公开(公告)号：KR1020170036965A

公开(公告)日：2017-04-04

申请号：KR1020150135857

申请日：2015-09-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 유진효 ,  김동현 ,  박장선 ,  이병무 ,  조현호 ,  최호준

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/02

Abstract: 컴퓨팅장치에의한클린룸의모니터링방법은제1 클린룸의공기의질을모니터링하기위한제1 센싱장치들중 적어도하나로부터오염정보를수신하는단계, 상기오염정보를기반으로상기제1 클린룸의상부에위치하는제2 클린룸의오염예상위치를선택하는단계및 제2 클린룸의공기의질을모니터링하는제2 센싱장치가상기오염예상위치를모니터링하기위한상기제2 센싱장치의모니터링위치를제어하는단계를포함하되, 상기컴퓨팅장치는상기오염정보에기초하여상기제1 클린룸의오염된공기의위치및 오염정도를수집한다.

Abstract translation: 一种通过计算设备监测洁净室的方法，包括接收来自第一感测设备中的至少一个的污染信息以监测第一洁净室的空气质量， 用于监测第二洁净室的空气质量的第二感测装置以及用于监测污染预期位置的第二感测装置的监测位置 其中计算设备基于污染信息收集第一洁净室中污染空气的污染位置和程度。