公开(公告)号：KR1020030060220A

公开(公告)日：2003-07-16

申请号：KR1020020000772

申请日：2002-01-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정광필

IPC: H01L21/26

Abstract: PURPOSE: A wafer deviation detecting apparatus of ion implanting equipment and a method for detecting the deviation of a wafer are provided to be capable of preventing the damage of the wafer when transferring the wafer to a predetermined portion. CONSTITUTION: Ion implanting equipment(100) is provided with an ion implanting chamber(110) having a plurality of discs(130) for loading wafers, a handler(150), a head(170), and a rod(190) connected with the head for moving the head to an aiming position. The handler includes a loading part(152) for loading the wafer, a robot arm(160) for transferring the wafer between the loading part and the ion implanting chamber, and a detecting part(200) installed at the predetermined portion of the robot arm for detecting the state of the wafer.

Abstract translation: 目的：提供离子注入设备的晶片偏差检测装置和用于检测晶片偏移的方法，以便在将晶片转移到预定部分时能够防止晶片的损坏。 构成：离子注入设备（100）设置有离子注入室（110），其具有用于装载晶片的多个盘（130），处理器（150），头部（170）和与190 头部用于将头部移动到瞄准位置。 所述处理器包括用于装载所述晶片的装载部件（152），用于在所述装载部件和所述离子注入室之间传送所述晶片的机械臂（160），以及安装在所述机器人手臂的所述预定部分处的检测部件（200） 用于检测晶片的状态。

公开(公告)号：KR1020000027129A

公开(公告)日：2000-05-15

申请号：KR1019980044995

申请日：1998-10-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 봉성태 ,  정광필

IPC: H01L21/265

Abstract: PURPOSE: An apparatus for scanning a wafer of an ion injecting device is provided which has a detecting element for sensing whether the wafer moves from an initial position to an end position within the injection range. CONSTITUTION: In an apparatus for scanning a wafer of an ion injecting device having a detecting element, the detecting element is a detecting sensor established in a guard rail for detecting whether the wafer reaches an end position of an injection range, or a limit switch.

Abstract translation: 目的：提供一种用于扫描离子注入装置的晶片的装置，其具有用于检测晶片是否在注射范围内从初始位置移动到结束位置的检测元件。 构成：在用于扫描具有检测元件的离子注入装置的晶片的装置中，检测元件是建立在护轨中的检测传感器，用于检测晶片是否达到注射范围的终止位置或限位开关。

公开(公告)号：KR2019970046501U

公开(公告)日：1997-07-31

申请号：KR2019950052979

申请日：1995-12-29

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  오용섭

Inventor： 옥경하 ,  주영병 ,  정광필 ,  오용섭

IPC: H01J9/18

Abstract: 본고안은일렉트론플러드건에관한것으로서, 본고안은필라멘트의변형을방지하여수명을연장할수 있는일렉트론플러드건을제공하는데그 목적을두고있다. 상기의목적을달성하기위한본 고안에의한일렉트론플러드건은상단에일 측이안착되는필라멘트의접촉면적을확장할수 있도록필라멘트지지홈의동일수평선상에일정형상의필라멘트안착홈이구비된터미널과, 상기터미널에인가된전류에의해열팽창되는타측필라멘트의변형을방지할수 있도록복수개의인슐레이트를구비한전자방출부로구성됨을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020010113362A

公开(公告)日：2001-12-28

申请号：KR1020000033662

申请日：2000-06-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정광필 ,  김성주 ,  봉성태 ,  홍승기

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 발명은 이온 소스 어셈블리를 공개한다. 그 장치는 이온을 추출하기 위한 추출 전극 어셈블리, 이온의 차단에 의해서 생성된 2차 전자의 역류를 방지하기 위한 서프레션 어셈블리, 및 추출 전극 어셈블리와 서프레션 어셈블리사이의 절연을 위하여 추출 전극 어셈블리와 서프레션 어셈블리사이에 연결된 인슐레이터를 구비한 이온 소스 어셈블리에 있어서, 인슐레이터가 원통으로 되어 있으며 상기 원통의 인슐레이터의 가운데 부분에 상기 원통과 일체로 된 원통을 구비한 것을 특징으로 한다.
따라서, 인슐레이터의 고유 수명 연장에 의한 보전 작업 감소로 설비 가동률을 향상할 수 있다. 또한, 이온의 생성량이 증가될 수 있다.

公开(公告)号：KR100156325B1

公开(公告)日：1998-12-01

申请号：KR1019950040540

申请日：1995-11-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김성주 ,  최찬승 ,  정광필 ,  황연상

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 발명은 이온의 양을 검출하기 위한 빔 센싱 컵과, 상기 빔 센싱 컵의 상부에 설치되어 2차 전자의 이온화를 방지하는 바이어스 링와, 상기 빔센싱컵 및 바이어스 링을 바디 그라운드에 고정하기 위한 스크류와, 상기 각 부품을 절연하기 위한 인슐레이터로 이루어진 반도체 제조용 이온 주입장치의 패러데이 조립체에 관한 것으로, 상기 빔 센싱 컵과 스크류 사이, 바이어스 링과 스크류 사이를 절연하는 인슐레이터가 일체로 형성되어 이들 사이의 갭이 제거되도록 구성한 것이다.
따라서 빔 센싱 컵과 인슐레이터의 절연이 확실하게 이루어져 이온의 주입량 검출이 정확하게 됨으로써 공정이 안정화되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019970030309A

公开(公告)日：1997-06-26

申请号：KR1019950040542

申请日：1995-11-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 윤수한 ,  신동진 ,  윤재임 ,  정광필

IPC: H01L21/265

Abstract: 고에너지를 얻기 위하여 이온빔의 전하형태를 전환시킬 수 있는 전하교환 셀을 구비하는 반도체소자 제조용 이온주입장치가 개시되어 있다. 본 발명은, 내부에 전하교환물질을 일정 높이까지 수용할 수 있는 챔버의 측벽에 형성된 입사구를 통하여 입사된 이온빔이 상기 전하교환물질이 충돌한 후 다른 도전형의 이온빔으로 교환되어 상기 챔버의 반대 측벽에 형성된 배출구를 통하여 배출되는 전하교환 셀을 구비하는 반도체소자 제조용 이온주입장치에 있어서, 상기 전하교환 셀의 어셈블리가 상기 챔버의 측벽에서 분해 및 조립이 가능하도록 상기 참버의 측벽에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 챔버의 측면에서 어셈블리의 분해 및 조립이 가능하므로 작업성 및 안정성이 향상되며, 히터로 효율화 PM 주기가 연장되어 가동율 향상의 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020080026691A

公开(公告)日：2008-03-26

申请号：KR1020060091537

申请日：2006-09-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이상호 ,  정광필

IPC: H04B1/40

CPC classification number: H04M1/271 ,  H04M1/274575 ,  H04M1/72536 ,  H04M2201/40 ,  H04M2250/74

Abstract: A device for controlling voice dialing in a portable terminal and a method are provided to execute call connection attempt termination and redial operation automatically until call connection is conducted, by attempting the call connection by recognizing the first particular word and recognizing the second particular word if the call connection fails, thereby notifying of an emergency. A controller(100) recognizes the first particular word to decide whether the first word is identical with a word registered in a voice dialing list where the first particular word corresponds voices and telephone numbers one to one. If so, the controller attempts call connection by dialing a telephone number corresponding to the first particular word, and if the call connection fails, the controller decides whether the second particular word is identical with a word registered in a voice control command list. If so, the controller redials the telephone number to attempt the call connection again, and automatically repeats call connection attempt termination and redialing until the call connection is successful. A memory(150) stores the voice dialing list and the voice control command list.

Abstract translation: 提供一种用于控制便携式终端中的语音拨号的设备和方法，用于通过自动执行呼叫连接尝试终止和重拨操作，直到进行呼叫连接，通过通过识别第一特定单词并识别第二特定单词来尝试呼叫连接，如果 呼叫连接失败，从而通知紧急情况。 控制器（100）识别第一特定字以确定第一个字是否与在语音拨号列表中注册的字相同，其中第一特定字对应语音和电话号码一对一。 如果是，则控制器通过拨打对应于第一特定字的电话号码来尝试呼叫连接，如果呼叫连接失败，则控制器判定第二特定字是否与在语音控制命令列表中注册的字相同。 如果是这样，控制器重拨电话号码再次尝试呼叫连接，并自动重复呼叫连接尝试终止和重拨，直到呼叫连接成功。 存储器（150）存储语音拨号列表和语音控制命令列表。

公开(公告)号：KR100156323B1

公开(公告)日：1998-12-01

申请号：KR1019950040542

申请日：1995-11-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 윤수한 ,  신동진 ,  윤재임 ,  정광필

IPC: H01L21/265

Abstract: 고에너지를 얻기 위하여 이온빔의 전하형태를 전환시킬 수 있는 전하교환셀을 구비하는 반도체소자 제조용 이온주입장치가 개시되어 있다.
본 발명은, 내부에 전하교환물질을 일정 높이까지 수용할 수 있는 챔버의 측벽에 형성된 입사구를 통하여 이온빔이 상기 전하교환물질과 충돌한 후 다른 도전형의 이온빔으로 교환되어 상기 챔버의 반대 측벽에 형성된 배출구를 통하여 배출되는 전하교환 셀을 구비하는 반도체소자 제조용 이온주입장치에 있어서, 상기 전하교환 셀의 어셈블리가 상기 챔버의 측벽에서 분해 및 조립이 가능하도록 상기 챔버의 측벽에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
따라서, 챔버의 측면에서 어셈블리의 분해 및 조립이 가능하므로 작업성 및 안전성이 향상되며, 히터의 효율화로 PM 주기가 연장되어 가동율 향상의 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020070000530A

公开(公告)日：2007-01-03

申请号：KR1020050055920

申请日：2005-06-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정광필

IPC: H01L21/02

Abstract: A fume diffusion preventing apparatus and a method are provided to prevent fumes of a chamber and a pipeline from diffusing into the air during PM(Preventive Maintenance) by using an auxiliary pipeline and an auxiliary exhaust pump. A fume diffusion preventing apparatus includes at least one or more chambers(10) for performing unit processes on an object, at least one or more gas supply sources(20) for supplying a predetermined gas to the chambers, a plurality of pipelines(31 to 34) for connecting the chambers with the gas supply sources, a main exhaust pump, at least one or more auxiliary exhaust pipelines, and an auxiliary exhaust pump. The main exhaust pump(70) is connected to the pipelines in order to remove exhaust gases. The auxiliary exhaust pipelines(51,52) are connected to the chambers and the gas supply sources. The auxiliary exhaust pump(80) is used for exhausting fumes through the auxiliary exhaust pipelines during the PM of the chambers or gas supply sources.

Abstract translation: 提供了一种烟雾扩散防止装置和方法，用于通过使用辅助管道和辅助排气泵在PM（预防性维护）期间防止室和管道的烟雾扩散到空气中。 烟雾扩散防止装置包括用于对物体进行单元处理的至少一个或多个室（10），用于向室供给预定气体的至少一个或多个气体供应源（20），多个管道（31〜 34），用于将所述室与气体供应源连接，主排气泵，至少一个或多个辅助排气管线和辅助排气泵。 主排气泵（70）连接到管道以便排出废气。 辅助排气管道（51,52）连接到室和气体供应源。 辅助排气泵（80）用于在室或气体供应源的PM期间通过辅助排气管道排出烟雾。

公开(公告)号：KR1020040083126A

公开(公告)日：2004-10-01

申请号：KR1020030017663

申请日：2003-03-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정광필

IPC: H01B7/29

Abstract: PURPOSE: An apparatus for detecting change of temperature in a cable is provided to prevent previously a fire due to the overload of electron appliance by displaying color of a lamp according to the detected temperature. CONSTITUTION: An apparatus for detecting change of temperature in a cable(16) comprises a male plug(10) provided on a main equipment; a female plug(12) inserted into the male plug and connected to the cable for supplying power; a thermal sensor(14) mounted on the cable for detecting temperature of the cable; and a controller(18) for driving a lamp according to the temperature value by receiving the temperature value from the thermal sensor and comparing the temperature value with a preset reference temperature.

Abstract translation: 目的：提供一种用于检测电缆中温度变化的装置，用于根据检测到的温度显示灯的颜色，防止由于电子设备的过载引起的火灾。 构成：用于检测电缆（16）中的温度变化的装置包括设置在主设备上的公插头（10）; 插入所述公插头并连接到所述电缆以供电的阴插头（12）; 安装在电缆上的用于检测电缆温度的热传感器（14）; 以及控制器（18），用于通过从热传感器接收温度值并将温度值与预设的参考温度进行比较来根据温度值驱动灯。