公开(公告)号：WO2022260280A1

公开(公告)日：2022-12-15

申请号：PCT/KR2022/006080

申请日：2022-04-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박정규 ,  조영경 ,  김종일 ,  도덕호 ,  류태형 ,  변규현 ,  서영민 ,  이보라

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/06 ,  B23K26/082 ,  G02B17/08 ,  G02B13/22 ,  G02B13/00 ,  G02B5/00

Abstract: 다양한 실시 예들에 따른 광학 시스템은, 투명 소재 또는 반투명 소재를 지지하는 스테이지, 빔을 방출하는 광원, 상기 빔이 통과하고, 제 1 베셀 빔 영역을 형성하는 제 1 렌즈, 상기 제 1 렌즈를 통과한 빔이 통과하는 제 2 렌즈, 상기 제 2 렌즈를 통과한 빔이 통과하고, 상기 투명 소재 또는 상기 반투명 소재에 제 2 베셀 빔 영역을 형성하는 제 3 렌즈, 및 상기 제 2 렌즈 및 상기 제 3 렌즈 사이에 위치된 스캐너를 포함하고, 상기 스캐너는, 상기 제 2 렌즈를 통과하는 빔을 상기 스테이지의 제 1 방향을 따라 상기 제 3 렌즈로 반사하는 제 1 미러, 및 상기 제 2 렌즈를 통과하는 빔을 상기 제 1 방향에 교차하는 상기 스테이지의 제 2 방향을 따라 상기 제 3 렌즈로 반사하는 제 2 미러를 포함할 수 있다.