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公开(公告)号：KR1020060031226A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：KR1020040080176
申请日：2004-10-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/6732
Abstract: 웨이퍼 캐리어는 다수매의 웨이퍼가 수납되는 슬랏들이 양측벽에 형성된 캐리어 본체를 포함한다. 슬랏에 수납된 웨이퍼의 유동을 방지하는 웨이퍼 지지부재가 슬랏들 사이에 배치된다. 웨이퍼 지지부재는 캐리어 본체로/로부터 웨이퍼의 출입을 안내하는 웨이퍼 안내부, 웨이퍼 안내부에 연결되어 웨이퍼의 유동을 방지하도록 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 지지부, 및 웨이퍼 지지부에 연결되어 웨이퍼 지지부를 캐리어 본체에 고정시키기 위한 고정부를 포함한다. 따라서, 웨이퍼가 웨이퍼 지지부재에 의하여 지지되므로, 웨이퍼의 이송시 웨이퍼의 유동으로 인한 웨이퍼의 손상 및 파티클을 방지할 수 있다.
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