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公开(公告)号:KR100647472B1
公开(公告)日:2006-11-23
申请号:KR1020050112306
申请日:2005-11-23
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 이명범 , 남갑진 , 오오츠카푸미오 , 아카사카야스시 , 타무라야수유키
IPC: H01L21/336 , H01L29/78