公开(公告)号：WO2021133112A1

公开(公告)日：2021-07-01

申请号：PCT/KR2020/019126

申请日：2020-12-24

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 전헌수 ,  강민수

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20

Abstract: 본 발명은, 서로 다른 제1 파장의 광 및 제2 파장의 광을 방출하는 광원과, 상기 광원으로부터 입사된 광을 반사시키며 2차원 배열된 마이크로 미러들을 포함하는 동적 마스크와, 상기 동적 마스크로부터 반사된 광이 결상되며, 상기 제1 파장의 광에 대하여는 광화학 반응을 일으키지 않고 상기 제2 파장의 광에 대하여는 광화학 반응을 일으키는 감광액이 도포된 기판과, 상기 기판이 장착되며 상하 이동 가능한 스테이지와, 상기 기판 상의 감광액 면에 결상된 이미지를 표시하는 촬상부를 포함하고, 상기 제1 파장의 광이 상기 감광액 면에 결상된 이미지는, 상기 스테이지를 상하 이동하면서 상기 동적 마스크로부터 상기 기판까지의 경로를 포함하는 광학계의 초점을 맞추기 위해 이용되고, 상기 제2 파장의 광은, 상기 동적 마스크에 반사되어 상기 감광액 면에 노광됨으로써 포토리소그래피를 수행하는 데 이용되는, 포토리소그래피를 수행하기 위한 광학시스템을 제공한다.

公开(公告)号：KR101130172B1

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：KR1020090076906

申请日：2009-08-19

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 이병호 ,  강민수 ,  박정현 ,  이일민

IPC: G02B6/26 ,  G02B6/12

Abstract: 유전체 슬라브형 플라즈모닉 광 연결 장치가 개시된다.
유전체 슬라브형 플라즈모닉 광 연결 장치는 서로 이격되어 있는 두 개의 플라즈모닉 소자 사이에 표면 플라즈몬 폴라리톤 광 신호를 전달하는 장치이다. 이 장치는 두 개의 플라즈모닉 소자에 대한 표면 플라즈몬 폴라리톤 광 신호의 입출력 단자로 각각 동작하는 두 개의 플라즈모닉 도파로를 포함한다. 또한, 두 개의 플라즈모닉 도파로 사이에 위치하며, 전반사를 이용하여 광 신호를 전달하는 광 도파로로써, 두 개의 플라즈모닉 도파로 사이에 전달되는 표면 플라즈몬 폴라리톤 광 신호를 광파 모드 형태의 광 신호로 변환하여 두 개의 플라즈모닉 도파로 사이에 전달하는 유전체 슬라브 광 도파로를 포함한다.
플라즈모닉 도파로, 플라즈몬, 표면 플라즈몬 폴라리톤, SPP

公开(公告)号：KR1020110004236A

公开(公告)日：2011-01-13

申请号：KR1020090076906

申请日：2009-08-19

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 이병호 ,  강민수 ,  박정현 ,  이일민

IPC: G02B6/26 ,  G02B6/12

Abstract: PURPOSE: A dielectric slab type plasmonic optical-connection apparatus is provided to efficiently transfer an optical signal regardless of the distance between two plasmonic waveguides using the optical wave mode of a dielectric slab. CONSTITUTION: Two plasmonic waveguides(100, 400) function as the input-output terminal of a surface plasmon polariton optical signal with respect to two plasmonic elements. A dielectric slab type optical waveguide(200) is located between two plasmonic waveguides. The surface plasmon polariton optical signal is converted into an optical signal in an optical mode. The converted optical signal is transferred between two plasmonic waveguides.

Abstract translation: 目的：提供一种电介质平板型等离子体激元光学连接装置，以有效地传输光信号，而不管使用介质板的光波模式的两个等离子体波导之间的距离。 构成：两个等离子体波导（100,400）用作表面等离子体激元光信号相对于两个等离子体元素的输入 - 输出端子。 电介质板型光波导（200）位于两个等离子体激元波导之间。 表面等离子体激元光信号以光学模式转换为光信号。 转换的光信号在两个等离子体激元波导之间传输。