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公开(公告)号:WO2020263006A1
公开(公告)日:2020-12-30
申请号:PCT/KR2020/008333
申请日:2020-06-26
Applicant: 엘지디스플레이 주식회사 , 서울대학교산학협력단
IPC: G01N27/12 , G01N27/407 , B82B3/00 , G01N33/00
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 상온 구동형 가스 센서는 기판, 기판 상에 배치되고 니오븀 이황화물(NbS 2 ) 박막을 포함하는 가스 감지층 및 가스 감지층 상에 배치되는 전극을 포함하고, 선택적으로 니오븀 이황화물 박막 상에 증착된 금속 나노 입자를 더 포함하며, 상온에서 가스에 대한 감도가 우수하고, 가역적으로 사용 가능한 상온 구동형 가스 센서, 이의 제조방법 및 가스 센서 어레이를 제공한다.
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公开(公告)号:KR102143058B1
公开(公告)日:2020-08-11
申请号:KR1020180045761
申请日:2018-04-19
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/027 , H01L21/324 , G03F7/20 , H01L29/16
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公开(公告)号:KR101694529B1
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:KR1020150067279
申请日:2015-05-14
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N27/26 , G01N27/406 , C01B31/04
Abstract: 본발명은플렉서블그래핀투명가스센서및 이의제조방법에관한것으로, 막대형상의한쌍의그래핀이평형하게구비되되, 상기한쌍의그래핀장축중앙에그래핀이형성되어상기평형하게구비되는한쌍의그래핀을연결하는것을특징으로하는플렉서블그래핀투명가스센서및 이의제조방법에관한것이다.
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公开(公告)号:KR1020160134975A
公开(公告)日:2016-11-24
申请号:KR1020150067279
申请日:2015-05-14
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N27/26 , G01N27/406 , C01B31/04
Abstract: 본발명은플렉서블그래핀투명가스센서및 이의제조방법에관한것으로, 막대형상의한쌍의그래핀이평형하게구비되되, 상기한쌍의그래핀장축중앙에그래핀이형성되어상기평형하게구비되는한쌍의그래핀을연결하는것을특징으로하는플렉서블그래핀투명가스센서및 이의제조방법에관한것이다.
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