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公开(公告)号：KR100516781B1
公开(公告)日：2005-12-01
申请号：KR1019980003256
申请日：1998-02-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: 타공판의 하부의 바퀴달린 각 다리의 중간에 진동을 완충하는 완충부를 구성하여 이동 중에 발생되는 진동이나 충격을 상부의 운반물에 전달하지 않고 소음을 방지하도록 개선시킨 클린룸에서 사용되는 운반 장치에 관한 것으로서, 복수 개의 다리로 운반물을 싣는 부분이 지지되고, 상기 다리 단부에 바퀴가 결합된 운반 장치의 다리는 상부 다리와 하부 다리로 이루어지고, 상부다리와 하부 다리의 사이에 상부 다리와 하부 다리를 결합하면서 완충력을 갖는 완충 수단이 설치되어서 이동 중 하부 다리에서 발생되는 진동이 완충 수단 상부로 전달되는 것을 차단하고, 그로써 소정 목적지로의 이동을 위하여 실리는 웨이퍼와 같은 운반물이 진동에 의하여 손상되는 것이 방지되고, 소음이 억제되어 공정환경이 안정됨으로써 수율 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1019980012043A
公开(公告)日：1998-04-30
申请号：KR1019960031898
申请日：1996-07-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
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公开(公告)号：KR100241698B1
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：KR1019970011906
申请日：1997-03-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/22
Abstract: 반도체 제조장비의 하단부에 범용이 가능하도록 블록으로 조립된 배기덕트를 설치함으로써 작업실 외부로 열을 강제배기시켜 열로 인한 설비 및 웨이퍼의 영향을 최소화하는 반도체 제조장비의 열배기장치에 관한 것이다.
본 발명은 본체 내부에 발열부를 구비하고 본체의 하부가 개방된 형태의 반도체 제조장비에 있어서, 상기 본체의 하단부를 따라 설치되어 바닥면과 하단부 사이의 기밀을 유지하도록 하고, 속이 빈 중공형태로서 내측면에 본체의 내부와 연통하는 흡입구가 형성된 배기덕트 및 상기 배기덕트에 호스를 연결하여 본체 내부의 열을 강제로 배기시키기 위한 펌핑모터로 구성됨을 특징으로 한다.
따라서 제조장비의 과열을 방지하여 제조장비의 정지나 고장을 막고 적정온도의 작업환경을 유지하며 발열부에 의한 작업실 및 작업자의 영향을 최소화할 수 있고 필요시엔 언제든지 설치와 분해가 가능하고 다른 장비와의 호환이 자유로우며 경제적이고 펌핑모터에서 발생하는 분진이나 소음 및 진동 등이 작업실 내부에 영향을 미치지 않게 하는 효과를 갖는다.-
公开(公告)号：KR100219418B1
公开(公告)日：1999-10-01
申请号：KR1019960033602
申请日：1996-08-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 스탠드 어론(Stand Alone) 구조의 지지대에 프로브(Probe)를 설치하여 측정하고자 하는 위치 및 높이에서 측정이 이루어지도록 개선시킨 반도체 크린 룸의 파티클 측정설비에 관한 것이다.
본 발명은, 크린 룸에서의 파티클을 측정하기 위한 프로브(Probe)가 튜브에 연결되는 반도체 크린 룸의 파티클 측정설비에 있어서, 상기 프로브를 일정 높이로 지지시키는 지지대를 측정하고자 하는 위치의 그레이팅(Grating)으로 형성되는 바닥에 고정시켜 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 크린 룸에서의 파티클, 온도 및 습도 등을 측정하기 위한 설비의 설치가 용이하고, 또한 공간이동 및 높이조절이 가능하여 다양한 측정범위를 제공함으로서 설비의 효용성을 극대화시키는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100192962B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950065738
申请日：1995-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 에어 크린 룸의 바닥을 간편하게 변경하여 샤워 효율을 극대화할 수 있는 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법을 제공하는데 그 목적을 두고 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 능동 구동형 에어 크린 룸은 에어 크린 룸의 바닥에 설치된 복수 개의 샤워 디스크에 작업자가 탑승하였는가의 여부를 감지하는 감지부와, 상기 감지부에 의해 감지된 신호에 따라 구동되는 구동부와, 상기 구동부에 의해 연동되는 샤워 디스크의 작동과 동시에 공기를 분사하는 분사부와, 상기 분사부의 작동에 의해 이탈된 파티클을 배출하는 복수 개의 배출공으로 구성됨을 특징으로 한다.
한편, 본 발명에 의한 능동 구동형 에어 크린 룸의 제어 방법은 전동기의 회전수 및 그 작동 방법(수동/자동)을 제어부에 입력하는 제1 입력 스텝과, 상기 제1 입력 스텝에 의해 입력된 자료를 근거로 제어부에서 전동기와 분사부를 동시에 작동시키는 작동 스템과, 상기 작동 스텝에 의해 구동되는 전동기의 작동 상태에 관한 자료를 검출하여 제어부에 입력시키는 제2 입력 스텝과, 상기 제2 입력 스텝에 의해 입력된 자료를 근거로 제어부에서 전동기와 분사부를 동시에 정지시키는 정지 스텝으로 구성됨을 특징으로 한다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019980067573A
公开(公告)日：1998-10-15
申请号：KR1019970003681
申请日：1997-02-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은 개구율 표시부가 설치된 그레이팅에 관한 것으로, 관통홀의 완전한 개폐는 관통홀에 대해 셔터를 완전히 열고 닫고 함으로써 가능하지만, 25%나 50% 개구율에 대한 관통홀의 개구시에는 작업자의 짐작에 의해 노브를 조절하여 관통홀에 대해 셔터를 열고 닫기 때문에 개구율의 오차가 발생하는 문제점을 제거하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해 본 발명에서는 소정 퍼센트의 개구율에 대해서 노브를 이용하여 관통홀을 개구할 때, 작업자의 짐작에 의한 노브의 조절이 아닌 노브의 회전에 대한 개구율 값이 표기되어 있어 원하는 개구율 값에 대응되게 노브를 위치시킴으로써 개구율에 대해 정확히 관통홀이 개구될 수 있도록 한다.-
公开(公告)号：KR100144884B1
公开(公告)日：1998-08-01
申请号：KR1019950019025
申请日：1995-06-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04R1/00
Abstract: 본 발명은 클린룸용 스피커 설비에 관한 것이다. 스피커, 다수의 구멍이 뚫려 있으며 상기 스피커를 감싸고 있는 케이스 및 상기 케이스 내에 구비되어 있는 입자 여과용 울파 필터용 여재를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 스피커 설비에서는 오염 입자가 거의 발생되지 않기 때문에 그 사용 범위가 극히 제한되어 왔던 방송 시스템의 활용을 극대화할 수 있을 뿐만 아니라, 작업 능률 향상을 위한 음악 방송 실시 또는 무선 호출 시스템의 사용도 가능하다.
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公开(公告)号：KR100227841B1
公开(公告)日：1999-11-01
申请号：KR1019970003681
申请日：1997-02-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은 개구율 표시부가 설치된 그레이팅에 관한 것으로, 관통홀의 완전한 개폐는 관통홀에 대해 셔터를 완전히 열고 닫고 함으로써 가능하지만, 25%나 50% 개구율에 대한 관통홀의 개구시에는 작업자의 짐작에 의해 노브를 조절하여 관통홀에 대해 셔터를 열고 닫기 때문에 개구율의 오차가 발생하는 문제점을 제거하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해 본 발명에서는 소정 퍼센트의 개구율에 대해서 노브를 이용하여 관통홀을 개구할 때, 작업자의 짐작에 의한 노브의 조절이 아닌 노브의 회전에 대한 개구율 값이 표기되어 있어 원하는 개구율 값에 대응되게 노브를 위치시킴으로써 개구율에 대해 정확히 관통홀이 개구될 수 있도록 한다.-
公开(公告)号：KR200151451Y1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR2019960020766
申请日：1996-07-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 실험을 목적으로 클린룸 내부에 파티클을 발생시키는 반도체 파티클 발생기에 관한 것이다.
본 고안은, 공기공급원에서 공급되는 공기가 버블발생기를 포함한 제 1 라인과 상기 제 1 라인에서 분기된 제 2 라인으로 공급되도록 구성되고, 상기 제 1 라인을 통과한 특정크기를 가지는 파티클을 포함한 에어로솔상태의 공기와 상기 제 2 라인을 통과한 공기가 제 3 라인으로 혼합 방출되도록 구성된 반도체 파티클 발생기에 있어서, 상기 버블발생기 전단에 공기의 양을 제어 및 확인하는 제 1 수단이 구성되고, 제 2 라인에도 공기의 양을 제어 및 확인하는 제 2 수단이 구성되며, 상기 제 3 라인에는 특정크기를 가지는 상기 혼합방출 공기의 파티클 수를 카운트하는 레이저 파티클 카운터가 설치됨을 특징으로 한다.
따라서, 파티클의 분석에 정확성을 기할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019980075663A
公开(公告)日：1998-11-16
申请号：KR1019970011906
申请日：1997-03-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/22
Abstract: 반도체 제조장비의 하단부에 범용이 가능하도록 블록으로 조립된 배기덕트를 설치함으로써 작업실 외부로 열을 강제배기시켜 열로 인한 설비 및 웨이퍼의 영향을 최소화하는 반도체 제조장비의 열배기장치에 관한 것이다.
본 발명은 본체 내부에 발열부를 구비하고 본체의 하부가 개방된 형태의 반도체 제조장비에 있어서, 상기 본체의 하단부를 따라 설치되어 바닥면과 하단부 사이의 기밀을 유지하도록 하고, 속이 빈 중공형태로서 내측면에 본체의 내부와 연통하는 흡입구가 형성된 배기덕트 및 상기 배기덕트에 호스를 연결하여 본체 내부의 열을 강제로 배기시키기 위한 펌핑모터로 구성됨을 특징으로 한다.
따라서 제조장비의 과열을 방지하여 제조장비의 정지나 고장을 막고 적정온도의 작업환경을 유지하며 발열부에 의한 작업실 및 작업자의 영향을 최소화할 수 있고 필요시엔 언제든지 설치와 분해가 가능하고 다른 장비와의 호환이 자유로우며 경제적이고 펌핑모터에서 발생하는 분진이나 소음 및 진동 등이 작업실 내부에 영향을 미치지 않게 하는 효과를 갖는다.
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