公开(公告)号：KR100227841B1

公开(公告)日：1999-11-01

申请号：KR1019970003681

申请日：1997-02-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김대열 ,  주민희

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 개구율 표시부가 설치된 그레이팅에 관한 것으로, 관통홀의 완전한 개폐는 관통홀에 대해 셔터를 완전히 열고 닫고 함으로써 가능하지만, 25%나 50% 개구율에 대한 관통홀의 개구시에는 작업자의 짐작에 의해 노브를 조절하여 관통홀에 대해 셔터를 열고 닫기 때문에 개구율의 오차가 발생하는 문제점을 제거하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해 본 발명에서는 소정 퍼센트의 개구율에 대해서 노브를 이용하여 관통홀을 개구할 때, 작업자의 짐작에 의한 노브의 조절이 아닌 노브의 회전에 대한 개구율 값이 표기되어 있어 원하는 개구율 값에 대응되게 노브를 위치시킴으로써 개구율에 대해 정확히 관통홀이 개구될 수 있도록 한다.

公开(公告)号：KR1019980067573A

公开(公告)日：1998-10-15

申请号：KR1019970003681

申请日：1997-02-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김대열 ,  주민희

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 개구율 표시부가 설치된 그레이팅에 관한 것으로, 관통홀의 완전한 개폐는 관통홀에 대해 셔터를 완전히 열고 닫고 함으로써 가능하지만, 25%나 50% 개구율에 대한 관통홀의 개구시에는 작업자의 짐작에 의해 노브를 조절하여 관통홀에 대해 셔터를 열고 닫기 때문에 개구율의 오차가 발생하는 문제점을 제거하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해 본 발명에서는 소정 퍼센트의 개구율에 대해서 노브를 이용하여 관통홀을 개구할 때, 작업자의 짐작에 의한 노브의 조절이 아닌 노브의 회전에 대한 개구율 값이 표기되어 있어 원하는 개구율 값에 대응되게 노브를 위치시킴으로써 개구율에 대해 정확히 관통홀이 개구될 수 있도록 한다.