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公开(公告)号：KR1020170040911A
公开(公告)日：2017-04-14
申请号：KR1020150140163
申请日：2015-10-06
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 하시모토
CPC classification number: G02B26/123 , G02B13/0005 , G02B21/0032 , G02B21/0048 , G02B26/124 , G02B26/125 , G02B26/127
Abstract: 멀티-빔스캐너는스캔렌즈및 반사미러를포함할수 있다. 상기스캔렌즈로적어도 2개의광들이입사될수 있다. 상기광들은상기스캔렌즈의중심으로부터벗어난편심입사지점들에입사될수 있다. 상기스캔렌즈는상기입사된광들을집광할수 있다. 상기집광된광들은상기반사미러로입사될수 있다. 따라서, 광들의입사지점들이스캔렌즈의중심으로부터벗어나있으므로, 하나의스캔렌즈를이용해서복수개의광들로피사체를스캔할수 있다. 또한, 스캔렌즈를통과한광들이반사미러의동일한지점으로입사되므로, 반사미러의두께를증가시키지않을수 있다.
Abstract translation: 多光束扫描仪可以包括扫描透镜和反射镜。 至少有两盏灯可能会入射到扫描透镜上。 光线可能会入射到偏离扫描透镜中心的偏心入射点上。 扫描透镜可以收集入射光。 会聚的光可以入射在反射镜上。 因此，由于光的入射点偏离扫描透镜的中心，所以可以使用一个扫描透镜利用多个光来扫描对象。 此外，由于通过扫描透镜的光入射到反射镜的同一点上，所以反射镜的厚度不会增加。
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公开(公告)号：KR1020160030811A
公开(公告)日：2016-03-21
申请号：KR1020140120477
申请日：2014-09-11
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N21/958 , G01N2201/06113 , G01N2201/0636
Abstract: 피검체의표면검사방법에따르면, 피검체의표면과평행한제 1 방향을따라조사되는레이저에링 형상을부여할수 있다. 상기링 형상의레이저의크기를조정하여, 상기링 형상의레이저가상기피검체의표면으로입사되는각도를설정할수 있다. 상기링 형상의레이저를상기제 1 방향과직교하는제 2 방향을따라상기피검체의표면을향해서 1차반사시킬수 있다. 상기 1차반사된레이저를상기피검체의검사영역을향해서 2차반사시킬수 있다. 상기피검체의검사영역으로부터반사된레이저를검출할수 있다. 따라서, 링형상의레이저의크기를조정할수가있어서, 피검체의표면으로링 형상의레이저를다양한각도에서조사시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明提供了一种能精确检测精细缺陷的物体的表面检查方法以及执行该缺陷的光学系统。 根据对象的表面检查方法，可以将环形应用于沿与物体的表面平行的第一方向照射的激光。 控制环形激光器的电平，使得可以设置辐射到物体表面上的环形激光器的角度。 环形激光器在垂直于第一方向的第二方向上主要被反射到物体的表面。 主要反射的激光器可以二次反射到物体的检查区域。 可以检测从物体的检查区域反射的激光; 从而可以调节环形激光器的水平，使得环形激光器能够以各种角度辐射到物体的表面上。
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公开(公告)号：KR102241978B1
公开(公告)日：2021-04-19
申请号：KR1020140120477
申请日：2014-09-11
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 피검체의표면검사방법에따르면, 피검체의표면과평행한제 1 방향을따라조사되는레이저에링 형상을부여할수 있다. 상기링 형상의레이저의크기를조정하여, 상기링 형상의레이저가상기피검체의표면으로입사되는각도를설정할수 있다. 상기링 형상의레이저를상기제 1 방향과직교하는제 2 방향을따라상기피검체의표면을향해서 1차반사시킬수 있다. 상기 1차반사된레이저를상기피검체의검사영역을향해서 2차반사시킬수 있다. 상기피검체의검사영역으로부터반사된레이저를검출할수 있다. 따라서, 링형상의레이저의크기를조정할수가있어서, 피검체의표면으로링 형상의레이저를다양한각도에서조사시킬수 있다.
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