-
公开(公告)号：KR101682465B1
公开(公告)日：2016-12-05
申请号：KR1020100114460
申请日：2010-11-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/677 , B25J9/06 , B25J18/04 , B65G49/06
Abstract: 단순한구조로구성되면서도기존로봇의모든운동을동일하게수행할수 있고, 기판또는웨이퍼의투입및 배출운동과기판또는웨이퍼의회전운동을바디부의직선운동과암부의회전운동을연동시켜수행할수 있도록하는기판이송로봇을제공한다. 기판이송로봇은상부에레일이설치된베이스부, 상기베이스부에설치된상기레일위를직선왕복이동할수 있도록상기베이스부에수직하게결합된바디부, 상기바디부에상하이동가능하게설치된슬라이딩부재, 일단부가상기슬라이딩부재에회전가능하게결합되는암부, 상기암부의타단부에회전가능하게결합되며기판을고정, 지지하는핸드부를포함하고, 상기암부는상기슬라이딩부재와회전가능하게결합되도록하는제1조인트, 상기핸드부와회전가능하게결합되도록하는제2조인트, 상기제1조인트와상기제2조인트를연결하는링크로구성되고, 상기바디부의직선운동과상기암부의회전운동을조합하여기판이고정, 지지된상기핸드부가직선운동과회전운동을수행할수 있도록하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 目的：提供基板传送机器人，通过最小化接头和连杆的数量来简化基板传送机器人的结构。 构成：轨道（11）安装在基座（10）的上侧。 主体单元（20）与基座单元垂直结合，以在导轨中线性往复运动。 滑动构件（30）可移动地安装在主体单元中。 臂单元（40）与滑动构件可旋转地组合。 手单元（50）与臂单元的另一侧可旋转地组合。
-
公开(公告)号：KR1020110071545A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：KR1020090128151
申请日：2009-12-21
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B25J15/10 , B25J15/0266 , B25J15/0009 , B25J15/0253 , Y10S294/902
Abstract: PURPOSE: An industrial gripper with multi degrees of freedom is provided to stably grip a target since a plurality of finger units move against a base by first and second driving units. CONSTITUTION: An industrial gripper(1) with multi degrees of freedom comprises a base(10), at least three finger units(100,200,300), a support unit(20), and first and second driving units(30,40). The finger units move relatively to the base. The support unit supports the finger units. The first and second driving units are coupled to the support unit. The first driving unit simultaneously performs the angular displacement of the finger units to the target. The second driving unit controls the arrangement angle between the finger units. Each finger unit comprises intermediate members(210,310), grip members(120,220,320), and connecting members(130,230,330). The intermediate members move by the first driving unit in a first direction.
Abstract translation: 目的：提供具有多自由度的工业夹具以稳定地夹持目标，因为多个指状单元通过第一和第二驱动单元抵靠基座移动。 构成：具有多自由度的工业夹具（1）包括基座（10），至少三个手指单元（100,200,300），支撑单元（20）以及第一和第二驱动单元（30,40）。 手指单元相对于底座移动。 支撑单元支撑手指单元。 第一和第二驱动单元联接到支撑单元。 第一驱动单元同时执行手指单元对目标的角位移。 第二驱动单元控制指状单元之间的配置角度。 每个指状单元包括中间构件（210,310），夹紧构件（120,220,320）和连接构件（130,230,330）。 中间构件沿着第一方向由第一驱动单元移动。
-
公开(公告)号：KR101674894B1
公开(公告)日：2016-11-10
申请号：KR1020090128151
申请日：2009-12-21
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B25J15/10 , B25J15/0266
Abstract: 본발명의일 측면은산업현장에서이용되는제품의다양성에대응하여다양한형상과강도의제품을안정적으로파지할수 있는산업용다자유도그리퍼에관한것으로, 본발명의산업용다자유도그리퍼는기대와, 기대에대하여상대이동하는적어도 3개의손가락유닛들과, 손가락유닛들을지지하는지지유닛과, 지지유닛에결합되어손가락유닛들이대상물을향하여동시에각변위되도록하는제1구동유닛과, 지지유닛에결합되어손가락유닛들사이의배치각도를조절하는제2구동유닛과, 손가락유닛들각각은제1구동유닛에의해제1방향으로이동되는매개부재와, 매개부재의제1방향이동에대하여제2방향으로이동되어대상물을파지하는파지부재와, 매개부재의제1방향이동을파지부재의제2방향이동으로변환하는연결부재를포함하는것을특징으로한다.
-
公开(公告)号：KR1020160071571A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：KR1020140178642
申请日：2014-12-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/677
CPC classification number: B25J9/042 , B25J9/041 , H01L21/67742
Abstract: 본발명은기판반송유닛, 그를구비하는기판처리장치및 기판처리방법을개시한다. 그의유닛은, 기판을로딩하는복수개의블레이드들과, 상기블레이드들에결합되어상기블레이드들을이동하는암 부재를포함한다. 상기암 부재는하부링크와상기하부링크상의상부링크를포함하는제 1 암과, 상기상부링크상에배치되고, 상기블레이드들의사이에연결되는제 2 암을포함할수 있다. 제 2 암은상기블레이드들을평행한방향으로정렬하여상기블레이드들의회전면적을최소화할수 있다.
Abstract translation: 公开了一种基板转印单元，包括该基板转移单元的基板处理装置和基板处理方法。 基板转印单元包括：多个叶片装载基板; 以及连接到叶片并移动叶片的臂构件。 臂构件包括：第一臂，包括下连杆和下连杆上的上连杆; 以及布置在所述上连杆上并连接在所述叶片之间的第二臂。 第二臂将叶片布置成彼此平行，使得叶片的旋转区域可以最小化。 本发明提供一种能够最小化旋转面积的基板转印单元。
-
公开(公告)号：KR1020110090024A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：KR1020100009582
申请日：2010-02-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/677 , B65G49/06 , B25J9/06 , G02F1/13
CPC classification number: H01L21/67742 , B25J9/042 , B25J11/0095 , B65G49/061 , G02F1/1303 , H01L21/68707 , Y10S414/141
Abstract: PURPOSE: An LCD glass substrate transport apparatus is provided to reduce a number of required arm links for LCD glass substrate transport, thereby reducing required number of components and simplifying structure. CONSTITUTION: A hand part fixes and supports an LCD glass substrate. An arm link(140) is combined with the hand part in one end and forms a first joint. An up/down transport part(120) is combined with the other end of the arm link and forms a second joint. The up/down transport part transfers the arm link in vertical direction. An LED glass substrate transport apparatus includes an R rotating axis(110) rotating the up/down transport part by combining with the lower end of the up/down transport part. A straight movement of the LED glass substrate is embodied by assembling rotations of the R rotating axis and arm link.
Abstract translation: 目的：提供一种LCD玻璃基板输送装置，用于减少液晶玻璃基板输送所需的臂连杆数量，从而减少所需数量的部件并简化结构。 构成：手部固定并支持LCD玻璃基板。 臂连杆（140）在一端与手部组合并形成第一关节。 上下输送部件（120）与臂连杆的另一端组合并形成第二接头。 上下运输部件在垂直方向上传递臂连杆。 LED玻璃基板输送装置包括通过与上下输送部的下端结合而旋转上下输送部的R旋转轴（110）。 通过组装R旋转轴和臂连杆的旋转来实现LED玻璃基板的直线运动。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100008688A
公开(公告)日：2010-01-26
申请号：KR1020080069276
申请日：2008-07-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/687
Abstract: PURPOSE: A substrate transfer robot is provided to secure a short traveling distance without an additional traveling device by including a travelling controller. CONSTITUTION: A rotation frame(30) is rotatably mounted on a base and has a first rotation axis(71). A robot hand(60) is rotatably mounted on an arm frame(50). The robot hand is rotated with the rotation of the rotation frame. The robot hand has a second rotation axis(72). A first driving device(21) rotates the rotation frame around the first rotation axis. A second driving device(22) rotates the robot hand around the second rotation axis. A traveling controller(82) controls the first and second driving devices.
Abstract translation: 目的：提供一种基板传送机器人，通过包括一个行驶控制器，无需额外的行驶装置即可确保短的行驶距离。 构成：旋转框架（30）可旋转地安装在基座上并具有第一旋转轴线（71）。 机器人手（60）可旋转地安装在臂架（50）上。 机器人手随着旋转框架的旋转而旋转。 机器人手具有第二旋转轴线（72）。 第一驱动装置（21）围绕第一旋转轴旋转旋转框架。 第二驱动装置（22）围绕第二旋转轴旋转机器人手。 行驶控制器（82）控制第一和第二驱动装置。
-
-
公开(公告)号：KR1020150105846A
公开(公告)日：2015-09-18
申请号：KR1020140027896
申请日：2014-03-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/677 , B65G49/07
CPC classification number: B25J19/0091 , B25J11/0095 , B25J15/0014 , H01L21/67766 , H01L21/67742
Abstract: 본 발명은 로봇 및 그를 구비하는 기판 처리 장치를 개시한다. 로봇은, 본체와, 상기 본체에 연결된 암과, 상기 본체에 대향되는 암의 타측에 연결된 핸드 베이스와, 상기 핸드 베이스에 연결된 핑거를 구비한 핸드와, 상기 핸드 베이스와 상기 핑거 사이 또는 상기 핸드 베이스와 상기 암 사이에 배치되어 상기 핸드 베이스 또는 상기 핑거의 진동을 감쇠하는 진동 감쇄 부재를 구비한 핸드 브라켓 유닛을 포함한다.
Abstract translation: 在本发明中公开了一种机器人和包括该机器人的基板处理装置。 机器人包括一个身体; 连接到身体的手臂; 连接到面向身体的臂的另一侧的手基座; 手指包括连接到手基座的手指; 布置在手基座和手指之间或手基座和手臂之间的振动抵消构件以及手基座或手指的抵消振动。
-
公开(公告)号：KR1020130096072A
公开(公告)日：2013-08-29
申请号：KR1020120017602
申请日：2012-02-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , B25J9/04
CPC classification number: H01L21/67742 , Y10T74/20329 , B25J9/042 , B25J9/106 , B25J11/0095 , H01L21/68707 , Y10S414/141
Abstract: PURPOSE: A substrate transfer device is provided to maximize the transfer efficiency of a semiconductor substrate by freely transferring the semiconductor substrate located in several directions. CONSTITUTION: A first arm (10) rotates around a first rotary shaft. A first driving unit rotates the first arm. A second arm (20) rotates around a second rotary shaft arranged on the first arm. A second driving unit rotates the second arm. A third arm (30) rotates around a third rotary shaft arranged on the second arm. A third driving unit rotates the third arm. A fourth arm (40) rotates by being connected to the rotation of the third arm and rotates around a fourth rotary shaft arranged on the third arm.
Abstract translation: 目的：提供一种衬底转移装置，通过自由转移位于多个方向的半导体衬底来最大化半导体衬底的转移效率。 构成：第一臂（10）围绕第一旋转轴旋转。 第一驱动单元旋转第一臂。 第二臂（20）围绕布置在第一臂上的第二旋转轴旋转。 第二驱动单元旋转第二臂。 第三臂（30）围绕布置在第二臂上的第三旋转轴旋转。 第三驱动单元旋转第三臂。 第四臂（40）通过与第三臂的旋转相连而旋转，围绕布置在第三臂上的第四旋转轴旋转。
-
公开(公告)号：KR101198179B1
公开(公告)日：2012-11-16
申请号：KR1020050004327
申请日：2005-01-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B25J9/10
CPC classification number: B25J9/1638 , G05B2219/39176 , G05B2219/39469 , G05B2219/39486
Abstract: 본 발명은 핸들링 로봇의 정적 처짐 보정방법 및 장치에 관한 것으로, 대형 글래스를 핸들링하기 위한 엔드 이펙터의 동작 시 엔드 이펙터의 자중 또는 엔드 이펙터에 걸리는 하중에 의해 발생되는 정적 처짐을 최적으로 보정하는데 그 목적이 있다.
이를 위해 본 발명은, 핸들링 로봇의 정적 처짐을 보정하는 방법에 있어서, 글래스 핸들링을 위한 로봇 암의 관절부에 보상부재를 삽입하여 엔드 이펙터의 처짐 각도를 보정하는 제1단계와, 상기 엔드 이펙터의 글래스 이송 시 자중에 의해 발생되는 정적 처짐을 실시간으로 보정하는 제2단계로 구성된 것이다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.022 seconds)
