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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR2019970052813U
公开(公告)日：1997-09-08
申请号：KR2019960003192
申请日：1996-02-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/205
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公开(公告)号：KR2019970051150U
公开(公告)日：1997-09-08
申请号：KR2019960002822
申请日：1996-02-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B25B21/00
Abstract: 본고안은나비너트에균일한힘을가하여고정및 실링(sealing)을정확히수행하고작업시간을단축시킬수 있도록하는나비너트조임구에관한것이다. 본고안은전면에상기나비너트가삽입되도록홈이형성된헤드부와, 상기헤드부의후면에서소정의길이로연장되어형성되는몸체부와, 상기몸체부의끝단에 T자형으로형성된손잡이부로구성된다. 이때상기홈은십자형또는일자형으로형성되고, 상기헤드부및 몸체부는원통형으로형성되는데상기몸체부의직경은상기헤드부의직경보다작게형성된다.
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公开(公告)号：KR200151456Y1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR2019960000557
申请日：1996-01-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 안기민
IPC: H01L21/22
Abstract: 확산로에서 사용되는 튜브들을 적재하여 보관할 수 있는 반도체 제조공정용 튜브 보관장치가 개시되어 있다.
본 고안의 튜브 보관장치는, 하부지지대, 상기 하부지지대상에 수직으로 설치된 수직지지대 및 반도체 공정용 튜브를 안착할 수 있도록 상기 수직지지대의 측벽을 따라 수직으로 복수개 형성되어 있는 튜브받침대를 구비하여 이루어진다.
따라서 튜브들을 좁은 공간에서 안정되게 정렬시킬 수 있으며, 튜브의 깨짐 및 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR200153144Y1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR2019960003192
申请日：1996-02-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/205
Abstract: 진공펌프의 기계적 마찰이 심한 부위가 마모 및 가열됨을 방지하도록 오일을 공급하는 반도체소자 제조설비의 오일 교환장치에 관한 것이다.
본 고안은 진공펌프의 배출구에 분리/결합되는 이송관을 갖으며 상기 진공펌프 내의 폐오일을 이송관을 통해 폐유통으로 보내는 폐오일 배출펌프와, 상기 진공펌프의 투입구에 분리/결합되는 이송관을 갖으며 오일통의 오일을 이송관을 통해 상기 진공펌프로 보내는 오일 공급펌프 및 상기 폐오일 배출펌프와 상기 오일 공급펌프에 공급되는 전원을 단속하여 오일의 배출과 공급을 조절하게 되는 조작부를 구비하여 이루어진다.
이렇게 구성된 본 고안에 따르면, 작업자 1인이 손쉬운 조작으로 짧은 시간내에 작업할 수 있고, 폐오일을 효과적으로 제거함으로써 오일의 교체주기를 늘리며, 주변에 오일이 새는 것이 없도록 함으로써 주변환경의 오염을 방지할 뿐만 아니라 폐유를 폐유통에 저장하여 처리하게 되므로 분리수거가 가능한 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR2019970050335U
公开(公告)日：1997-08-12
申请号：KR2019960001200
申请日：1996-01-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/20
Abstract: 반도체소자의제조공정후배기라인으로배출되는폐가스에포함된이물을제거하도록된 반도체소자제조장치의폐가스이물제거용미스트트랩에관한것으로, 속이빈 원통형상의하우징의유입포트및 배출포트가형성되어이루어진반도체소자제조장치의폐가스이물제거용미스트트랩에있어서, 상기유입포트로유입된폐가스에포함되어있는염화암모늄을용해시키도록하우징내부에중수(重水)롤분사하는적어도하나이상의노즐이설치되고, 하우징바닥에상기중수를배출하기위한배수포트가형성된구성이다. 따라서폐가스에포함된염화암모늄이용해되어효과적으로제거됨으로써염화암모늄의제거효율이향상되는것이고, 이로써배출포트및 배기라인이염화암모늄에의해막히는것이방지되어진공펌프의성능이유지되는것이며, 하우징의내부를자주청소해야하는관리상의번거로움이완전해소되는효과가있다.
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