公开(公告)号：KR100845284B1

公开(公告)日：2008-07-09

申请号：KR1020040075996

申请日：2004-09-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이석원 ,  김광수 ,  권대갑 ,  강동균 ,  유홍기 ,  이승우

IPC: G02B21/06

CPC classification number: G02B21/06 ,  G02B21/0044

Abstract: 본 발명은 닙코우 디스크를 이용하는 공초점 주사 현미경에서 높은 측정 속도를 유지하면서도 광축 방향의 성능 저하를 방지할 수 있는 공초점 주사 현미경에 관한 것이다.
본 발명에 따른 두 개의 닙코우 디스크를 이용한 공초점 주사 현미경은 광원; 상기 광원으로부터 발생한 빛을 일정 방향으로 조명하는 조명장치; 상기 조명장치에서 입사되는 빛이 단일개구를 통과한 빛의 형태로 진행하도록 슬릿 형태의 개구가 형성된 2개의 닙코우 디스크; 상기 닙코우 디스크를 통과한 빛이 시편 상에 결상되도록 하는 제1광학계와; 시편에서 반사된 후 다시 상기 닙코우 디스크를 통과한 반사광이 결상되도록 하는 제2광학계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
공초점 주사 현미경, 닙코우 디스크(Nipkow disk), 슬릿

公开(公告)号：KR100519266B1

公开(公告)日：2005-10-07

申请号：KR1020030084227

申请日：2003-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김광수 ,  권대갑 ,  강동균 ,  이승우 ,  유홍기 ,  이석원

IPC: G02B21/00

Abstract: 본 발명은 측정속도를 향상시켜 실시간으로 2차원 영상을 얻는 것이 가능하고, 빛의 편향 방식에 따른 비축수차를 제거하며, 측정 분해능을 유지하면서도 측정영역을 확대하고, 장비의 구성에 필요한 구성요소를 단순화하여 소형화, 경량화가 가능한 공초점 현미경에 관한 것이다.
본 발명에 따른 공초점 현미경은 시편에 조사할 빛을 발생시키는 광원과; 시편에서 반사되는 빛에 의한 상을 얻는 영상획득장치와; 상기 광원에서 발생된 빛을 시편에 조사하고, 시편에서 반사되는 빛을 상기 영상획득장치로 보내주는 스캔헤드부와; 시편 상의 각 위치에서 반사되는 빛에 대응하여 상기 영상획득장치의 각 위치에 상이 맺히도록 상기 스캔헤드부를 이송하는 이송장치를 포함하고;
상기 스캔헤드부는 시편에 빛을 조사하는 대물렌즈와, 시편에서 반사되는 빛이 상기 영상획득장치에 상을 맺도록 하는 결상렌즈와, 선형 개구인 슬릿이 형성된 제1마스크를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020050050478A

公开(公告)日：2005-05-31

申请号：KR1020030084227

申请日：2003-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김광수 ,  권대갑 ,  강동균 ,  이승우 ,  유홍기 ,  이석원

IPC: G02B21/00

Abstract: 본 발명은 측정속도를 향상시켜 실시간으로 2차원 영상을 얻는 것이 가능하고, 빛의 편향 방식에 따른 비축수차를 제거하며, 측정 분해능을 유지하면서도 측정영역을 확대하고, 장비의 구성에 필요한 구성요소를 단순화하여 소형화, 경량화가 가능한 공초점 현미경에 관한 것이다.
본 발명에 따른 공초점 현미경은 시편에 조사할 빛을 발생시키는 광원과; 시편에서 반사되는 빛에 의한 상을 얻는 영상획득장치와; 상기 광원에서 발생된 빛을 시편에 조사하고, 시편에서 반사되는 빛을 상기 영상획득장치로 보내주는 스캔헤드부와; 시편 상의 각 위치에서 반사되는 빛에 대응하여 상기 영상획득장치의 각 위치에 상이 맺히도록 상기 스캔헤드부를 이송하는 이송장치를 포함하고;
상기 스캔헤드부는 시편에 빛을 조사하는 대물렌즈와, 시편에서 반사되는 빛이 상기 영상획득장치에 상을 맺도록 하는 결상렌즈와, 선형 개구인 슬릿이 형성된 제1마스크를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020060027145A

公开(公告)日：2006-03-27

申请号：KR1020040075996

申请日：2004-09-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이석원 ,  김광수 ,  권대갑 ,  강동균 ,  유홍기 ,  이승우

IPC: G02B21/06

CPC classification number: G02B21/06 ,  G02B21/0044 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/36

Abstract: A confocal scanning microscope using a Nipkow disk prevents deterioration of performance in an optical axis direction while maintaining a high measurement speed. The confocal scanning microscope includes a light source, an illuminating device to pass the light from the light source toward a certain direction, and two Nipkow disks each having slit-shaped apertures formed thereon such that the light incident from the illuminating device travels in a form of light which passed through a single aperture. In addition, the confocal scanning microscope includes a first optical system to form an image on a sample by the light passed through the Nipkow disks, and a second optical system to form a second image by the light reflected from the sample and passed through the Nipkow disks.