Abstract:
직선으로 유도된 크랙 함유 전도성 박막을 구비하는 고감도 센서가 제공된다. 상기 고감도 센서는 지지체 상에 형성된 전도성 박막에 직선으로 유도된 미세 크랙을 형성하여 얻어지며, 상기 미세 크랙이 형성하는 미세 접합구조에서의 변화, 단락 또는 개방에 의한 전기적 저항변화의 측정으로 외부의 인장 및 압력을 측정하는 센서에 관한 것으로, 이와 같은 고감도 전도성 크랙 센서는 정밀도가 높은 계측, 또는 인공 피부에 적용이 가능하며, 상기 센서를 픽셀화하여 포지셔닝 디텍팅 센서로도 활용 가능하여, 정밀 계측 분야, 인체 피부 등을 통한 생체 측정 디바이스, 사람의 모션의 측정 센서, 디스플레이 패널 센서 등의 분야에서 유용하게 사용할 수 있다.
Abstract:
크랙 함유 고감도 센서가 제공된다. 상기 고감도 센서는 지지체 상에 형성된 전도성 박막에 미세 크랙을 형성하여 얻어지며, 상기 미세 크랙이 형성하는 미세 접합구조에서 이들이 전기적으로 단락 또는 개방됨에 따라 저항값의 변화가 발생하여 외부 자극을 전기적 신호로 변환하게 된다. 이와 같은 고감도 센서는 압력센서, 진동센서, 인공 피부, 음성인식 시스템 등에 유용하게 사용할 수 있다.
Abstract:
크랙 함유 고감도 센서가 제공된다. 상기 고감도 센서는 지지체 상에 형성된 전도성 박막에 미세 크랙을 형성하여 얻어지며, 상기 미세 크랙이 형성하는 미세 접합구조에서 이들이 전기적으로 변화, 단락 또는 개방됨에 따라 저항값의 변화가 발생하여 외부 자극을 전기적 신호로 변환하게 된다. 이와 같은 고감도 센서는 변위센서, 압력센서, 진동센서, 인공 피부, 음성인식 시스템 등에 유용하게 사용할 수 있다.
Abstract:
나노스케일의 구조물을 통해 전극을 연결하여 저항의 발생을 최소화시킴으로써 전기 효율을 극대화시킨 가역적 전기커넥터와, 이러한 전기커넥터 구조를 통해 작은 압력과 힘에도 미세하게 반응하며 작은 변화에도 크게 반응하는 민감도를 제공하는 다기능 센서가 개시된다. 이를 위하여 제 1 기판 상에 형성된 제 1 미세섬모를 가지는 제 1 연결부재, 및 상기 제 1 미세섬모에 접촉하여 접착력을 나타내도록 제 2 기판 상에 형성된 제 2 미세섬모를 가지는 제 2 연결부재를 포함하며, 상기 제 1 미세섬모 및 제 2 미세섬모의 표면에 금속 박막이 형성된 것을 특징으로 하는 미세섬모의 인터락킹을 이용한 가역적 전기커넥터를 제공한다. 이에 따르면, 본 발명의 가역적 전기커넥터는 전기적 연결을 하는데 있어 유연성을 가지고, 종전의 전기커넥터에 비해 낮은 전기 저항을 갖는다. 또한, 본 발명의 다기능 센서는 작은 압력과 힘도 계측할 수 있으며, 측정할 수 있는 압력과 힘의 범위에서 작은 변화에도 크게 반응하는 민감도를 갖는다.
Abstract:
PURPOSE: A reversible electrical connector using interlocking of fine cilia, a multifunctional sensor using the electrical connector, and a method for manufacturing the multifunctional sensor are provided to supply flexibility and lower electrical resistance during electrical connection. CONSTITUTION: A first connection member includes a first fine cilium(122) formed on a first substrate(110). A second connection member contacts the first fine cilium. The second connection member includes a second fine cilium(222) formed on a second substrate(210). Metal films(124,224) are formed on surfaces of the first and second fine cilia and surfaces of the first and second substrates.