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公开(公告)号：KR1020050081481A
公开(公告)日：2005-08-19
申请号：KR1020040009733
申请日：2004-02-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H02N2/0095 , Y10S269/903
Abstract: 본 발명은, 제1스테이지와, 상기 제1스테이지에 대해 이동가능하게 마련된 제2스테이지를 구비한 스테이지장치에 관한 것으로서, 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지를 연결하는 적어도 하나의 플렉쳐힌지와; 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지 사이에 마련되어 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지를 가압하며, 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지의 중심에 대해 대칭을 이루도록 마련된 복수의 액추에이터와; 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지 중 어느 하나에 대한 다른 하나의 이동을 조절하도록 상기 복수의 액추에이터를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 초정밀의 위치제어가 가능하도록 위치오차를 용이하게 줄일 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020060027145A
公开(公告)日：2006-03-27
申请号：KR1020040075996
申请日：2004-09-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B21/06
CPC classification number: G02B21/06 , G02B21/0044 , G02B21/0016 , G02B21/36
Abstract: A confocal scanning microscope using a Nipkow disk prevents deterioration of performance in an optical axis direction while maintaining a high measurement speed. The confocal scanning microscope includes a light source, an illuminating device to pass the light from the light source toward a certain direction, and two Nipkow disks each having slit-shaped apertures formed thereon such that the light incident from the illuminating device travels in a form of light which passed through a single aperture. In addition, the confocal scanning microscope includes a first optical system to form an image on a sample by the light passed through the Nipkow disks, and a second optical system to form a second image by the light reflected from the sample and passed through the Nipkow disks.
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公开(公告)号：KR1020050082594A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：KR1020040011086
申请日：2004-02-19
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H02K41/0354 , H02K2201/18
Abstract: 본 발명은, 이송장치에 관한 것으로서, 권취된 코일을 갖는 코일조립체와, 상기 코일조립체를 사이에 두고 서로 다른 극성을 가지며 상호 이격 배치된 한 쌍의 기동자석을 포함하는 적어도 4개의 미세구동유닛과; 상기 미세구동유닛들이 임의의 직선에 대해 대칭되게 한 쌍의 그룹으로 배치되도록 상기 적어도 4개의 코일조립체를 지지하는 코일지지부재와; 상기 각 코일조립체에 대응하여 상기 적어도 4쌍의 기동자석을 지지하는 자석지지부재와; 상기 코일지지부재 및 상기 자석지지부재 중 어느 하나에 대해 다른 하나의 이동을 조절하도록 상기 미세구동유닛들을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 초정밀의 위치제어가 가능하도록 위치제어오차를 용이하게 줄일 수 있다.
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公开(公告)号：KR101168316B1
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：KR1020090117953
申请日：2009-12-01
CPC classification number: H01L21/67271 , G09G3/14 , H01L21/67259 , H01L21/67282 , H01L21/67294 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/00014
Abstract: 발광다이오드 패키지의 불량 여부를 검사하며, 검사 후 불량인 발광다이오드 패키지를 폐기할 수 있는 발광다이오드 검사 장치를 개시한다. 로딩부는 발광다이오드 패키지들이 어레이 형태로 연결된 패키지 집합체를 다수 수납한 카세트를 적재한다. 검사부는 로딩부로부터 공급받은 패키지 집합체의 발광다이오드 패키지들에 대해 비전 검사를 통해 불량 여부를 검사한다. 불량 리젝트부는 검사부로부터 공급받은 패키지 집합체의 발광다이오드 패키지들 중에서 검사부의 검사 결과를 토대로 불량으로 판정된 발광다이오드 패키지를 펀칭해서 폐기한다. 언로딩부는 불량 리젝트부를 거쳐 배출되는 패키지 집합체를 수납하기 위한 빈 카세트를 적재한다. 이에 따라, 발광다이오드 패키지의 불량 검사 및 불량 폐기 작업이 자동화됨과 아울러 일련의 과정으로 신속하게 처리될 수 있으므로, 생산성 향상이 도모될 수 있다.
Abstract translation: 公开了一种发光二极管检查设备，其能够检查发光二极管封装件是否有缺陷并且在检查之后丢弃有缺陷的发光二极管封装件。 加载单元加载包含多个封装聚集体的盒，其中发光二极管封装以阵列形式连接到其中。 检查单元通过视觉检查来检查从装载单元供应的包装集合体的发光二极管封装。 拒收拒收部件基于从检测部件供应的包装聚集体的发光二极管封装中的检测部件的检测结果，冲击并丢弃被判定为有缺陷的发光二极管封装。 卸载部分装载用于接收通过拒收拒收部分排出的包装集合体的空白盒。 因此，发光二极管封装件的缺陷检查和缺陷处理工作是自动的，并且可以通过一系列过程快速执行该过程，从而可以提高生产率。
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公开(公告)号：KR1020110061336A
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：KR1020090117953
申请日：2009-12-01
CPC classification number: H01L21/67271 , G09G3/14 , H01L21/67259 , H01L21/67282 , H01L21/67294 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/00014
Abstract: PURPOSE: An apparatus for inspecting light emitting diode packages is provided to rapidly implement an inspecting process and a scrapping process with respect to bad light emitting diode packages. CONSTITUTION: A loading part(110) loads the array type group of light emitting diode packages into a cassette. An inspecting part(120) inspects defects in the light emitting diode packages through a visual inspecting process. An unloading part(150) loads a vacant cassette in order to receive the group of the light emitting diode packages. A rejecting part(140) punches and scraps bad light emitting diode packages.
Abstract translation: 目的：提供一种用于检查发光二极管封装的装置，用于快速实现关于不良发光二极管封装的检查过程和报废处理。 构成：装载部件（110）将阵列型组的发光二极管封装装入盒中。 检查部件（120）通过视觉检查过程检查发光二极管封装中的缺陷。 卸载部件（150）装载空盒，以便接收一组发光二极管封装。 拒绝部件（140）冲击并刮掉坏的发光二极管封装。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100845284B1
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：KR1020040075996
申请日：2004-09-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B21/06
CPC classification number: G02B21/06 , G02B21/0044
Abstract: 본 발명은 닙코우 디스크를 이용하는 공초점 주사 현미경에서 높은 측정 속도를 유지하면서도 광축 방향의 성능 저하를 방지할 수 있는 공초점 주사 현미경에 관한 것이다.
본 발명에 따른 두 개의 닙코우 디스크를 이용한 공초점 주사 현미경은 광원; 상기 광원으로부터 발생한 빛을 일정 방향으로 조명하는 조명장치; 상기 조명장치에서 입사되는 빛이 단일개구를 통과한 빛의 형태로 진행하도록 슬릿 형태의 개구가 형성된 2개의 닙코우 디스크; 상기 닙코우 디스크를 통과한 빛이 시편 상에 결상되도록 하는 제1광학계와; 시편에서 반사된 후 다시 상기 닙코우 디스크를 통과한 반사광이 결상되도록 하는 제2광학계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
공초점 주사 현미경, 닙코우 디스크(Nipkow disk), 슬릿-
公开(公告)号：KR1020060091955A
公开(公告)日：2006-08-22
申请号：KR1020050012756
申请日：2005-02-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F16C32/06
CPC classification number: F16C32/0444 , F16C32/0459
Abstract: 본 발명은 선형운동이 일어나는 면과 그 상대면의 면품질이 좋지 않거나 정밀도가 떨어지는 경우에도 선형모터 코일에 흐르는 전류를 제어하여 능동적으로 공극을 제어할 수 있는 능동형 제어 베어링 기구를 이용한 대행정 스테이지에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 선형 운동을 위한 선형모터 자석과 선형모터 코일를 구비하는 선형모터부를 포함하고, 특히 상기 선형모터 자석은 Halbach 자석 배열이 되도록 하여 상기 선형모터부에서 선형 운동을 위한 추진력을 생성함과 동시에 원활한 선형 운동이 이루어질 수 있도록 가이드 하는 베어링 효과를 위한 힘을 생성하도록 한다. 가이드 시스템으로 공기베어링 시스템을 사용하는 경우에는 상기 선형모터부에서 유도되는 힘 중 특정방향의 힘은 공기베어링에 예압을 가하는데 이용된다. 또한 본 발명은 공기베어링 시스템 뿐만 아니라 그 외의 가이드 시스템에 대해서도 동일하게 적용할 수 있다.
스테이지, 공기베어링, 자석배열, 능동형 제어 베어링-
公开(公告)号：KR100541740B1
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：KR1020040011086
申请日：2004-02-19
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H02K41/0354 , H02K2201/18
Abstract: 본 발명은, 이송장치에 관한 것으로서, 권취된 코일을 갖는 코일조립체와, 상기 코일조립체를 사이에 두고 서로 다른 극성을 가지며 상호 이격 배치된 한 쌍의 기동자석을 포함하는 적어도 4개의 미세구동유닛과; 상기 미세구동유닛들이 임의의 직선에 대해 대칭되게 한 쌍의 그룹으로 배치되도록 상기 적어도 4개의 코일조립체를 지지하는 코일지지부재와; 상기 각 코일조립체에 대응하여 상기 적어도 4쌍의 기동자석을 지지하는 자석지지부재와; 상기 코일지지부재 및 상기 자석지지부재 중 어느 하나에 대해 다른 하나의 이동을 조절하도록 상기 미세구동유닛들을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 초정밀의 위치제어가 가능하도록 위치제어오차를 용이하게 줄일 수 있다.
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公开(公告)号：KR100675798B1
公开(公告)日：2007-02-02
申请号：KR1020050012756
申请日：2005-02-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F16C32/06
Abstract: 본 발명은 선형운동이 일어나는 면과 그 상대면의 면품질이 좋지 않거나 정밀도가 떨어지는 경우에도 선형모터 코일에 흐르는 전류를 제어하여 능동적으로 공극을 제어할 수 있는 능동형 제어 베어링 기구를 이용한 대행정 스테이지에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 선형 운동을 위한 선형모터 자석과 선형모터 코일를 구비하는 선형모터부를 포함하고, 특히 상기 선형모터 자석은 Halbach 자석 배열이 되도록 하여 상기 선형모터부에서 선형 운동을 위한 추진력을 생성함과 동시에 원활한 선형 운동이 이루어질 수 있도록 가이드 하는 베어링 효과를 위한 힘을 생성하도록 한다. 가이드 시스템으로 공기베어링 시스템을 사용하는 경우에는 상기 선형모터부에서 유도되는 힘 중 특정방향의 힘은 공기베어링에 예압을 가하는데 이용된다. 또한 본 발명은 공기베어링 시스템 뿐만 아니라 그 외의 가이드 시스템에 대해서도 동일하게 적용할 수 있다.
스테이지, 공기베어링, 자석배열, 능동형 제어 베어링-
公开(公告)号：KR100568206B1
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：KR1020040009733
申请日：2004-02-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H02N2/0095 , Y10S269/903
Abstract: 본 발명은, 제1스테이지와, 상기 제1스테이지에 대해 이동가능하게 마련된 제2스테이지를 구비한 스테이지장치에 관한 것으로서, 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지를 연결하는 적어도 하나의 플렉쳐힌지와; 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지 사이에 마련되어 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지를 가압하며, 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지의 중심에 대해 대칭을 이루도록 마련된 복수의 액추에이터와; 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지 중 어느 하나에 대한 다른 하나의 이동을 조절하도록 상기 복수의 액추에이터를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 초정밀의 위치제어가 가능하도록 위치오차를 용이하게 줄일 수 있다.
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