公开(公告)号：KR1020120052029A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：KR1020100113468

申请日：2010-11-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김철범 ,  김형곤 ,  이철호 ,  장홍석

IPC: G11C16/08 ,  G11C16/10 ,  G11C16/26 ,  G11C16/32 ,  G11C7/10 ,  G11C7/22 ,  G11C8/10

CPC classification number: G11C7/222 ,  G11C7/10 ,  G11C8/10 ,  G11C16/08 ,  G11C16/10 ,  G11C16/32 ,  G11C16/26

Abstract: PURPOSE: A nonvolatile memory device, a reading method thereof, and a memory system including the same are provided to improve reliability by outputting an input and output signal after a strobe signal is stabilized. CONSTITUTION: A read command is received(S110). Addresses are received(S120). A transition of the enable signal is detected. A strobe signal is generated by referring to the transition of the read enable signal(S130). Date corresponding to the received address is read(S140). The read data is outputted after the strobe signal is transited with a specific number(S150).

Abstract translation: 目的：提供非易失性存储器件，其读取方法和包括该非易失性存储器件的存储器系统，以通过在选通信号稳定后输出输入和输出信号来提高可靠性。 构成：接收到读命令（S110）。 收到地址（S120）。 检测到使能信号的转换。 参考读使能信号的转换产生选通信号（S130）。 读取对应于接收到的地址的日期（S140）。 读取数据在特定编号的选通信号转换后输出（S150）。

公开(公告)号：KR1019950020853A

公开(公告)日：1995-07-26

申请号：KR1019930028427

申请日：1993-12-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장홍석 ,  장규상

IPC: H01J3/06

Abstract: 본 발명은 지상 및 위성 채널의 송수신을 위한 위성 방송 장치의 송수신 회로에 있어서, 신호원으로부터 발생되는 신호를 입력하여 디지탈화한 후 전송 대역폭을 줄이기 위하여 상기 신호를 패킷화하는 패킷화기와, 상기 패킷 화기로부터 출력된 신호를 시분할 다중화하여 시분할 다중화 신호를 발생하는 시분할 다중화기와, 상기 시분할 중화 신호를 입력하여 리드-솔로몬 부호화 신호를 발생하기 위한 리드-솔로몬 부호화기와, 상기 리드-솔로몬 부호화 신호를 입력하여 인터리빙된 신호를 발생하기 위한 인터리버와, 상기 인터리빙된 신호를 길쌈 부호화하여 길쌈 부호화 신호르 발생하는 길쌈 부호화기와, 상기 길쌈 부호화 신호를 입력하여 변조하여 상기 위성 채널로 송신하기 위한 QPSK 변조기와, 상기 위성 채널로부터 수신된 신호를 입력하여 복 신호를 발생하는 QPSK 복조기와, 상기 복조 신호를 입력하여 비터비 복호화 신호를 발생하기 위한 비터비 복호화기와, 상기 비터비 복호화 신호를 역인터리빙하여 역인터리빙된 신호를 발생하는 비터비 복호화기와, 상기 비터비 복호화 신호를 역인터리빙하여 역인터리빙된 신호를 발생하는 역인터리버와, 상기 역인터리빙된 신호를 입력하여 리드-솔로몬 복호화 신호를 발생하기 위한 리드-솔로몬 복호화기와, 상기 리드-소로몬 복호화 신호를 입력하여 역시분할 다중화신호를 발생하는 역시분할 다중화기와, 상기 역시분할 다중화 신호를 입력하여 패킷복호화하기 위한 패킷복호화기와, 상기 패킷복호화기에 접속하여 신호 수신하는 싱크로 구성됨을 특징으로 한다. 본 발명에 의하여 오류 정정 동작을 수행하여 송수신 동작 특성이 개선되며, 채널의 대역폭 효율이 향상되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020070075604A

公开(公告)日：2007-07-24

申请号：KR1020060004067

申请日：2006-01-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장홍석

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/68 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67742

Abstract: Semiconductor spinner equipment with a wafer arm position aligning controller is provided to automatically adjust an align position while monitoring the position of an aligned wafer arm in real time by detecting the align position of wafer arms in a predetermined position when the wafer arms are replaced by new wafer arms. A spin chuck on which a wafer is placed is disposed in a process module(100) having an opening. The wafers are gripped by wafer arms(200) separated from the spin chuck by a predetermined interval. A position align unit(300) aligns the position of the wafer arms, connected to each wafer arm. A position detecting unit(400) detect the align position of the wafer arms, disposed in a predetermined position and separated from the wafer arms by a predetermined interval. A position align controlling part(500) receives an electrical signal from the position detecting part and transfers an electrical signal to the position align unit according as at least one of the wafer arms gets out of the predetermined position, electrically connected to the position detecting part and the position align unit and controlling the position align process of the wafer arm. The position align unit includes a driving arm, a rotation arm and a power part. The driving arm moves in a straight motion, connected to each wafer arm. The rotation arm moves in a rotational movement, connected to the driving arm. The power part supplies power to the driving arm and the rotational arm.

Abstract translation: 提供具有晶片臂位置对准控制器的半导体旋转器设备，以便当晶片臂被新的代替时，通过检测晶片臂在预定位置的对准位置来实时监视对准的晶片臂的位置，以自动调整对准位置 晶圆臂。 在其上放置晶片的旋转卡盘布置在具有开口的处理模块（100）中。 晶片被从旋转卡盘分离预定间隔的晶片臂（200）夹紧。 位置对准单元（300）对准连接到每个晶片臂的晶片臂的位置。 位置检测单元（400）检测设置在预定位置并与晶片臂分离预定间隔的晶片臂的对准位置。 位置对准控制部分（500）从位置检测部分接收电信号，并且根据晶片臂中的至少一个离开预定位置将电信号传送到位置对准单元，电气连接到位置检测部分 和位置对准单元，并控制晶片臂的位置对准过程。 位置对准单元包括驱动臂，旋转臂和动力部件。 驱动臂以直线运动移动，连接到每个晶片臂。 旋转臂在与驱动臂连接的旋转运动中移动。 动力部件向驱动臂和旋转臂供电。

公开(公告)号：KR1020060014666A

公开(公告)日：2006-02-16

申请号：KR1020040063299

申请日：2004-08-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장홍석

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B05C11/10 ,  G03F7/162 ,  G03F7/70533 ,  H01L21/6715

Abstract: 반도체소자 제조용 케미컬 탱크 및 이를 구비한 스피너 설비가 제공된다. 이때의 스피너 설비는 웨이퍼를 흡착하고 회전시키는 웨이퍼 회전유닛과, 웨이퍼 상에 소정 케미컬을 분사하는 케미컬 분사유닛과, 케미컬 분사유닛이 분사하도록 케미컬 분사유닛에 소정 케미컬을 제공하는 케미컬 탱크 및, 케미컬 분사유닛에 사용되는 케미컬의 사용시간이 미리 지정된 일정 유효사용시간을 초과할 시 이를 외부로 알려주는 케미컬 유효시간 알림수단을 포함한다. 따라서, 작업자는 이 케미컬 유효시간 알림수단을 통하여 케미컬의 정확한 시간관리가 가능하다. 이에 따라 그 유효사용기간을 초과함으로 인해 발생되었던 각종 공정불량의 문제들을 미연에 방지할 수 있다.
케미컬, 스피너 설비

公开(公告)号：KR1020040056635A

公开(公告)日：2004-07-01

申请号：KR1020020083156

申请日：2002-12-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장홍석 ,  서용원

IPC: H01L21/027

Abstract: PURPOSE: A spinner apparatus for fabricating a semiconductor device is provided to directly inspect the supply of HMDS(hexamethyldisilazane) and prevent a photoresist pattern from being lifted by an abnormal supply of HMDS by installing a sensor capable of detecting the HMDS component in a pipe for supplying HMDS to a wafer. CONSTITUTION: A detecting apparatus(31) capable of detecting the HMDS component is installed in a supply line(29) for supplying HMDS altogether with carrier gas to generate a signal so that an operator can recognize the signal when the HMDS component is not detected.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造半导体器件的旋转器装置，用于直接检查HMDS（六甲基二硅氮烷）的供应，并通过安装能够检测管​​道中的HMDS组分的传感器来防止由于HMDS的异常供应而提起光致抗蚀剂图案 向晶片供应HMDS。 构成：能够检测HMDS成分的检测装置（31）安装在用于向载气提供HMDS的供给管线（29）中以产生信号，以便当未检测到HMDS部件时，操作者能够识别该信号。

公开(公告)号：KR101780422B1

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：KR1020100113468

申请日：2010-11-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김철범 ,  김형곤 ,  이철호 ,  장홍석

IPC: G11C16/08 ,  G11C16/10 ,  G11C16/26 ,  G11C16/32 ,  G11C7/10 ,  G11C7/22 ,  G11C8/10

CPC classification number: G11C7/222 ,  G11C7/10 ,  G11C8/10 ,  G11C16/08 ,  G11C16/10 ,  G11C16/32

Abstract: 본발명은불휘발성메모리장치의읽기방법에관한것이다. 본발명의읽기방법은, 읽기커맨드를수신하는단계, 어드레스들을수신하는단계, 읽기인에이블신호의천이를검출하는단계, 상기읽기인에이블신호의천이를참조하여스트로브신호를발생하는단계, 상기수신된어드레스들에대응하는데이터를읽는단계, 그리고상기스트로브신호가특정횟수천이한후에상기읽혀진데이터를출력하는단계를포함한다.

Abstract translation: 非易失性存储设备的读取方法技术领域本发明涉 本发明的读取方法包括以下步骤：接收读取命令，接收地址，检测读取使能信号的转变，参考读取使能信号的转变产生选通信号， 读取对应于寻址地址的数据，并在选通信号转换一定次数之后输出读取的数据。