그래핀 기판과 그 제조방법 및 그래핀 기판을 포함하는 트랜지스터
    1.
    发明公开
    그래핀 기판과 그 제조방법 및 그래핀 기판을 포함하는 트랜지스터 审中-实审
    石墨烯基板,其制造方法以及包含石墨烯基板的晶体管

    公开(公告)号:KR1020170130784A

    公开(公告)日:2017-11-29

    申请号:KR1020160061422

    申请日:2016-05-19

    Abstract: 그래핀층이형성되는기판을점착력(adhesion force)이큰 물질을사용하여, 그래핀층상에형성되는유전체층을균일하게형성할수 있는그래핀기판과그 제조방법및 그래핀기판을포함하는트랜지스터가개시된다. 개시된그래핀기판은 0.08nN/nm 이상의점착력(adhesion force)을갖는기판, 상기기판에구비된그래핀층및 상기그래핀층에구비된유전체층;을포함하며, 상기기판의점착력은실리콘팁(Si tip)을이용하여측정된다.

    Abstract translation: 包括其上形成有石墨烯层的基板的石墨烯基板的晶体管可以由使用具有粘附力的材料在石墨烯层上形成的介电层均匀地形成,其制造方法和石墨烯基板。 所公开的石墨烯衬底包括具有0.08nN / nm或更大的粘附力的衬底,设置在衬底上的石墨烯层和设置在石墨烯层上的介电层, 它是通过使用所测量的。

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