公开(公告)号：KR101878848B1

公开(公告)日：2018-07-16

申请号：KR1020160159881

申请日：2016-11-29

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 박병국 ,  권대웅 ,  이륭빈 ,  김시현

IPC: G01N27/414 ,  H01L29/772

Abstract: 본발명은다층절연막을갖는전계효과트랜지스터기반의바이오센서및 그제조방법에관한것으로, 감지소자의감지절연막과구동소자의다층절연막을동일공정으로형성하고, 감지영역내의보호막과층간절연막, 그리고블로킹산화막/질화막을순차식각함으로써, 열산화막과같은고순도절연막으로감지절연막을얻게되어종래다공성산화막의문제점을해소하고, 감지소자의액티브영역인실리콘나노선뿐만아니라감지절연막의물리적손상을줄일수 있게되었고, 구동소자의다층절연막중 전하저장층으로전자나정공주입을함으로써, 문턱전압을조절로바이오센서의감도를높일수 있는효과가있다.

公开(公告)号：KR1020180060419A

公开(公告)日：2018-06-07

申请号：KR1020160159881

申请日：2016-11-29

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 박병국 ,  권대웅 ,  이륭빈 ,  김시현

IPC: G01N27/414 ,  H01L29/772

CPC classification number: G01N27/4146 ,  H01L29/4925 ,  H01L29/772

Abstract: 본발명은다층절연막을갖는전계효과트랜지스터기반의바이오센서및 그제조방법에관한것으로, 감지소자의감지절연막과구동소자의다층절연막을동일공정으로형성하고, 감지영역내의보호막과층간절연막, 그리고블로킹산화막/질화막을순차식각함으로써, 열산화막과같은고순도절연막으로감지절연막을얻게되어종래다공성산화막의문제점을해소하고, 감지소자의액티브영역인실리콘나노선뿐만아니라감지절연막의물리적손상을줄일수 있게되었고, 구동소자의다층절연막중 전하저장층으로전자나정공주입을함으로써, 문턱전압을조절로바이오센서의감도를높일수 있는효과가있다.