公开(公告)号：KR101799282B1

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：KR1020150155092

申请日：2015-11-05

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김재정 ,  이상원 ,  변진욱

IPC: C11D7/32 ,  C11D7/22 ,  C11D7/10 ,  H01L21/02

Abstract: 본발명은반도체웨이퍼및 디스플레이패널세정용조성물및 이의제조방법에관한것으로, 더욱구체적으로유기물제거제, 금속흡착방지용착화제, 알칼리용액및 물로이루어진반도체웨이퍼및 디스플레이패널세정용조성물및 이의제조방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种组合物和用于在半导体晶片及其制造方法和显示面板的洗涤，并且更具体地，有机试剂，金属吸附防止络合剂，碱性溶液和水，包括半导体晶片和显示面板的清洁组合物和它们涉及一种方法，用于制备 会的。

公开(公告)号：KR1020170053191A

公开(公告)日：2017-05-16

申请号：KR1020150155092

申请日：2015-11-05

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김재정 ,  이상원 ,  변진욱

IPC: C11D7/32 ,  C11D7/22 ,  C11D7/10 ,  H01L21/02

Abstract: 본발명은반도체웨이퍼및 디스플레이패널세정용조성물및 이의제조방법에관한것으로, 더욱구체적으로유기물제거제, 금속흡착방지용착화제, 알칼리용액및 물로이루어진반도체웨이퍼및 디스플레이패널세정용조성물및 이의제조방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种组合物和用于在半导体晶片及其制造方法和显示面板的洗涤，并且更具体地，有机试剂，金属吸附防止沉积剂，碱性溶液和水，包括半导体晶片和显示面板的清洁组合物和它们涉及一种方法，用于制备 会的。