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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101894915B1
公开(公告)日：2018-09-05
申请号：KR1020120026670
申请日：2012-03-15
Abstract: 외부에서발생한가스로인하여불필요하게가스공급이차단되어, 반도체공정설비에가스공급이중단되는것을방지하기위해, 유해가스가가스공급장치내부로유입되는것을방지할수 있는가스공급장치를제공하는것이다. 상기가스공급장치는캐비닛, 상기캐비닛의내부에설치되고, 공정가스의흐름을조절할수 있는조절장치, 상기캐비닛의내부에설치되고, 상기공정가스의누출여부를감지할수 있는센서, 상기캐비닛의적어도일면에형성되어, 외부공기가인입되는통기구, 및상기통기부와접촉하여설치되고, 상기외부공기의유해가스성분을필터링하는처리필터를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020130104804A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：KR1020120026670
申请日：2012-03-15
IPC: H01L21/02
Abstract: PURPOSE: A gas supply apparatus is provided to prevent a gas supply from being interrupted in semiconductor processing equipment by preventing the inflow of a harmful gas. CONSTITUTION: A control device (120) is installed in a cavity (100) and controls the inflow of a processing gas. A sensor (140) senses the leakage of the processing gas. A ventilation hole (110) is formed on one side of a cabinet. A processing filter (200) filters the harmful gas elements of external gas which is inputted through the ventilation hole. The processing filter is arranged between a guide rail (150) and one side of the cabinet.
Abstract translation: 目的：提供一种气体供应装置，以防止气体供应在半导体加工设备中被阻止有害气体的流入。 构成：将控制装置（120）安装在空腔（100）中并控制处理气体的流入。 传感器（140）感测处理气体的泄漏。 在机柜的一侧形成通气孔（110）。 处理过滤器（200）对通过通气孔输入的外部气体的有害气体进行过滤。 处理过滤器布置在导轨（150）和机柜的一侧之间。
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公开(公告)号：KR102251523B1
公开(公告)日：2021-05-13
申请号：KR1020200132221
申请日：2020-10-13
Abstract: 본발명은전면과후면이철망으로구성된카트리지에유해가스처리용흡착제를진동다짐으로충진하는과정에서철망의배부름이방지되고또한흡착제투입구를갖는상판이커버로덮이면상기투입구쪽흡착제들이격판을통하여구획되도록함으로써, 카트리지의운반및 보관시흡착제의다짐및 침하로인하여투입구쪽에공간이발생되더라도가스가흡착제를충분히통과할수 있는경로를제공하는흡착제카트리지에관한것이다. 이를위하여본 발명은한쌍의측판과상기측판의하단및 상단에결합되는밑판및 상판으로카트리지틀체가만들어지고, 상기틀체의전면및 후면에는철망을갖는보호테두리가결합되며, 상기보호테두리는상기철망을사이에두고서로대응되는다수의외부보강대및 내부보강대를통하여상기철망의처짐을억제하고, 상기상판에는흡착제를카트리지로투입하기위한투입구가형성되며, 상기상판위쪽에는상기투입구를막는커버가결합된흡착제카트리지에있어서, 상기보호테두리는외주면이 "ㄱ"자로꺽여서상기철망의외주면을감싸는절곡부로구성되고, 상기절곡부가상기측판, 밑판및 상판의외주면으로끼워들어간상태에서상기보호테두리는상기측판, 밑판및 상판에리벳으로고정되며; 상기외부보강대및 내부보강대는수평및 수직으로교차되고, 수평으로놓인내부보강대및 외부보강대에는관통구멍이각각천공된상태에서이들관통구멍으로끼워지는연결축이구비되고; 상기연결축은한쪽이카트리지의전면에놓인외부보강대에걸리는머리부가형성되고, 반대쪽은카트리지의후면에놓인외부보강대를관통하는볼트부에너트부가체결되어서상기연결축은제자리회전가능한상태에놓임과동시에카트리지전면및 후면의철망들배부름이억제되도록한 특징이있다.
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公开(公告)号：KR1020130115858A
公开(公告)日：2013-10-22
申请号：KR1020120038588
申请日：2012-04-13
Applicant: 코아텍주식회사
CPC classification number: Y02A50/235 , B01D53/34 , B01D53/74 , B01D53/76 , B01D53/86 , B01D2257/708
Abstract: PURPOSE: An exhaust gas disposal system of an organic exhaust line is provided to remove volatile organic compound emitted through the organic exhaust line which is installed in industrial field and rooftop of semiconductor workplace. CONSTITUTION: An exhaust gas disposal system of an organic exhaust line comprises a volatile organic compound inlet port (12); an ozone injecting hole (13); a medicine filter (18) positioned at the upper part of the ozone injecting hole; and an air outlet. The volatile organic compound inlet port is connected to the organic exhaust line. The ozone injecting hole is formed at one lateral side of the volatile organic compound inlet port. The medicine for decomposing ozonide generated in the reaction with ozone, ozone remained after the reaction with ozone, and remaining volatile organic compound is filled in a medicine filter. Ozone injected into the ozone injecting hole is supplied from an ozone generating apparatus which is separately installed to a pipe.
Abstract translation: 目的：提供有机排气管线的废气处理系统，以去除安装在半导体工作场所的工业现场和屋顶的有机排气管线排出的挥发性有机化合物。 构成：有机排气管线的废气处理系统包括挥发性有机化合物入口（12）; 臭氧喷射孔（13）; 位于所述臭氧喷射孔的上部的药剂过滤器（18） 和一个出风口。 挥发性有机化合物入口连接到有机排气管。 臭氧注入孔形成在挥发性有机化合物入口的一个侧面。 在与臭氧反应中产生的分解臭氧化物的药物与臭氧反应后残留臭氧，剩余的挥发性有机化合物填充在药物过滤器中。 注入臭氧注入孔的臭氧从分开安装在管道上的臭氧发生装置供给。
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公开(公告)号：KR101392806B1
公开(公告)日：2014-05-12
申请号：KR1020120038588
申请日：2012-04-13
Applicant: 코아텍주식회사
CPC classification number: Y02A50/235
Abstract: 본 발명은 산업현장 및 반도체 사업장 옥상에 설치되는 유기배기라인에서 배출되고 있는 휘발성 유기화합물을 분해 처리하기 위한 시스템으로, 휘발성 유기화합물은 탄화수소, 산소함유계 탄화수소, 유황함유계 탄화수소 및 휘발성 탄화수소류를 총칭하는 것으로 VOCs를 제거하기 위하여 외부에 오존발생장치를 이용하여 오존을 주입하여 무해한 물질로 반응시켜 제거하고, 반응과정에서 생성되는 오존나이드(Ozonide)를 촉매물질을 포함한 접촉증대 약제필터를 통과시켜 분해 제거하기 위한 유기배기라인의 배출가스 처리시스템에 관한 것이다.
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