公开(公告)号：KR1020170016562A

公开(公告)日：2017-02-14

申请号：KR1020150109641

申请日：2015-08-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 류승민 ,  이상민 ,  정희종 ,  김재호 ,  손지수 ,  이재봉 ,  임주완 ,  최정우

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683 ,  H01L21/56 ,  H01L21/20

CPC classification number: C30B25/16 ,  C23C16/4584 ,  C23C16/4585 ,  C23C16/481 ,  C23C16/52 ,  C30B25/105

Abstract: 본발명의일 실시예에따른박막증착장치는, 챔버, 상기챔버내에서기판을지지및 회전시키는서셉터, 상기챔버외측에배치되는반사하우징, 상기반사하우징내 상기기판의상부에배치되고, 상기기판으로광을조사하는광원부, 그리고상기반사하우징내 배치되고, 상기광의조사경로의적어도일부를차단하여상기기판상의상기광의조사영역을조절하는광 조절부를포함한다.

Abstract translation: 提供了一种用于沉积薄膜的装置。 该装置包括：室，设置在室中的基座和支撑基板;设置在室外的反射壳体;设置在反射壳体中并将光照射到基座的光源单元;以及光控制单元， 光的照射路径的一部分，以控制基座上的光的照射面积。 光控制单元的至少一部分设置在反射壳体中。