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公开(公告)号：KR1020070052455A
公开(公告)日：2007-05-22
申请号：KR1020050110114
申请日：2005-11-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 게이트 밸브가 구비된 반도체 제조장비에 관한 것이다. 본 발명은 소정 각도로 상하이동하여 챔버의 게이트에 형성된 웨이퍼 포트를 개폐하는 게이트 밸브가 구비된 반도체 제조장비에서, 상기 게이트 밸브에는 외부의 물체를 감지하는 감지센서가 구비되고, 상기 감지센서에 의해 외부의 물체가 감지되면 상기 게이트 밸브의 상향이동이 저지되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브가 구비된 반도체 제조장비를 제공한다.
이와 같은 본 발명의 게이트 밸브가 구비된 반도체 제조장비에 의하면, 게이트 밸브에 물체의 유무를 감지하는 센서를 장착하여 게이트 밸브의 상부에 웨이퍼가 드롭되어 있거나 로봇이 로봇암을 공정챔버측으로 뻗은 상태에서는 게이트 밸브가 상향이동하지 못하도록 제어함으로써, 드롭된 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있고, 파손된 웨이퍼의 파편으로 다른 웨이퍼가 오염되는 것 또한 방지할 수 있으며, 게이트 밸브와 로봇의 충돌로 인해 설비가 손상되거나 설비의 운영이 다운되는 것을 방지할 수 있다.
게이트 밸브, 웨이퍼 포트, 감지센서, 공정챔버, 버퍼챔버-
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公开(公告)号：KR1020170046285A
公开(公告)日：2017-05-02
申请号：KR1020150146404
申请日：2015-10-21
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조용래
IPC: H04N19/00 , H04N19/44 , H04N11/04 , H04N19/625
CPC classification number: H04N19/12 , H04N19/18 , H04N19/48 , H04N19/625
Abstract: 영상신호를제1 코덱을이용하여영상처리하는디코더를제2 코덱을사용하여영상처리가능한멀티포맷디코더로변환설계하는방법이개시된다. 영상신호를제1 코덱을이용하여영상처리하는디코더를제2 코덱을사용하여영상처리가능한멀티포맷디코더로변환설계하는방법은, 제1 코덱에관한정보및 제2 코덱에관한정보각각을기 설정된변환방식을통해제1 코덱의변환상수를포함하는정보및 제2 코덱의변환상수를포함하는정보로처리하는단계, 제1 코덱의변환상수와제2 코덱의변환상수간의유사도를판단하는단계및 판단된유사도에기초하여디코더에쉬프터, 가산기및 감산기중 적어도하나를부가하여멀티포맷디코더로변환설계하는단계를포함한다. 이에따라, 칩사이즈를감소시키고코스트를감소시킬수 있는효과가있다.
Abstract translation: 公开了一种用于将视频信号转换为能够使用第二编解码器进行图像处理的多格式解码器的方法。 提供了一种用于使用第一编解码器将用于执行视频信号的图像处理的解码器转换和设计为能够使用第二编解码器进行图像处理的多格式解码器的方法， 该方法包括步骤，确定所述第一编解码器变换常数和转换从用于处理信息包括所述信息的变换常数和所述第二编解码器到转换系统中的第二编解码器常数之间的相似性包括所述第一编解码器的变换常数和 并且基于所确定的相似性向解码器添加移位器，加法器和减法器中的至少一个，并且将多格式解码器转换成多格式解码器。 因此，具有可以减小芯片尺寸并且可以降低成本的效果。
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公开(公告)号：KR1020160080938A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020140193548
申请日：2014-12-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L27/11 , H01L21/8244
CPC classification number: H01L27/1104 , H01L29/7851 , H01L2924/0002 , H01L2924/00 , H01L27/11
Abstract: 듀얼포트에스램장치는상부에소자분리막패턴이형성된필드영역및 소자분리막패턴으로부터상부로돌출되어제1 방향으로각각연장된제1 내지제4 액티브핀들을포함하는기판, 제1, 제2 및제4 액티브핀들상에제1 방향에실질적으로수직한제2 방향으로각각연장된제1 및제2 게이트구조물들, 제1, 제2 및제3 액티브핀들상에제2 방향으로각각연장된제3 및제4 게이트구조물들, 제3 액티브핀 상에제2 방향으로각각연장된제5 및제6 게이트구조물들, 및제4 액티브핀 상에제2 방향으로각각연장된제7 및제8 게이트구조물들을포함하는유닛셀을구비한다. 제6 게이트구조물은제1 콘택플러그에의해제3 게이트구조물과전기적으로연결되고, 제7 게이트구조물은제2 콘택플러그에의해제2 게이트구조물과전기적으로연결된다.
Abstract translation: 一种双端口SRAM器件，包括：单元，其包括：基板，其包括在其顶部上形成器件隔离图案的场区域以及从器件隔离图案向上突出以分开延伸的第一至第四活性鳍片 第一个方向 第一和第二栅极结构在第一方向的第二方向上分开延伸，在第一，第二和第四活性鳍片的顶部上; 第三和第四栅极结构在第二方向上分别延伸在第一，第二和第三活性鳍片上; 第五和第六门结构在第二方向上分开延伸，在第三活动鳍片的顶部上; 第七和第八栅极结构在第四方向上分别延伸，在第四活性鳍片的顶部。 第六栅极结构通过第一接触插塞电连接到第三栅极结构。 第七栅极结构通过第二接触插塞电连接到第二栅极结构。 根据本发明，可以提供具有优异性能的双端口SRAM器件。
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公开(公告)号：KR1020150040484A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：KR1020130119048
申请日：2013-10-07
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조용래
IPC: H04N5/45
CPC classification number: H04N13/305
Abstract: 본발명은영상간의간섭을완화할수 있는소정의영상을삽입하여볼 수있도록함으로써, 복수의사용자가화질이감소된않은주영상을시청하면서보조영상을각각의시야각에대응하여보이도록하는디스플레이장치및 그제어방법이제공된다. 본디스플레이장치는, 주영상및 상기주영상과함께선택적으로표시될수 있는보조영상을각각포함할수 있는복수의영상을처리하는영상처리부와; 시야각에대응하여상기보조영상이각각보이도록하여상기복수의영상을표시하는디스플레이부와; 상기복수의영상이제1보조영상, 상기제1보조영상과는다른제2보조영상및 상기제1보조영상과상기제2보조영상간의간섭완화를위한제3보조영상중 적어도하나를포함하도록제어하는제어부를포함하는것을특징으로한다. 이로인하여주영상을시청하면서주영상의해상도를유지하며, 시야각에대응하여보조영상을각각시청할수 있으며, 사용자는시야각의이동에도다른시야각에서보여지는다른보조영상이이동전에보여지던보조영상과겹쳐서보이는것을방지할수 있는디스플레이장치및 그제어방법을제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明提供了一种显示装置，其通过对应于每个观察角度显示辅助视频，同时多个用户通过插入可以减轻视频之间的干扰并允许被看到的某个视频来观看主视频，图像质量不降低， 及其控制方法。 显示装置包括：视频处理单元，处理可以分别包括主视频和辅助视频的多个视频，主视频和辅助视频与主视频有选择地显示; 分别显示与观察角相对应的辅助视频并显示多个视频的显示单元; 以及控制单元，其控制多个视频以包括第一辅助视频，与第一辅助视频不同的第二辅助视频和第三辅助视频中的至少一个，以减轻第一辅助视频与第二辅助视频之间的干扰 视频。 因此，提供了一种显示装置，其在观看主视频的同时维持主视频的分辨率，分别根据观察角观看辅助视频，并且防止以另一观察角度显示的另一辅助视频被重叠显示 在用户移动观察角度之前移动的辅助视频及其控制方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020070053476A
公开(公告)日：2007-05-25
申请号：KR1020050111297
申请日：2005-11-21
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조용래
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 반도체 제조 장비용 냉각 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 장비에서 고온으로 공정을 진행한 웨이퍼를 신속하게 냉각시키기 위하여 사용되는 반도체 제조 장비용 냉각 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 반도체 제조 장비용 냉각 장치는 웨이퍼를 냉각시키기 위하여 사용되는 것으로서, 프레임; 상기 프레임에 고정되어 표면에 상기 웨이퍼가 안착되는 플레이트; 상기 플레이트에 부착되어 상기 웨이퍼의 온도를 감지하는 온도 센서; 및 상기 플레이트 내부를 통과하며 관상의 통로를 형성하여 냉각 매체가 통과되는 냉각 라인을 포함한다. 본 발명에 의하여 냉각되는 웨이퍼는 온도가 충분히 저하될 때까지 냉각되고, 냉각된 웨이퍼의 온도를 확인한 뒤에 웨이퍼가 카세트나 다른 공정챔버로 이동되기 때문에 반도체 제조 장비에서 오염이나 공정불량이 발생하는 것을 방지하는 효과가 있다.
냉각 장치, 온도 센서, 플레이트-
公开(公告)号：KR1020030090186A
公开(公告)日：2003-11-28
申请号：KR1020020028192
申请日：2002-05-21
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조용래
IPC: H01L21/205
Abstract: PURPOSE: A CVD(Chemical Vapor Deposition) apparatus for semiconductor fabrication is provided to perform rapidly an assembling process and a disassembling process by using a shower head adapter to combine a shower head with a head cover or the shower head adapter. CONSTITUTION: A CVD apparatus for semiconductor fabrication includes a gas distribution unit(200). The gas distribution unit(200) includes a shower head(210), a head cover(250), a shower head adapter(230), and a shower head clamp(260). The shower head(210) includes a gas inlet portion(212) for receiving reaction gases from the outside and a gas outlet portion(214) for distributing uniformly the reaction gases into inside of a process chamber. The head cover(250) is used for covering the shower head(210). The shower head adaptor(230) is installed at the shower head(210) in order to be combined with the gas inlet portion(212). The shower head clamp(260) is combined with the gas inlet portion(212) in order to fix the shower head(210) to the shower head adapter(230).
Abstract translation: 目的：提供一种用于半导体制造的CVD（化学气相沉积）装置，通过使用淋浴头适配器将淋浴头与头罩或淋浴头适配器组合起来，快速执行组装过程和拆卸过程。 构成：用于半导体制造的CVD装置包括气体分配单元（200）。 气体分配单元（200）包括淋浴头（210），头罩（250），淋浴头适配器（230）和淋浴喷头夹（260）。 淋浴头（210）包括用于从外部接收反应气体的气体入口部分（212）和用于将反应气体均匀分布到处理室内部的气体出口部分（214）。 头盖（250）用于覆盖淋浴喷头（210）。 淋浴头适配器（230）安装在淋浴喷头（210）处以与气体入口部分（212）组合。 淋浴头夹（260）与气体入口部（212）组合，以便将淋浴头（210）固定到淋浴头适配器（230）上。
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公开(公告)号：KR1020170046279A
公开(公告)日：2017-05-02
申请号：KR1020150146394
申请日：2015-10-21
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조용래
IPC: H04N19/60 , H04N19/63 , H04N19/426 , H04N19/433
CPC classification number: H04N19/44 , H04N19/136 , H04N19/423 , H04N19/60 , H04N19/63
Abstract: 디코딩장치가개시된다. 디코딩장치는, 입력된영상데이터를라인별로변환하여 2차원변환을수행하는변환모듈, 변환모듈에서라인별 변환이수행될때마다변환이수행된라인에대응되는데이터를실시간으로수신하여저장하는버퍼및 버퍼로부터수신된제1 라인에대응되는데이터및 변환모듈로부터수신된제1 라인이후의제2 라인에대응되는데이터에기초하여 DWT(Discrete Wavelet Transform)를수행하는 DWT 모듈을포함하며, 버퍼는, 변환모듈로부터새로운데이터가수신되면기저장된데이터를삭제하고새로운데이터를저장할수 있다. 이에따라, 칩사이즈를감소시키고코스트를감소시키며연산처리의속도를높일수 있는효과가있다.
Abstract translation: 公开了一种解码装置。 解码设备包括：转换模块，用于逐行地转换输入图像数据并执行二维转换;缓冲器，用于接收和存储对应于每次在转换模块中执行逐行转换的转换的线的数据; 以及DWT模块，用于基于从缓冲器接收到的对应于第一行的数据和对应于从转换模块接收的第一行之后的第二行的数据执行DWT（离散小波变换） 当从转换模块收到新数据时，可以删除旧数据并保存新数据。 因此，具有可以减小芯片尺寸，降低成本，并且可以增加计算处理的速度的效果。
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公开(公告)号：KR1020030064961A
公开(公告)日：2003-08-06
申请号：KR1020020005055
申请日：2002-01-29
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조용래
IPC: H01L21/20
Abstract: PURPOSE: A clamping apparatus for semiconductor fabrication equipment is provided to lengthen the lifetime of a bellows by performing accurately the up and down operation of a clamp and preventing the vibration due to the abrasion. CONSTITUTION: A clamping apparatus(130) for semiconductor fabrication equipment includes a clamp ring, a shaft(134), a driving portion, a bellows, and a guide portion(139). The shaft is installed vertically to the clamp ring in order to be moved to an upper portion or a lower portion. The driving portion moves the shaft to the upper portion or the lower portion. The bellows is connected to the shaft in order to intercept the inflow of air from the outside. The guide portion is installed at the bellows in order to guide the movement of the shaft.
Abstract translation: 目的：提供一种用于半导体制造设备的夹紧装置，通过精确地执行夹具的上下操作并防止由于磨损引起的振动来延长波纹管的寿命。 构成：用于半导体制造设备的夹紧装置（130）包括夹紧环，轴（134），驱动部分，波纹管和引导部分（139）。 轴垂直于夹紧环安装，以便移动到上部或下部。 驱动部将轴移动到上部或下部。 波纹管连接到轴，以拦截来自外部的空气流入。 引导部分安装在波纹管上以引导轴的运动。
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公开(公告)号：KR1020010106893A
公开(公告)日：2001-12-07
申请号：KR1020000027929
申请日：2000-05-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조용래
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 로딩상태를 감지하여 보다 안정적으로 웨이퍼를 운반할 수 있는 로봇 암 장치에 관한 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따른 로봇 암 장치는 웨이퍼의 수용유무 및 로딩상태를 감지하는 적어도 두 개의 센서들로 구성되는 센서부와, 일 단부에 상기 웨이퍼가 놓여지는 웨이퍼 수용부가 일체로 형성되며, 상기 센서들이 상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼 수용부 상에 위치하는가에 대한 웨이퍼 수용유무 및 상기 웨이퍼 수용부 상에 위치한 웨이퍼의 로딩상태가 양호한가에 대한 웨이퍼 로딩상태를 감지할 수 있는 내부 적소에 장착되며, 상기 웨이퍼를 로딩하여 운반하는 암을 구비함을 특징으로 한다.
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