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公开(公告)号:KR1020110098441A
公开(公告)日:2011-09-01
申请号:KR1020100018072
申请日:2010-02-26
Applicant: 삼성전자주식회사 , 서울대학교산학협력단
IPC: H01L29/772 , H01L21/335
CPC classification number: H01L29/66045 , H01L23/522 , H01L27/0688 , H01L27/124 , H01L29/1606 , H01L29/45 , H01L29/7781 , H01L29/78684 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 그라핀 전자소자 및 제조방법이 개시된다. 개시된 그라핀 전자소자는, 상기 기판 상에 형성된 연결배선 및 복수의 전극을 덮는 층간 절연층과, 상기 층간 절연층 상에서 상기 복수의 전극을 덮는 제1절연층과, 상기 제1절연층 상에 형성되며 적어도 두개의 상기 전극과 그 양단이 연결되는 그라핀;을 포함한다.
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公开(公告)号:KR101638221B1
公开(公告)日:2016-07-20
申请号:KR1020130104864
申请日:2013-09-02
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명은전하밀도파특성을가진물질로구성된온도감지부를포함하는온도센서에관한것으로, 전하밀도파특성을가진물질에는전이금속트리칼코게나이드유사일차원고체와전이금속디칼코게나이드이차원고체다층박막이포함되며, 전하밀도파특성을가진물질은고자기장하에서도자기저항, 자기전도도에변화가없어정밀한온도센싱을가능하게한다.
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公开(公告)号:KR1020150026270A
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:KR1020130104864
申请日:2013-09-02
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 전하밀도파 특성을 가진 물질로 구성된 온도 감지부를 포함하는 온도센서에 관한 것으로, 전하밀도파 특성을 가진 물질에는 전이금속 트라이캘코게이드 유사 일차원 고체와 전이금속 다이캘코게이드 이차원 고체 다층 박막이 포함되며, 전하밀도파 특성을 가진 물질은 고자기장하에서도 자기 저항, 자기 전도도에 변화가 없어 정밀한 온도 센싱을 가능하게 한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种温度传感器,其包括由电荷密度波材料构成的温度感测部分。 电荷密度波材料包括过渡金属三硫族元素样一维固体和过渡金属二糖类的二维固体多层薄膜。 电荷密度波材料在高磁场下的磁阻和磁导率没有变化,能够精确地感测温度。
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