公开(公告)号：KR1020060036552A

公开(公告)日：2006-05-02

申请号：KR1020040085543

申请日：2004-10-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 황태하

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/304 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/68757

Abstract: 웨이퍼를 이송하기 위한 로봇 척에서, 한 쌍의 회전축이 수평 방향으로 평행하게 연장된다. 상기 회전축들에 각각 수직방향으로 연결되는 암들은 서로 마주하여 하방으로 평행하게 연장된다. 상기 암들의 하단부들에 각각 서로 마주하여 결합되는 파지부들은 상기 회전축들의 서로 반대 방향으로의 회전에 의해 웨이퍼를 파지 또는 해제한다. 상기 파지부들은 상기 웨이퍼를 수직 방향으로 파지하기 위하여 상기 웨이퍼의 플랫존(flat zone)에 대응하는 원주 길이보다 길게 수직 방향으로 형성되어 상기 웨이퍼의 주연 부위를 지지하는 내주면들을 각각 갖는다. 따라서, 상기 웨이퍼의 플랫존의 전 부분을 상기 파지부들에 수용하여 상기 파지부들에 파지되는 웨이퍼들의 위치를 균일하게 정렬시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR100634171B1

公开(公告)日：2006-10-16

申请号：KR1020040023419

申请日：2004-04-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 황태하

IPC: B65G49/07

Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 제조 공정에서 기판을 습식 세정하기 위한 웨트(Wet) 스테이션의 기판 이송 로봇에 관한 것으로, 본 발명은 평행하게 연장된 한 쌍의 회전축과, 상기 한 쌍의 회전축에 각각 결합되어 회전축의 회전에 의하여 펼쳐지거나 접혀지면서 다수의 기판들을 선택적으로 척킹하는 한 쌍의 척; 상기 한 쌍의 척에 설치되어 상기 기판들이 다운플로우되는 기류로부터의 영향을 최소화하기 위한 커버부를 포함하는 기판 이송 로봇을 제공한다.

公开(公告)号：KR1020050092573A

公开(公告)日：2005-09-22

申请号：KR1020040017666

申请日：2004-03-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남주현 ,  권병국 ,  황태하

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68 ,  H01L21/67389 ,  Y10S414/136

Abstract: 반도체 웨이퍼의 플랫존을 정렬하는 플랫존 정렬 장치 및 그를 포함하는 반도체 장비를 제공한다. 플랫존 정렬 장치는 카셋트의 하부에 배치되는 롤러, 롤러의 아래에 위치한 배기 수단 및, 카셋트의 상부에 배치된 분사 수단을 구비한다. 분사 수단은 소정의 기체를 분사한다. 이로써, 종래의 오염원들을 외부로 신속히 배출하여 웨이퍼의 오염을 최소화한다.

公开(公告)号：KR1020050098103A

公开(公告)日：2005-10-11

申请号：KR1020040023419

申请日：2004-04-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 황태하

IPC: B65G49/07

Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 제조 공정에서 기판을 습식 세정하기 위한 웨트(Wet) 스테이션의 기판 이송 로봇에 관한 것으로, 본 발명은 평행하게 연장된 한 쌍의 회전축과, 상기 한 쌍의 회전축에 각각 결합되어 회전축의 회전에 의하여 펼쳐지거나 접혀지면서 다수의 기판들을 선택적으로 척킹하는 한 쌍의 척; 상기 한 쌍의 척에 설치되어 상기 기판들이 다운플로우되는 기류로부터의 영향을 최소화하기 위한 커버부를 포함하는 기판 이송 로봇을 제공한다.

公开(公告)号：KR1020050075874A

公开(公告)日：2005-07-25

申请号：KR1020040003240

申请日：2004-01-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남주현 ,  이신열 ,  임현우 ,  황태하

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67046 ,  B08B3/12 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67778

Abstract: 구조가 단순하고 생산성이 향상된 스핀 스크러버 설비에 대하여 개시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스핀 스크러버 설비는 인덱스 암 유닛, 웨이퍼 반송 유닛, 3개의 웨이퍼 세정 유닛 및 유틸리티 기능을 하는 보조 유닛을 구비하는데, 웨이퍼 세정 유닛은 웨이퍼 트랜스퍼 로봇이 고정되어 있는 위치로부터 동일한 거리만큼 떨어져서 일측면 및 상하 방향에 위치하고 있으며, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇은 회전 동작 및 상하로 움직이는 동작만 가능하다.