公开(公告)号：KR1020000001413A

公开(公告)日：2000-01-15

申请号：KR1019980021674

申请日：1998-06-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장재만 ,  송래형 ,  박영균

IPC: H01L21/00

Abstract: PURPOSE: A process parameter managing method is provided to previously prevent an accident owing to process parameter disagreement between a host and an equipment. CONSTITUTION: The process parameter managing method comprises the steps of: receiving process parameter data from each equipment(S10); searching a reference parameter data corresponding to each equipment(S20); comparing the received process parameter data and the reference parameter data to check whether there exists at least one of the equipments which transmits a process parameter data biased from the reference parameter data(S30); changing an ID key value of the equipment when the at least equipment transmits its process parameter data biased from the reference parameter data(S40); and transporting the changed ID key value as a control message to the equipment(S50), whereby a work status of the equipment to which the control message is downloaded is changed.

Abstract translation: 目的：提供过程参数管理方法，以防止由于主机和设备之间的过程参数不一致而引起的事故。 规定：过程参数管理方法包括以下步骤：从每个设备接收过程参数数据（S10）; 搜索与每个设备相对应的参考参数数据（S20）; 比较接收的处理参数数据和参考参数数据，以检查是否存在传送从参考参数数据偏移的处理参数数据的设备中的至少一个（S30）; 当至少设备发送其偏离参考参数数据的过程参数数据时，改变设备的ID密钥值（S40）; 并将改变的ID密钥值作为控制消息传送到设备（S50），从而改变下载控制消息的设备的工作状态。

公开(公告)号：KR1020020000599A

公开(公告)日：2002-01-05

申请号：KR1020000035375

申请日：2000-06-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장재만 ,  박종화 ,  박성국

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: A semiconductor manufacturing system for inspecting a parameter in real-time is provided to reduce a defect ratio of a product and to improve productivity of a manufacturing process, by making a process manager monitor an event in real-time to take necessary actions. CONSTITUTION: A process for manufacturing a semiconductor is performed in at least one manufacturing apparatus. An equipment computer(EC)(130) is connected to the manufacturing apparatuses. A control program for controlling the manufacturing apparatus is written and performed in the EC. A control program for controlling the operation of the EC is written and performed in a manufacturing execution system(MES)(110) connected to all of the EC's. A predetermined scope of specifications regarding parameters used in the control process is stored in a specification database connected to the control program of the MES. A storing device(120) includes the manufacturing apparatus, the EC, the MES and the specification database. If an event wherein a resultant value of the manufacturing process falls outside the scope of the specification happens, an information module receives the event and makes a manager monitor the event in real-time, and a write module stores the event in the storing device. An inspection unit(160) is composed of the information module and the write module.

Abstract translation: 目的：提供用于实时检查参数的半导体制造系统，以通过使过程管理员实时监控事件以采取必要的行动来减少产品的缺陷率并提高制造过程的生产率。 构成：在至少一个制造装置中进行制造半导体的工艺。 设备计算机（EC）（130）连接到制造设备。 在EC中写入并执行用于控制制造装置的控制程序。 在连接到所有EC的制造执行系统（MES）（110）中写入并执行用于控制EC的操作的控制程序。 关于在控制过程中使用的参数的预定范围的规范存储在连接到MES的控制程序的规范数据库中。 存储装置（120）包括制造装置，EC，MES和规格数据库。 如果发生制造过程的结果值超出规范范围的事件，则信息模块接收事件并使管理者实时监视事件，写入模块将事件存储在存储装置中。 检查单元（160）由信息模块和写入模块构成。

公开(公告)号：KR1020000001012A

公开(公告)日：2000-01-15

申请号：KR1019980021028

申请日：1998-06-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장재만 ,  박종화

IPC: G05B19/00

CPC classification number: G05B19/418 ,  G05B19/048 ,  G05B23/02 ,  G05B2219/2602

Abstract: PURPOSE: An device operation state managing method of a semiconductor production device managing system capable of recognizing abnormality of separate equipment is provided. CONSTITUTION: The device operation state managing method of a semiconductor production device managing system, the method comprising the steps: receiving operation state data from each of devices; searching reference data corresponding to each of the devices; comparing the operation state data with the reference data and judging whether a device for generating operation state data escaped from the reference data is included in the devices; changing a variable ID key value of a corresponding device when the device for generating operation state data escaped from the reference data is included in the devices; and loading the variable ID on a control message, downloading the control message to the device, and changing operating state of the device.

Abstract translation: 目的：提供能够识别分离设备的异常的半导体制造装置管理系统的装置运行状态管理方法。 构成：半导体制造装置管理系统的装置运行状态管理方法，该方法包括步骤：从各装置接收运转状态数据; 搜索与每个设备相对应的参考数据; 将操作状态数据与参考数据进行比较，并且判断用于从参考数据中转出的用于产生操作状态数据的装置是否包括在所述装置中; 当用于从参考数据中逸出生成操作状态数据的设备被包括在设备中时，改变对应设备的可变ID密钥值; 并且在控制消息上加载变量ID，将控制消息下载到设备以及改变设备的操作状态。

公开(公告)号：KR1019980074798A

公开(公告)日：1998-11-05

申请号：KR1019970010782

申请日：1997-03-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장재만

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 부속설비에서 야기되는 불측의 고장에 신속히 대처할 수 있도록 하는 반도체 제조용 주설비 및 부속설비의 관리방법에 관한 것으로, 본 발명은 호스트 컴퓨터를 이용한 반도체 제조용 주설비 및 부속설비의 관리방법에 있어서, 상기 부속설비의 작동 데이터를 상기 주설비를 통해 상기 호스트 컴퓨터로 입력하는 입력단계와; 상기 부속설비의 작동 데이터를 상기 호스트 컴퓨터를 통해 저장하는 저장단계와; 상기 호스트 컴퓨터를 통해 저장된 상기 부속설비의 작동 데이터를 써치하여 이상 데이터 발생 여부를 판단하는 판단단계와; 상기 판단결과, 이상 데이터가 발생된 경우 소정의 표시장치를 구동하여 이상발생 상황을 외부로 알리는 표시단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에서는 주설비 및 부속설비 모두를 소정의 호스트 컴퓨터와 온라인으로 연결하고, 이 호스트 컴퓨터를 통해 부속설비의 이상여부를 수시로 검지함으로써, 작업자가 일일이 부속설비의 기능을 체크하지 않고도, 소정의 공정 사고를 미연에 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980068978A

公开(公告)日：1998-10-26

申请号：KR1019970005790

申请日：1997-02-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장재만

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 소정의 온라인 사고에 신속하게 대응할 수 있는 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법에 관한 것으로, 소정의 모니터링 시스템을 이용한 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법에 있어서, 상기 모니터링 시스템을 통해 상기 호스트 컴퓨터에 소정의 체크신호를 출력하는 제 1 단계와; 상기 호스트 컴퓨터의 응답신호 출력 여부를 판단하는 제 2 단계와; 상기 판단결과, 응답신호가 출력되는 경우 상기 제 1 단계로 리턴하는 제 3 단계와; 상기 판단결과, 응답신호가 출력되지 않는 경우, 온라인상태의 이상원인을 체크하고 소정의 조치를 취하는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은, 본 발명에서는 소정의 관리용 모니터링 시스템에 의해 설비 및 호스트 컴퓨터의 온라인상태 이상 유무가 지속적으로 관측되고, 만약 이상이 발생되는 경우, 즉시 작업자에게 그 원인이 전달됨으로써, 신속한 후속조치가 이루어질 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980029951A

公开(公告)日：1998-07-25

申请号：KR1019960049284

申请日：1996-10-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장재만

IPC: H01L21/68

Abstract: 제어부에 설정되는 공정조건과 제조장비에 설정되는 공정조건을 신속하게 비교판단할 수 있도록 개선시킨 반도체 제조장비의 제어시스템 및 제어방법에 관한 것이다.
본 발명은, 공정조건을 설정하여 상기 설정되는 공정조건으로 제조장비를 제어하는 제어부가 구비되는 반도체 제조장비의 제어시스템에 있어서, 상기 제어부에 설정되는 공정조건으로 상기 제조장비의 공정조건도 설정되는 지를 비교판단하여 상기 제조장비를 제어하는 장비제어부 및 상기 제어부의 비교판단으로 작업자에게 경보를 전달하는 경보부를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 업무효율이 상승하고 공정조건의 변화에 신속하게 대응할 수 있으므로 생산성을 극대화시키는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019990066155A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980001825

申请日：1998-01-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장재만 ,  안정삼 ,  장영철 ,  김석현

IPC: G06Q50/04

Abstract: 반도체 설비에 설치되어 있는 다수개의 챔버중 가장 양호한 상태를 갖는 챔버가 선택된 후, 공정이 진행되도록 반도체 설비 관리시스템에 챔버 우선순위 결정모듈을 온라인 시켜 신속한 챔버 관리 및 챔버 운영 효율을 증대시킨 멀티 챔버를 갖는 반도체 설비 관리 방법이 개시되고 있다.
본 발명에 의하면, 반도체 설비에 다수개가 설치되어 있는 챔버의 상태를 주기적으로 확인하는 단계와, 확인된 챔버의 상태 데이터를 전송받아 챔버 상태를 디스플레이하는 단계와, 디스플레이된 챔버의 상태를 참조하여 챔버를 선택하는 단계와, 선택된 챔버에 의하여 공정을 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019990066151A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980001821

申请日：1998-01-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장재만 ,  이지나

IPC: H01L21/00

Abstract: 반도체 설비와 호스트를 온라인 연결시킬때 필요한 온라인 서버의 온라인 프로그램을 표준화 규약에 따른 텍스트 화일 형식으로 작성하고, 표준화 규약에 따라 작성된 텍스트 화일을 다시 온라인 서버가 인식가능한 온라인 프로그램을 변환시켜 온라인 프로그램의 수정을 간단하게 함으로써 온라인 프로그램 수정 시간 단축 및 보수, 운영을 용이하게 한 반도체 설비의 온라인 표준화 방법이 개시되고 있다.
본 발명에 의하면, 반도체 설비의 온라인 표준화 방법에 있어서, 텍스트 형식으로 작성된 파일을 온라인용 파일로 작성, 변환하기 위하여 표준화 규약을 정의하는 단계와, 작업자가 정의되어 있는 표준화 규약에 맞게 온라인용 텍스트 파일을 작성하는 단계와, 작성된 텍스트 파일을 표준화 규약에 맞도록 온라인용 프로그램으로 변환하는 단계와, 오류 발생을 점검하는 단계와, 오류가 발생하지 않으면 변환된 온라인용 프로그램에 의하여 호스트 및 반도체 설비를 온라인시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019990035574A

公开(公告)日：1999-05-15

申请号：KR1019970057396

申请日：1997-10-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장재만 ,  조평일 ,  정준

IPC: G06F11/00

Abstract: 본 발명은 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 설비의 소정 영역에 백업 정보 데이터 저장 버퍼 및 키핑 모듈을 구비하고, 이곳에 호스트가 저장하고 있는 정보 데이터와 동일한 백업 정보 데이터를 기 저장함으로써, 만약 호스트 및 설비간의 온라인 상태에 이상이 발생되어 호스트 및 설비간의 통신이 두절되더라도, 설비가 호스트에 저장된 정보 데이터와 동일한 백업 정보 데이터에 따라 공정을 진행할 수 있도록 하여, 예측하지 못한 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR100319208B1

公开(公告)日：2002-03-21

申请号：KR1019980000804

申请日：1998-01-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장재만 ,  최재섭 ,  정준

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 사전예방유지의 주기 관리방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 호스트 및 설비들 사이에 소정의 PM 관리모듈을 구비하고, 이를 통해 설비들로부터 업로드 되는 다양한 가동 파라미터 값이 지속적으로 자동 점검되도록 함으로써, 첫째, 설비들의 PM 주기가 작업자의 개재 없이 일관성 있게 관리될 수 있고, 둘째, 작업자의 PM 주기 결정 오류에 따른 예측하지 못한 설비손상이 미연에 방지될 수 있으며, 셋째, 작업자의 전체적인 업무효율이 현저히 향상될 수 있다.