박해용

IPC: H01L27/146 ,  H01L21/762

Abstract: BSI(backside illuminated) 이미지센서의픽셀은제1표면과제2표면을포함하는반도체기판과, 상기제1표면과상기제2표면사이에형성되고, 상기제2표면을통해수신되는입사광에응답하여전하들을생성하는광전변환영역과, 상기광전변환영역을에워싸고상기제2표면으로부터수직으로확장된제1트랜치-타입고립영역들과, 상기반도체기판내에서상기광전변환영역의아래(below)에형성된플로팅디퓨전영역과, 상기제1표면으로부터상기광전변환영역으로수직으로확장되고, 상기광전변환영역의상기전하들을상기플로팅디퓨전영역으로전송하는전송게이트를포함하고, 상기제1트랜치-타입고립영역들은네가티브전하물질을포함한다.

Abstract translation: 背面照明（BSI）图像传感器的像素包括：半导体衬底，包括第一表面和第二表面; 光电转换区域，形成在所述第一表面和所述第二表面之间，并被配置为响应于通过所述第二表面接收的入射光而产生电荷; 第一沟槽型隔离区域，被配置为围绕光电转换区域并从第二表面垂直延伸; 形成在所述半导体衬底中的所述光电转换区域的下方的浮动扩散区域; 以及从所述第一表面垂直延伸到所述光电转换区域并且被配置为将所述光电转换区域的电荷传输到所述浮动扩散区域的传输门。 第一沟槽型隔离区域包括负电荷材料。

公开(公告)号：KR1020150062487A

公开(公告)日：2015-06-08

申请号：KR1020130147185

申请日：2013-11-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박해용 ,  이경호 ,  안정착 ,  최상준

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14645 ,  H01L27/14612 ,  H01L27/14614 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/1463 ,  H01L27/14638 ,  H01L27/1464

Abstract: 후면조사형이미지센서에있어서, 광전변화부에서생성된광전하를플로팅확산부로전송하는전송게이트의상부는상대적으로선폭이작은필러형상으로형성하고하부는상대적으로선폭이큰 플라스크형상으로형성한다. 이에따라, 광전변환부와접속하는표면적을증가시킴으로써플로팅확산부로광전하를전송할때 유효채널길이를증가시킬수 있다.

Abstract translation: 在背光式图像传感器中，用于将在光电转换部分中产生的光电荷转移到浮动扩散部分的传输门的上部具有相对窄的填充物形状的线宽。 下部具有较大的烧瓶形状的较大线宽。 由此，接触光电转换部的表面积增大，使得当光电荷传输到浮动扩散部时可以增加有效的沟道长度。

公开(公告)号：KR1020000025771A

公开(公告)日：2000-05-06

申请号：KR1019980042971

申请日：1998-10-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박해용

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: An apparatus for connecting a cable of a semiconductor operation body is provided to prevent the disconnection of a cable using a spring cable having the property of expansion and contraction in itself. CONSTITUTION: An apparatus for connecting a cable(10) is provided whose one side end is connected to an operation body(30) reciprocating along a fixed path by a guide rail(40), and another side end is fixed to a fixing body. The apparatus includes a cable duct(20) where a number of blocks are hinge-combined in series and a coil-shaped spring cable in the cable duct. The apparatus improves the endurance of a product by preventing the disconnection of the cable using the spring cable.

Abstract translation: 目的：提供一种用于连接半导体操作体的电缆的装置，以防止使用具有膨胀和收缩性质的弹簧电缆本身断开电缆。 本发明提供一种用于连接电缆（10）的装置，其一侧端与通过导轨（40）沿着固定路径往复运动的操作体（30）连接，另一侧端固定在固定体上。 该装置包括电缆管道（20），其中多个块被串联铰链组合，并且线缆形弹簧电缆在电缆管道中。 该设备通过防止使用弹簧电缆断开电缆来提高产品的耐久性。

公开(公告)号：KR1020050001202A

公开(公告)日：2005-01-06

申请号：KR1020030042776

申请日：2003-06-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박해용

IPC: H01L21/304

Abstract: PURPOSE: An IPA(isopropyl alcohol) vapor drying apparatus with an IPA density monitoring sensor is provided to properly cope with a variation of an IPA density by detecting the variation of the IPA density in real time. CONSTITUTION: A wafer(135) is built in a housing(130) whose upper part is filled with deionized water. The upper part of the housing is covered with a hood(120) having a predetermined inner space. IPA(145) and nitrogen(155) are supplied and injected to the wafer by the hood. An IPA/nitrogen supply part(200) supplies IPA and nitrogen, connected to the hood. A density sensor(185) monitors the density of IPA supplied to the hood in real time, positioned in the IPA/nitrogen supply part.

Abstract translation: 目的：提供具有IPA密度监测传感器的IPA（异丙醇）蒸气干燥设备，通过实时检测IPA密度的变化来适当应对IPA密度的变化。 构成：晶片（135）内置在壳体（130）中，其上部填充有去离子水。 壳体的上部被具有预定内部空间的罩（120）覆盖。 IPA（145）和氮（155）通过罩提供并注入晶片。 IPA /氮气供应部分（200）提供连接到罩的IPA和氮气。 密度传感器（185）实时监控IPA /氮气供应部件中实时提供给IPA的IPA的密度。