公开(公告)号：KR1020170054631A

公开(公告)日：2017-05-18

申请号：KR1020150156927

申请日：2015-11-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김윤호 ,  임서정 ,  김수련 ,  김진성

IPC: G01N21/39 ,  G01J3/42 ,  G01N1/24 ,  F26B21/00 ,  F26B21/08

CPC classification number: G01N21/27 ,  G01N33/18 ,  G01N2201/06113

Abstract: 본발명은보틀내의저장공간으로건조기체를주입하는건조기체주입유닛; 상기저장공간에주입된상기건조기체를흡입하는흡입유닛; 및상기흡입유닛을통해흡입된상기건조기체의수분농도를측정하는수분측정유닛을포함하는수분검사장치에관한것이다.

Abstract translation: 干燥气体注入装置技术领域本发明涉及一种干燥气体注入装置，用于将干燥气体注入瓶子的存储空间中; 抽吸单元，用于抽吸注入储存空间的干燥气体; 以及水分测量单元，用于测量通过抽吸单元抽吸的干燥气体的水分浓度。