고 전자 이동도 트랜지스터 및 그 제조 방법
    3.
    发明公开
    고 전자 이동도 트랜지스터 및 그 제조 방법 无效
    高电子移动晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020140021110A

    公开(公告)日:2014-02-20

    申请号:KR1020120086394

    申请日:2012-08-07

    Inventor: 허홍표

    Abstract: The present invention relates to a high electron mobility transistor and a method of manufacturing the same. According to one embodiment of the present invention, the high electron mobility transistor includes a first semiconductor layer including a recess region; a second semiconductor layer; and 2DEG regions respectively formed in the upper and the lower part of the recess region.

    Abstract translation: 本发明涉及高电子迁移率晶体管及其制造方法。 根据本发明的一个实施例,高电子迁移率晶体管包括包括凹陷区域的第一半导体层; 第二半导体层; 和2DEG区域分别形成在凹部的上部和下部。

    절연 게이트 바이폴라 트랜지스터 및 그 제조방법
    4.
    发明公开
    절연 게이트 바이폴라 트랜지스터 및 그 제조방법 审中-实审
    绝缘栅双极晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020150000352A

    公开(公告)日:2015-01-02

    申请号:KR1020130072702

    申请日:2013-06-24

    Abstract: 절연 게이트 바이폴라 트랜지스터(IGBT)에 관해 개시되어 있다. 일 실시예에 의한 IGBT는 드리프트층 상에 제1 및 제2 필러층과, 웰층과, 소스층과, 상기 제1 필러층, 상기 제2 필러층, 상기 소스층 및 상기 웰층에 접촉된 게이트 구조물을 포함하고, 상기 드리프트층 아래에 버퍼층 및 드레인층을 포함하고, 상기 소스층 및 상기 웰층에 접촉된 제1 전극, 상기 드레인층에 접촉된 제2 전극을 포함한다. 상기 드리프트층, 상기 제1 필러층, 상기 소스층 및 상기 버퍼층은 상기 제2 필러층, 상기 웰층 및 상기 드레인층과 반대되는 도전형 불순물을 포함한다. 상기 제2 필러층은 플로팅(floating)되어 있다. 상기 제1 필러층의 도스량은 3x10
    12 cm
    -2 ~ 8x10
    12 cm
    -2 , 상기 드레인층에 대한 도스량은 3x10
    13 cm
    -2 ~ 1x10
    15 cm
    -2 이다.

    Abstract translation: 公开了能够降低开关损耗的绝缘栅双极晶体管(IGBT)。 根据本发明的一个实施例的IGBT包括:形成在漂移层,阱层,源极层,与第一柱层接触的栅极结构的第一柱层和第二柱层, 所述第二柱层,所述源极层,所述阱层,设置在所述漂移层下方的缓冲层和漏极层,与所述源极层和所述阱层接触的第一电极,以及第二电极, 与漏极层接触。 漂移层,第一柱层,源极层和缓冲层包括与第二柱层,阱层和漏极层相反的导电杂质。 第二柱层浮起来。 第一支柱层的剂量为3×1012cm ^ -2至8×1012cm ^ -2。 漏层的剂量为3×1013cm ^ -2至1×1015cm ^ -2。

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