Abstract:
본 발명은 화학식 1로 표시되는 기공형성제와 폴리 알킬실세스퀴옥산 공중합체를 매트릭스로하는 혼합용액의 비율을 최적화하고, 여기에 열처리 중에 자외선 경화를 하는 초저유전막의 제조방법 및 이에 의한 초저유전막에 관한 것이다. 본 발명에 의한 초저유전막은 1~3nm의 기공이 10~30%로 균일하게 분포되고, 2.12~2.4의 낮은 유전율에 10.5~19GPa의 매우 높은 기계적 탄성율을 달성하므로 현재 사용되는 SiO2 유전막을 대체하여 차세대 반도체의 층간절연막으로 사용할 수 있다.
Abstract:
고온 오존처리를 포함하는 나노기공 초저유전 박막의 제조 방법 및 이에 의하여 제조된 나노기공 초저유전 박막이 제공되며, 상기 제조 방법은 유기 실리케이트 매트릭스-함유 용액과 반응성 포라젠-함유 용액을 혼합하여 혼합용액을 준비하고; 상기 혼합용액을 기재 상에 도포하여 박막을 형성하고; 상기 박막을 열처리하며, 상기 열처리 과정 중에 오존 처리를 수행하는 것:을 포함하며, 이러한 제조 방법에 의하여 제조된 나노기공 초저유전 박막은, 고온의 오존 처리 및 처리온도의 최적화에 따른 박막 내의 기공의 크기와 분포도의 개선을 통해 2.3 이하의 유전율과 10 GPa 이상의 기계적 강도를 가질 수 있다.
Abstract:
본 발명은 인산기를 가지는 실세스퀴옥산을 이용한 양성자 전도성 고분자 나노 복합막에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 화학적으로 결합된 인산기를 가지는 케이지 구조의 실세스퀴옥산과 불소계 양성자 전도성 폴리머가 혼합되어 있어서 양성자 전도도가 우수하고 기계적 물성이 현저하게 개선된 양성자 전도성 고분자 나노복합막에 관한 것이다.
Abstract:
PURPOSE: A proton-conducting polymer nanocomposite film has excellent proton conductivity even at high temperatures and has excellent mechanical strength superior than conventional PEMFC fluorine-based polymer film. CONSTITUTION: A proton-conducting polymer nanocomposite film is that a sulfonate group-introduced silsesquioxane is mixed to a proton-conducting polymer substrate. A manufacturing method of the proton-conducting polymer nanocomposite film comprises a step of dissolving a fluorine-based proton-conducting polymer substrate into a solvent; a step of dissolving a sulfonate-introduced silsesquioxane into a solvent; a step of mixing the fluorine-based polymer substrate solution and the silsesquioxane solution; a step of ultrasonic waves-treating the mixed solution and dispersing silsesquioxane in the fluorine-based polymer; and a step of carrying out a casting in a vacuum oven and removing residues. [Reference numerals] (AA) Example 2; (BB) Example 1; (CC) Comparative example
Abstract:
PURPOSE: A polymer electrolyte is provided to increase long time stability, chemical durability, and physical strength thereby satisfying high stability and high battery properties during the operation of a fuel cell. CONSTITUTION: A polymer electrolyte comprises a hydrocarbon based proton-conducting polymer having a pendant chain including chemically combined phosphate group. The manufacturing method of the polymer electrolyte comprises: a step of obtaining a mixture including the hydrocarbon based proton-conducting polymer, a linker compound, a phosphoric acid source compound, and a transition metal-containing catalyst; and a step of obtaining the hydrocarbon based proton-conducting polymer having a pendant chain including chemically combined phosphate group by reacting the mixture in a microwave reactor.
Abstract:
A blended polymer electrolyte membrane is provided to ensure excellent hydrogen ion conductivity, electrochemical characteristic, mechanical property and thermal stability, and to reduce interfacial resistance when a membrane and an electrode are welded. A blended polymer electrolyte membrane comprises a polymer consisting of an inorganic polymer; and a proton conductive polymer having cation exchange groups at a side chain. The inorganic polymer has a pore structure of 3-aminopropyltriethylsilane and tetraethylorthosilicate at both terminals and a main chain bonded with the phosphoric acid is polydimethyl siloxane.