KR102223033B1 - wafer storage container

    公开(公告)号:KR102223033B1

    公开(公告)日:2021-03-04

    申请号:KR1020140051677A

    申请日:2014-04-29

    CPC classification number: H01L21/67383 H01L21/67379

    Abstract: 서로 마주보는 제1측 바디부 및 제2측 바디부, 상기 제1측 및 제2측 바디부들의 상부와 연결된 상부 바디부, 상기 제1측 및 제2측 바디부들의 일측 단부와 연결된 후면 바디부, 및 상기 제1측 및 제2측 바디부들의 하부와 연결되며, 상기 제1측 및 제2측 바디부들, 상기 상부 바디부 및 후면 바디부와 함께 내부 공간을 한정하는 하부 바디부를 포함하는 쉘 바디부; 상기 상부 바디부와 상기 제1측 바디부 사이의 엣지 영역 상에 배치되며 상기 하부 바디부로부터 상기 상부 바디부 방향으로 돌출된 제1 핸들부; 상기 상부 바디부와 상기 제2측 바디부 사이의 엣지 영역 상에 배치되며 상기 하부 바디부로부터 상기 상부 바디부 방향으로 돌출된 제2 핸들부; 상기 내부 공간에 의해 노출되는 상기 제1측 바디부의 제1 내측벽에 배치된 제1 슬롯부; 및 상기 내부 공간에 의해 노출되는 상기 제2측 바디부의 제2 내측벽에 배치된 제2 슬롯부를 포함하되, 상기 제1 및 제2 핸들부들의 각각은 상기 쉘 바디부에 결합되는 서브 핸들부 및 상기 서브 핸들부 상의 메인 핸들부를 포함하고, 상기 제1 및 제2 슬롯부들의 각각은 복수의 개별 슬롯 가이드 및 상기 개별 슬롯 가이드 상의 복수의 서포터들을 포함하고, 상기 각각의 서포터들은 쉘 바디부의 웨이퍼 출입부로부터 상기 쉘 바디부의 상기 후면 바디부 방향으로 갈수록 높아지는 경사진 면을 갖는 웨이퍼 수납장치가 제공된다.

    컴퓨팅 장치 및 그것에 의한 모니터링 방법
    2.
    发明公开
    컴퓨팅 장치 및 그것에 의한 모니터링 방법 审中-实审
    计算设备及其监视方法

    公开(公告)号:KR1020170036965A

    公开(公告)日:2017-04-04

    申请号:KR1020150135857

    申请日:2015-09-24

    Abstract: 컴퓨팅장치에의한클린룸의모니터링방법은제1 클린룸의공기의질을모니터링하기위한제1 센싱장치들중 적어도하나로부터오염정보를수신하는단계, 상기오염정보를기반으로상기제1 클린룸의상부에위치하는제2 클린룸의오염예상위치를선택하는단계및 제2 클린룸의공기의질을모니터링하는제2 센싱장치가상기오염예상위치를모니터링하기위한상기제2 센싱장치의모니터링위치를제어하는단계를포함하되, 상기컴퓨팅장치는상기오염정보에기초하여상기제1 클린룸의오염된공기의위치및 오염정도를수집한다.

    Abstract translation: 一种通过计算设备监测洁净室的方法,包括接收来自第一感测设备中的至少一个的污染信息以监测第一洁净室的空气质量, 用于监测第二洁净室的空气质量的第二感测装置以及用于监测污染预期位置的第二感测装置的监测位置 其中计算设备基于污染信息收集第一洁净室中污染空气的污染位置和程度。

    웨이퍼 수납장치
    3.
    发明公开
    웨이퍼 수납장치 审中-实审
    WAFER储物容器

    公开(公告)号:KR1020150124743A

    公开(公告)日:2015-11-06

    申请号:KR1020140051677

    申请日:2014-04-29

    CPC classification number: H01L21/67383 H01L21/67379

    Abstract: 서로마주보는제1측바디부및 제2측바디부, 상기제1측및 제2측바디부들의상부와연결된상부바디부, 상기제1측및 제2측바디부들의일측단부와연결된후면바디부, 및상기제1측및 제2측바디부들의하부와연결되며, 상기제1측및 제2측바디부들, 상기상부바디부및 후면바디부와함께내부공간을한정하는하부바디부를포함하는쉘 바디부; 상기상부바디부와상기제1측바디부사이의엣지영역상에배치되며상기하부바디부로부터상기상부바디부방향으로돌출된제1 핸들부; 상기상부바디부와상기제2측바디부사이의엣지영역상에배치되며상기하부바디부로부터상기상부바디부방향으로돌출된제2 핸들부; 상기내부공간에의해노출되는상기제1측바디부의제1 내측벽에배치된제1 슬롯부; 및상기내부공간에의해노출되는상기제2측바디부의제2 내측벽에배치된제2 슬롯부를포함하되, 상기제1 및제2 핸들부들의각각은상기쉘 바디부에결합되는서브핸들부및 상기서브핸들부상의메인핸들부를포함하고, 상기제1 및제2 슬롯부들의각각은복수의개별슬롯가이드및 상기개별슬롯가이드상의복수의서포터들을포함하고, 상기각각의서포터들은쉘 바디부의웨이퍼출입부로부터상기쉘 바디부의상기후면바디부방향으로갈수록높아지는경사진면을갖는웨이퍼수납장치가제공된다.

    Abstract translation: 提供了一种晶片接收装置,包括:壳主体部分,包括彼此面对的第一侧主体部分和第二侧主体部分,上主体部分连接到第一侧和第二侧体的上部 部分,连接到第一侧和第二侧身体部分的一侧的端部的后表面体部分,以及连接到第一侧和第二侧身体部分的下部的下主体部分, 内部空间与第一侧和第二侧主体部分,上主体部分和后表面主体部分一起; 第一手柄部,其布置在所述上​​身部和所述第一侧身部之间的边缘区域的顶部,并且从所述下身部朝向所述上身部突出; 第二手柄部,布置在上身部和第二侧身部之间的边缘区域的顶部,并且从下身部朝向上身部突出; 第一槽部,其布置在由所述内部空间暴露的所述第一侧主体部分的所述第一内侧壁上; 以及布置在由内部空间暴露的第二侧体部的第二内侧壁上的第二槽部。 第一和第二手柄部分中的每一个包括:与壳体部分组合的副手柄部分; 以及在副把手部分的顶部上的主把手部分。 第一和第二槽部分中的每一个包括:多个独立的狭槽引导件; 和多个支持者在单个插槽指南的顶部。 每个支撑体具有从壳体部分的晶片入口部分朝向壳体部分的后表面主体部分变得更高的倾斜表面。

    비디오 파라미터를 이용한 복잡도 측정 기반의 병렬 인-루프 화소 보정에 대한 부호화/복호화 장치 및 방법
    5.
    发明公开
    비디오 파라미터를 이용한 복잡도 측정 기반의 병렬 인-루프 화소 보정에 대한 부호화/복호화 장치 및 방법 审中-实审
    使用参数复杂度测量校正环路像素滤波器的装置及其方法

    公开(公告)号:KR1020130095927A

    公开(公告)日:2013-08-29

    申请号:KR1020120017343

    申请日:2012-02-21

    Abstract: PURPOSE: A device and a method for encoding and decoding with respect to the correction of parallel in-loop pixels based on the measurement of complexity using a video parameter are provided to improve a parallel processing speed by measuring the complexity in an in-loop pixel correction process using video encoding/decoding parameter information and uniformly distributing the work load of the in-loop pixel correction to parallel in-loop pixel correction encoding/decoding devices. CONSTITUTION: A complexity measurement unit (103) measures the complexity of an in-loop pixel correction process using video encoding/decoding parameter information in a video encoding/decoding device. A core assignment unit (104) uniformly distributes the work load of an in-loop pixel correction using the measured complexity. One or more in-loop pixel correction units (105) are applied with the uniformly distributed work load and performs a post-treatment process. [Reference numerals] (101) Required parameter deciding unit; (102) Parameter loading unit; (103) Complexity measurement unit; (104) Core assignment unit; (105,AA,BB) In-loop pixel correction unit; (106) Image restoration unit

    Abstract translation: 目的:提供一种基于使用视频参数的复杂度测量相对于并行循环像素的校正的编码和解码的装置和方法,以通过测量环路像素中的复杂度来提高并行处理速度 使用视频编码/解码参数信息进行校正处理,并且将并行像素校正编码/解码装置的循环像素校正的工作负荷均匀分布。 构成:复杂度测量单元(103)使用视频编码/解码装置中的视频编码/解码参数信息来测量循环像素校正处理的复杂度。 核心分配单元(104)使用测量的复杂度均匀地分配循环像素校正的工作负载。 一个或多个循环像素校正单元(105)被应用于均匀分布的工作负载并执行后处理过程。 (附图标记)(101)必需参数决定单元; (102)参数加载单元; (103)复杂性测量单位; (104)核心分配单位; (105,AA,BB)循环像素校正单元; (106)图像恢复单元

    동영상 부호화기/복호화기 및 그 동영상 부호화기/복호화기에서의 동영상 부호화/복호화를 위한 블록모드 결정방법
    6.
    发明公开
    동영상 부호화기/복호화기 및 그 동영상 부호화기/복호화기에서의 동영상 부호화/복호화를 위한 블록모드 결정방법 无效
    移动图像编码器/解码器和确定块模式的方法,用于编码/解码移动图像编码器/解码器中的移动图像

    公开(公告)号:KR1020100100540A

    公开(公告)日:2010-09-15

    申请号:KR1020090019504

    申请日:2009-03-06

    Abstract: PURPOSE: Moving pictures encoder/decoder and a method for determining a block mode for encoding/decoding moving pictures in the moving pictures encoder/decoder are provided to efficiently reduce the operation amount of the encoder/decoder by increasing the speed of a motion prediction operation. CONSTITUTION: When a video frame is inputted to a video encoder, a motion estimator performs the motion prediction of 4×4, 8×8 and 16×16 blocks(S70,S72). The video encoder determines candidate modes(S74), and calculates a rate-distortion value for each candidate mode(S76). In addition video encoder determines an optimal block mode(S78), and encodes a video frame(S80).

    Abstract translation: 目的:提供运动图像编码器/解码器以及用于确定用于对运动图像编码器/解码器中的运动图像进行编码/解码的块模式的方法,以通过增加运动预测运算的速度来有效地降低编码器/解码器的运算量 。 构成:当将视频帧输入到视频编码器时,运动估计器执行4×4,8×8和16×16块的运动预测(S70,S72)。 视频编码器确定候选模式(S74),并计算每个候选模式的速率失真值(S76)。 此外,视频编码器确定最佳块模式(S78),并对视频帧进行编码(S80)。

    기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법
    7.
    发明授权
    기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법 失效
    用于传输基板的系统和方法

    公开(公告)号:KR100562500B1

    公开(公告)日:2006-03-21

    申请号:KR1020030011777

    申请日:2003-02-25

    CPC classification number: H01L21/67017

    Abstract: 본 발명은 반도체 소자 제조를 위한 기판 이송 시스템으로, 상기 시스템은 개구부가 형성된 프론트면을 가지는 프레임, 반도체 기판을 수용하는 컨테이너가 놓여지는 로드 스테이션, 상기 컨테이너와 상기 프레임의 타측에 위치되는 공정설비간에 반도체 기판을 이송하는 이송유니트, 상기 프레임 내의 오염물질이 상기 개구부를 통해 상기 컨테이너로 유입되는 것을 최소화하도록 상기 개구부 전방을 흐르는 비활성 가스를 제공하는 제 1노즐, 그리고 상기 컨테이너 내로 비활성 가스를 분사하는 제 2노즐을 구비한다.
    본 발명에 의하면, 컨테이너와 공정설비간에 반도체 기판이 이송되는 동안 프레임 내로 유입된 공기가 컨테이너 내부로 유입되는 것을 최소화하는 효과가 있다.
    기판 이송 시스템, EFEM, FOUP

    기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법
    8.
    发明公开
    기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법 失效
    用于在运输过程中最小化污染物的基板传送系统

    公开(公告)号:KR1020040076432A

    公开(公告)日:2004-09-01

    申请号:KR1020030011777

    申请日:2003-02-25

    CPC classification number: H01L21/67017

    Abstract: PURPOSE: A substrate transfer system is provided to minimize contamination within a carrier while a wafer is transferred between FOUP(Front Open Unified Pod) loaded into EFEM(Equipment Front End Module) and a processing system. CONSTITUTION: A frame(120) has a front side(123) on which an opening part(122) is formed. A plurality of load stations(140) are installed at one side of the front side. A container for storing a semiconductor substrate is loaded on the load station. A plurality of transfer units(160) transfer the semiconductor substrate between processing systems, which are installed at the container and the other side of the frame. The first nozzle(150) is used for supplying the fluid to the front side of the opening part in order to minimize the permeation of contaminants to the container through the opening part.

    Abstract translation: 目的:提供基板传送系统,以最小化载体内的污染,同时将晶片在装载到EFEM(设备前端模块)的FOUP(前开式统一荚)中)和处理系统之间传输。 构成:框架(120)具有形成有开口部(122)的前侧(123)。 多个加载站(140)安装在前侧的一侧。 用于存储半导体衬底的容器被装载在装载工位上。 多个传送单元(160)在安装在框架的容器和另一侧的处理系统之间传送半导体衬底。 第一喷嘴(150)用于将流体供应到开口部分的前侧,以便通过开口部分最小化污染物向容器的渗透。

    웨이퍼 수납장치
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:KR102223033B1

    公开(公告)日:2021-03-04

    申请号:KR1020140051677

    申请日:2014-04-29

    Abstract: 서로마주보는제1측바디부및 제2측바디부, 상기제1측및 제2측바디부들의상부와연결된상부바디부, 상기제1측및 제2측바디부들의일측단부와연결된후면바디부, 및상기제1측및 제2측바디부들의하부와연결되며, 상기제1측및 제2측바디부들, 상기상부바디부및 후면바디부와함께내부공간을한정하는하부바디부를포함하는쉘 바디부; 상기상부바디부와상기제1측바디부사이의엣지영역상에배치되며상기하부바디부로부터상기상부바디부방향으로돌출된제1 핸들부; 상기상부바디부와상기제2측바디부사이의엣지영역상에배치되며상기하부바디부로부터상기상부바디부방향으로돌출된제2 핸들부; 상기내부공간에의해노출되는상기제1측바디부의제1 내측벽에배치된제1 슬롯부; 및상기내부공간에의해노출되는상기제2측바디부의제2 내측벽에배치된제2 슬롯부를포함하되, 상기제1 및제2 핸들부들의각각은상기쉘 바디부에결합되는서브핸들부및 상기서브핸들부상의메인핸들부를포함하고, 상기제1 및제2 슬롯부들의각각은복수의개별슬롯가이드및 상기개별슬롯가이드상의복수의서포터들을포함하고, 상기각각의서포터들은쉘 바디부의웨이퍼출입부로부터상기쉘 바디부의상기후면바디부방향으로갈수록높아지는경사진면을갖는웨이퍼수납장치가제공된다.

    외부 메모리 접근의 대역폭을 감소시키는 LCU단위의 인-루프 필터링 장치 및 방법
    10.
    发明公开
    외부 메모리 접근의 대역폭을 감소시키는 LCU단위의 인-루프 필터링 장치 및 방법 审中-实审
    用于减少外部存储器访问带宽的最大编码单元进行环路滤波的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020140116992A

    公开(公告)日:2014-10-07

    申请号:KR1020130031370

    申请日:2013-03-25

    CPC classification number: H04N19/86 H04N19/423 H04N19/82

    Abstract: The present invention relates to an apparatus and a method for in-loop filtering based on a largest coding unit (LCU) to reduce an external memory access bandwidth. The apparatus for in-loop filtering according to an embodiment includes: an external memory to store decoded frames; an internal memory to store pixels used for a deblocking filtering and a sample adaptive offset filtering; a horizontal deblocking filter to perform the deblocking filtering on input pixels in a horizontal direction with respect to vertical edge boundaries within an input area by using a largest coding unit (LCU) and pixels adjacent to the LCU among the pixels stored in the internal memory; a vertical deblocking filter to perform the deblocking filtering in a vertical direction with respect to horizontal edge boundaries within the input area by using the pixels to which the deblocking filtering is applied in the horizontal direction; and a sample adaptive offset filter to perform the sample adaptive offset filtering using the pixels to which the deblocking filtering is applied in the horizontal direction within the input area.

    Abstract translation: 本发明涉及一种基于最大编码单元(LCU)进行环路滤波的装置和方法,以减少外部存储器存取带宽。 根据实施例的用于环路滤波的装置包括:用于存储解码帧的外部存储器; 用于存储用于去块滤波和采样自适应偏移滤波的像素的内部存储器; 水平去块滤波器,通过在存储在内部存储器中的像素中使用最大编码单元(LCU)和与LCU相邻的像素来执行相对于输入区域内的垂直边缘边界在水平方向上的输入像素上的去块滤波; 垂直去块滤波器,通过使用在水平方向上施加去块滤波的像素,在垂直方向上相对于输入区域内的水平边缘边界进行去块滤波; 以及采样自适应偏移滤波器,以使用在输入区域内在水平方向上施加去块滤波的像素来执行采样自适应偏移滤波。

Patent Agency Ranking