박막 형성 장치, 이를 이용한 유기 발광 소자 및 이의 제조 방법
    2.
    发明公开
    박막 형성 장치, 이를 이용한 유기 발광 소자 및 이의 제조 방법 审中-实审
    薄膜制造装置和有机发光装置的制造方法及使用其的有机发光装置的制造方法

    公开(公告)号:KR1020170028050A

    公开(公告)日:2017-03-13

    申请号:KR1020150124839

    申请日:2015-09-03

    Abstract: 박막형성재료를대전된분무입자들로분무시키는전극부, 전극부와마주보도록배치되어있고, 박막을형성할기판을거치하는기판거치대, 및전극부와기판거치대사이에배치되고, 복수의패턴홈이형성된마스크를포함하고, 마스크및 상기기판에는각각마스크전압(Vm) 및기판전압(VO)이인가되고, 마스크전압(Vm)은가변전압이며, 기판전압(Vm)의극성은분무입자들의극성과같은박막형성장치.

    Abstract translation: 一种薄膜制造装置,其具备将薄膜材料作为带电喷雾粒子喷射的电极部件,与电极部件相对配置并保持设置有薄膜的基板的基板保持器,以及设置在电极部件和 衬底保持器并且设置有多个图案凹槽,其中掩模和衬底分别被施加掩模电压(Vm)和衬底电压(V0),掩模电压(Vm)是可变电压,并且衬底 电压(V0)与喷雾粒子的极性具有相同的极性。

    박막 형성 장치 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법
    3.
    发明公开
    박막 형성 장치 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법 审中-实审
    使用其的有机发光装置的薄膜形成设备和制造方法

    公开(公告)号:KR1020170056348A

    公开(公告)日:2017-05-23

    申请号:KR1020150159920

    申请日:2015-11-13

    Abstract: 박막형성재료를분무시키는복수의전극및 상기복수의파이프전극과마주보도록배치되어있고, 박막을형성할기판을거치하는기판거치대를포함하고, 복수의전극각각은상기분무되는박막형성재료를건조시키기위한가스가분사되는가스분사유로를포함하고, 이웃하는복수의전극간 간격을 L 이라하고, 복수의전극으로부터거치된기판까지의최단거리를 Z라하면, Z ≥ 5L 를만족하는박막형성장치및 이를이용한유기발광소자의제조방법을제공한다.

    Abstract translation: 用于喷射薄膜形成材料的多个电极和布置成面对所述多个管电极并用于保持将在其上形成薄膜的基板的基板支架, 并且Z是从多个电极到安装基板的基板的最短距离,Z> = 5L,并且用于喷射气体的气体喷射通道 一种制造使用其的有机发光装置的方法。

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