Abstract:
3개의 앵커노드(anchor node)의 위치정보를 이용하여 기하학적 접근을 통해 추가적인 하드웨어 필요 없이 타겟노드의 3차원 위치 추정을 효과적으로 할 수 있는 기술을 개시한다. 3개의 앵커노드와 타겟노드 간의 3개의 추정거리와, 3개의 앵커노드들 서로 간의 거리로 형성되는 사면체의 부피와 밑면의 넓이를 계산하여 그 사면체의 높이를 산출한다. 추정 거리를 3개의 앵커노드가 형성하는 평면 H위로 투영한 투영 추정거리와, 3개의 앵커노드의 상기 평면 H의 제2 좌표계상으로 변환된 좌표값을 구한 다음 그것을 이용하여 삼변측량법을 수행하여 타겟노드의 평면 H상의 투영된 추정 위치를 산출한다. 그 좌표값을 제1 좌표계상의 좌표값으로 변환한 다음, 사면체의 높이를 반영하여 타겟노드의 3차원 추정 위치의 좌표값을 얻는다. 필요한 앵커노드의 수 및 측위 시스템의 복잡도를 낮추고 측위 정보의 계산을 크게 단순화시키고 정확도는 높일 수 있다.
Abstract:
본 발명은 환자-맞춤형 정합 가이드 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, 마커(marker)를 갖는 정합 가이드를 환자의 뼈의 형상에 따라 제작하여, 절삭 대상인 뼈의 해당 부위에 부착함으로써, 뼈의 좌표와 수술용 로봇의 좌표를 정합시키는 과정을 신속하게 수행할 수 있는 환자-맞춤형 정합 가이드 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 환자-맞춤형 정합 가이드 시스템은, 수술용 로봇; 수술 대상 뼈의 3차원 형상에 관한 데이터를 획득하는 영상 장치; 및 상기 영상 장치에서 획득한 뼈의 3차원 형상에 따라, 마커를 갖는 정합 가이드를 제조하는 가이드 제조 장치를 포함하며, 상기 정합 가이드의 제작 시 획득된 가이드의 마커가 부착되는 뼈의 좌표와 상기 마커의 좌표의 관계 정보가 상기 수술용 로봇에 미리 입력되고, 상기 수술용 로봇의 좌표와 상기 마커의 좌표의 관계 정보를 측정을 통해 도출함으로써, 상기 수술용 로봇이 상기 수술용 로봇의 좌표와 마커의 좌표를 정합한다.
Abstract:
PURPOSE: A cleaning solution for cleaning process after copper chemical mechanical polishing is provided to improve removal power of foreign materials remaining on the surface of a substrate after chemical mechanical polishing of copper wires. CONSTITUTION: A cleaning solution for cleaning process after copper chemical mechanical polishing comprises citric acid, 5-aminotetrazole and pH modifier consisting of basic compounds. The concentration of the citric acid is 0.0005-0.01 M. The concentration of 5- aminotetrazole is 0.0005-0.03 M. The basic compound is at least one kind selected from the group consisting of potassium hydroxide, tetramethyl ammonium hydroxide, and sodium hydroxide.
Abstract:
PURPOSE: A cleaning solution for cleaning process after copper chemical mechanical polishing is provided to improve manufacture yield of semiconductor device and removal strength. CONSTITUTION: A cleaning solution for cleaning process after copper chemical mechanical polishing comprises ethylenediaminetetraacetate, 5-aminotetrazole, and a pH adjusting agent consisting of a basic compound. The concentration of the ethylenediaminetetraacetate is 0.006-0.3 M. The concentration of 5- aminotetrazole is 0.001-0.15 M. The basic compound is one or more selected from potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, and sodium hydroxide. The washing solution additionally includes one or more components selected from tetramethylammonium hydroxide, RE610, and alcohol ether sulfate.
Abstract:
PURPOSE: A slurry composition for chemical mechanical polishing is provided to enable the application to various patterns required for an ultra-integrated semiconductor process and to improve a polishing rate and polishing selectivity. CONSTITUTION: A slurry composition for chemical mechanical polishing includes: at least one abrasive with a solid content of 0.5-10 weight%, selected from the group consisting of ceria, alumina, silica, titania and zirconia; and a complexing agent having a carboxy group or amino group. The slurry composition further includes oxidants or anticorrosive agents.
Abstract:
멀티-레벨 해싱을 이용한 공간 분할 시스템 및 방법을 개시한다. 공간 분할 시스템은 레벨마다 입력되는 데이터를 균일하게 세분하는 데이터 분할부, 레벨마다 세분된 데이터 중 넌-리프 데이터가 존재하는지 확인하는 넌-리프 데이터 확인부, 레벨마다 세분된 데이터 중에 상기 넌-리프 데이터가 존재하는 경우, 세분된 데이터 각각의 상기 입력되는 데이터에 대한 위치값 및 해시 함수에 기초하여 해시 테이블에 대한 위치값을 계산하여 해시 테이블을 생성하는 해시 테이블 생성부 및 레벨마다 생성되는 상기 해시 테이블을 저장하는 저장부를 포함한다. 이때, 하나의 레벨에서 생성된 해시 테이블은 다음 레벨에서 상기 입력되는 데이터로서 상기 데이터 분할부로 입력된다. 옥트리(octree), 쿼드트리(quadtree), 해시(hash), 공간 분할
Abstract:
The present invention relates to a patient-specific matching guide system and a method thereof, more specifically, a patient-specific matching guide system and method thereof for rapidly matching coordinates on bones and coordinates on a surgical robot by producing the matching guide with a marker by the shape of bones on a patient, and attaching the matching guide to the corresponding area of the bones. The patient-specific matching guide system by an embodiment of the present invention comprises: the surgical robot; an image device for obtaining data related to a three-dimensional shape of bones for surgery; and a guide producing device producing the matching guide with the marker by the three-dimensional shape of bones obtained by the image device. Relation information of coordinates of bones for attaching the marker of the guide and coordinates of the maker is previously inputted to the surgical robot for producing the matching guide, and relation information of the coordinates of the marker and the coordinates of the surgical robot is obtained by measuring to match the coordinates of the marker and the coordinates of the surgical robot.
Abstract:
PURPOSE: A slurry composition is provided to have excellent dispersion stability and polishing ratio in chemical mechanical polishing process, especially in copper CMP, and to improve polishing rate, polishing selectivity ratio, etc. CONSTITUTION: A slurry composition comprises: abrasive selected from a group consisting of ceria, alumina, silica, titania and zirconia and of which solid content is 0.5-10 weight%; a complexing agent having a carboxy group and amino group at the same time, and a corrosion inhibitor comprising an azole group. The complexing agent comprises one or more selected from serine, arginine, glutamine, and salts thereof and has a pH of 6-8. The corrosion inhibitor comprises 5-aminotetrazole or benzotriazoles.
Abstract:
3개의 앵커노드(anchor node)의 위치정보를 이용하여 기하학적 접근을 통해 추가적인 하드웨어 필요 없이 타겟노드의 3차원 위치 추정을 효과적으로 할 수 있는 기술을 개시한다. 3개의 앵커노드와 타겟노드 간의 3개의 추정거리( )와, 3개의 앵커노드들 서로 간의 거리( )로 형성되는 사면체의 부피( )와 밑면의 넓이( )를 계산하여 그 사면체의 높이( )를 산출한다. 추정 거리( )를 3개의 앵커노드가 형성하는 평면 H위로 투영한 투영 추정거리( )와, 3개의 앵커노드의 상기 평면 H의 제2 좌표계상으로 변환된 좌표값을 구한 다음 그것을 이용하여 삼변측량법을 수행하여 타겟노드의 평면 H상의 투영된 추정 위치( )를 산출한다. 그 좌표값( )을 제1 좌표계상의 좌표값( )으로 변환한 다음, 사면체의 높이( )를 반영하여 타겟노드의 3차원 추정 위치의 좌표값( )을 얻는다. 필요한 앵커노드의 수 및 측위 시스템의 복잡도를 낮추고 측위 정보의 계산을 크게 단순화시키고 정확도는 높일 수 있다.