公开(公告)号：KR101063763B1

公开(公告)日：2011-09-08

申请号：KR1020090005335

申请日：2009-01-22

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 박영준 ,  김일욱

IPC: H05H1/34 ,  H05H1/30 ,  H05H1/24 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H05H1/46 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3211 ,  H01Q1/366 ,  H01Q7/00

Abstract: 일 실시 예에 따른 유도 결합형 플라즈마 발생용 안테나는 RF 전원과 연결되는 제1단, 접지단과 연결되는 제2단 및 상기 제1단 및 제2단과 연결되고 상기 RF 전원의 인가에 의해 유도 전기장을 생성하는 안테나 코일을 구비한다. 상기 안테나 코일은 적어도 하나의 서브 코일 유닛을 포함한다. 상기 적어도 하나의 서브 코일 유닛은 상기 인가되는 RF 전원에 응답하여 상기 안테나 코일과 인접한 영역에 국부적인 자기장을 생성한다.

Abstract translation: 根据所连接的第一端部，该接地连接端和所述第一端部和连接到所述RF功率源和感应电场由于RF功率的所述应用程序的第二端的第二端的感应耦合等离子体产生用天线的一个实施例 和用于产生天线线圈的天线线圈。 天线线圈包括至少一个子线圈单元。 响应于施加的RF功率，该至少一个子线圈单元在与天线线圈相邻的区域中产生局部磁场。

公开(公告)号：KR1020100086138A

公开(公告)日：2010-07-30

申请号：KR1020090005335

申请日：2009-01-22

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 박영준 ,  김일욱

IPC: H05H1/34 ,  H05H1/30 ,  H05H1/24 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H05H1/46 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3211 ,  H01Q1/366 ,  H01Q7/00

Abstract: PURPOSE: By including one or more sub antenna coil and being created the magnetic field in the domain which is contiguous to the antenna coil part the antenna for the inductively coupled plasma generation and plasma generating device including the same can be created the magnetic field it locals. CONSTITUTION: The first step is connected to the RF power(720). The second end is connected to GND. The antenna coil part(740) is connected to the first step and the second end. It is applied the electricity of the RF power and the antenna coil part is created the inductive electric field. The antenna coil part comprises one or more sub coil unit(746) created the magnetic field in response to the electricity of the RF power in the domain which is contiguous to the antenna coil part.

Abstract translation: 目的：通过包括一个或多个副天线线圈并在与天线线圈部分相邻的区域中产生磁场，可以产生用于包括该天线线圈部分的感应耦合等离子体产生和等离子体产生装置的天线，其本地磁场 。 规定：第一步连接到射频电源（720）。 第二端连接到GND。 天线线圈部分（740）连接到第一台阶和第二端。 应用射频功率的电力，天线线圈部分产生感应电场。 天线线圈部分包括响应于与天线线圈部分相邻的区域中的RF功率的电而产生磁场的一个或多个子线圈单元（746）。