Abstract:
본 발명은 사용후핵연료 파이로프로세싱공정에서 발생하는 용융염 내에 포함된 악티늄족원소군과 희토류원소군을 고온에서 비스무스 또는 비스무스-납 합금 액체금속을 사용하여 분리함으로써 건식분리공정에서 발생하는 최종폐기물의 방사성준위 및 열밀도를 낮추어 고준위페기물을 모두 중준위폐기물 또는 저준위폐기물로 정화하는 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 용융염 내에 포함된 악티늄족원소군과 희토류원소군은 전해제련으로부터 비스무스 또는 비스무스-납 합금 액체금속 내부로 환원 및 용해되어 비스무스 또는 비스무스-납 합금 액체금속 내에서 액체 또는 고체상태의 이종금속화합물을 형성하면서 동일 원소군 내의 원소들간의 평형전위가 근접하게 되어 원소별 분리를 어렵게 만들되, 그 이종금속화합물의 밀도가 비스무스 또는 비스무스-납 합금 액체금속보다 크거나 또는 작아서, 두 가지 원소족의 이종금속화합물을 밀도 차를 이용하여 분리하며 이를 위하여 여과기, 교반기, 원심분리기, 자기장발생기, 배관, 밸브가 포함된 장치를 구성할 수 있으며 이종금속화합물을 수거하고 남은 비스무스 또는 비스무스-납 합금 액체금속은 분리 후 자체 정화되어 전해전착에서 재사용될 수 있는 특징을 갖는다.
Abstract:
고에너지 방사선 시설에서 발생하는 고준위 폐기물을 중저준위 폐기물로 정화하는 방법이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 고에너지 방사선 시설에서 발생하는 고준위 폐기물을 중저준위 폐기물로 정화하는 방법은, 경수로, 중수로, 연구로, 고속로, 가속기 및 핵융합로를 포함하는 고에너지 방사선 시설 중 하나에서 발생하는 사용후핵연료에서 장수명 핵종을 분리하여 회수하는 건식분리공정(PyroProcess)에 추가하여, 상기 고에너지 방사선 시설의 고준위 방사성 폐기물인 피복 물질 및 집합체 구조물질(Hull)에 포함되어 있는 장수명 핵종과 지르코늄 금속을 제1 용융염 내에서 분리하는 공정을 2회 이상 반복 수행하는 다단계 향류 헐 전해정련 공정 단계; 상기 제1 용융염 내에서 분리된 장수명 핵종을 액체 금속의 내부로 환원시키는 정제 공정 단계; 상기 액체 금속의 내부로 환원된 장수명 핵종을 제2 용융염과 상기 액체 금속 간의 접촉 반응을 이용하여 회수하는 선택적 산화 공정 단계를 포함한다.
Abstract:
PURPOSE: A method for purifying high level waste from high energy radiation facility to middle level waste is provided to prevent environmental pollution. CONSTITUTION: In a multi-stage counter-current hull electrorefining process, nuclide and zirconium metal included in coating materials and hull are separated in a first molten salt two or more times. In a ternary salt purification process, the nuclide separated from the first molten salt is reduced to liquid metal. In a selective oxidation process, the nuclide reduced to the liquid metal is collected by using the contact reaction between a second molten salt and the liquid metal.
Abstract:
A method and a system for compressing and restoring mesh data capable of random access in a 3D mesh model are provided to improve accessibility to the 3D mesh model by schematically showing the 3D mesh model by using a wire mesh. A random access mesh data compression system(100) comprises a mesh data acquisition unit(110), a wire mesh generation part(120), a data construct generating unit(130), and an encoding unit(140). The mesh data acquisition part obtains mesh data from a 3D mesh model. By using the mesh data, the wire mesh generation part produces a wire mesh consisting of a plurality of wire cells. The data construct generating unit produces wire mesh information for the wire mesh and wire cell data including mesh data about each wire cell. The encoding unit compresses the generated wire mesh information and the wire cell data.
Abstract:
본 발명은 마이크로웨이브 파워(microwave power)에 대한 상황을 쉽게 알 수 있는 포토레지스트 애싱 장치에 관한 것이다. 본 발명의 포토레지스트 애싱 장치는 마이크로웨이브 제너레이터에서 발생된 마이크로웨이브 파워에 의한 플라즈마로 포토레지스트의 애싱을 수행하는 포토레지스트 애싱 장치에 있어서, 마이크로웨이브 제너레이터에 설치되어 제너레이터 구동을 제어하여 마이크로웨이브 파워의 출력값을 제어하는 교정 보드와, 마이크로웨이브 제너레이터의 마이크로웨이브 파워에 대한 실제 파워(real power)와 디스플레이 장치에서의 파워(display power)와 리플렉트 파워(reflect power)를 측정 및 산출하는 디스플레이 키트(kit)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 플라즈마 상태를 인가하기 위한 마이크로웨이브 의 실제 파워와 디스플레이 파워 및 리플렉트 파워에 대한 모니터링 및 출력값의 조정이 용이하게 이루어질 수 있다. 이에 의에 포워드 파워(Forward Power) 및 리플렉트 파워(Reflected Power)에 대한 확인이 용이하며 마이크로웨이브 파워 교정 작업이 용이하게 이루어질 수 있다. 애셔, 애싱(ashing), 포토레지스트, 제너레이터, 리플렉트 파워
Abstract:
PURPOSE: An ashing apparatus for semiconductor is provided to isolate an ultraviolet lamp from an influence of RF power and change stably process gas into plasma by covering the ultraviolet lamp with a screen having plural mesh patterns. CONSTITUTION: An ultraviolet lamp(40) is supported by a lamp holder(42) which is fixed on the predetermined portion of the sidewall of the plasma chamber(20). A power cable is projected to the outside of the plasma chamber(20). A fixing portion(44) is used for supporting and fixing the power cable. The ultraviolet lamp(40) is covered with a screen(46). A plurality of meshes are formed on the screen(46). The screen(46) is formed with a metallic material. An end portion of the screen(46) is fixed on the lamp holder(42) by using a combination portion(48). A size of the mesh is 0.8mm to 1.2mm.
Abstract:
3차원 메쉬 모델에서의 임의 접근 가능한 메쉬 데이터의 압축 및 복원 방법 및 시스템이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원 메쉬 모델에서의 임의 접근 가능한 메쉬 데이터의 압축 방법은 3차원 메쉬 모델로부터 메쉬 데이터를 획득하는 메쉬 데이터 획득부, 상기 메쉬 데이터를 이용하여 복수의 와이어 셀(Wire cell)로 구성되는 와이어 메쉬를 생성하는 와이어 메쉬 생성부, 상기 각 와이어 셀에 대한 메쉬 데이터를 포함하는 와이어 셀 데이터 및 상기 와이어 메쉬에 대한 와이어 메쉬 정보를 생성하는 데이터 구조 생성부, 및 상기 생성된 와이어 메쉬 정보와 상기 와이어 셀 데이터를 압축하는 인코딩부를 포함한다. 3차원 메쉬 모델, 와이어 메쉬, 와이어 셀, 임의 접근, 메쉬 압축, 메쉬 복원